技术特征：
技术总结
本发明公开了一种微流量控制装置多层孔板多通道气体节流组件的制造方法，包括如下步骤：采用光刻的方法对孔板进行刻蚀；对孔板进行微孔激光加工；将激光加工后的孔板和盖板进行扩散焊接形成多层孔板多通道气体节流组件。本发明通过刻蚀孔板、激光加工、扩散焊，发挥了多种特殊加工工艺的优势，解决了传统气体微流量控制组件易堵塞的问题，提高了气体微流量控制组件的精度，弥补了传统气体微流量控制组件精度低的缺陷；通过加压扩散焊接孔板和盖板，实现了多层孔板多通道气体微流量控制组件的可靠连接及密封，克服了传统气体微流量控制组件可靠性差的难题。
技术研发人员：曾昭奇;张兵;苟浩亮;刘晖;魏延明;惠欢欢
受保护的技术使用者：北京控制工程研究所
技术研发日：2018.03.20
技术公布日：2018.09.14