专利名称：用于钼的化学蚀刻溶液的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种化学蚀刻溶液，特别是涉及一种适用于钼的化学蚀刻溶液。
背景技术：
化学蚀刻是通过化学反应利用化学溶液的腐蚀作用将不需要的金属快速溶解除掉的过程。化学蚀刻的基本流程是将初始金属件进行常规的清洗和除油使表面清洁，进而在其表面涂覆光刻胶，并按照加工图样进行光刻胶的曝光，而后进行显影和坚膜处理，再利用化学蚀刻溶液腐蚀暴露的金属，待腐蚀过程结束后，再将表面的胶用强碱性溶液去掉，最后用水清洗干净得到蚀刻加工工件产品。
目前已有的化学蚀刻溶液主要是针对不锈钢、铜、镍等金属微细加工的化学蚀刻溶液，而对于钼的化学蚀刻溶液尚未见报道。由于金属钼具有高耐蚀性、耐高温性、高导电性和高耐磨性，其作为特种功能材料的使用极为广泛，但由于其高硬度难于机械加工微细结构，而目前涉及微细加工的要求正逐渐增多，为此用于钼的化学蚀刻溶液的需求也日益紧迫。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于钼的化学蚀刻溶液，它能满足现有技术的上述需求。
一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％-35％、硝酸5％-25％、水40％-90％；所述的硫酸浓度为95％-98％、硝酸的浓度为65％-68％。
本发明的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，溶液使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。
具体实施例方式
实施例1将50毫升的硫酸(98％(重量百分数，下同)的溶液，密度1.84)，150毫升的硝酸(67％的溶液，密度1.40)与800毫升的水混合在一起，将所得的蚀刻溶液按现有的蚀刻工艺对钼电极板(燃料电池的极板部件)进行化学蚀刻。蚀刻温度为30℃，操作时将0.1mm厚的钼电极板静止浸泡在该蚀刻溶液中，大约7分钟后腐蚀烂穿，其最小线径为0.12mm，孔径为0.18mm。该蚀刻溶液的使用寿命可以达到每升溶解60克铝。
实施例2将350毫升的硫酸(98％的溶液，密度1.84)，200毫升的硝酸(67％的溶液，密度1.40)与450毫升的水混合在一起，将所得的蚀刻溶液按现有的蚀刻工艺对钼电极板(燃料电池的极板部件)进行化学蚀刻。蚀刻温度为20℃，操作时将0.8mm厚的钼电极板静止浸泡在该溶液中，大约50分钟后腐蚀烂穿，其最小线径为0.96mm，孔径为1.5mm。
实施例3将50毫升的硫酸(98％的溶液，密度1.84)，150毫升的硝酸(67％的溶液，密度1.40)，0.5g EDTA与800毫升的水混合在一起，将所得的蚀刻溶液按现有的蚀刻工艺对钼电极板(燃料电池的极板部件)进行化学蚀刻。蚀刻温度为25℃，操作时将0.1mm厚的钼电极板静止浸泡在该溶液中，大约7分钟后腐蚀烂穿，其最小线径为0.12mm，孔径为0.18mm。该溶液的使用寿命可以达到每升溶解98克钼。
本发明中所用的硫酸为市售的浓硫酸，其浓度为95％-98％；所用的硝酸为市售的浓硝酸，其浓度为65％-68％。
为了延长溶液的使用寿命可以加入少量络合剂乙二胺四乙酸二钠(EDTA)，用量在0.01~1g/L范围内；本化学蚀刻溶液的使用温度范围为20~40℃，可以采用在静止的或流动的化学蚀刻溶液中两种加工方式，当在使用温度25℃的静止溶液中加工时，钼的化学蚀刻速度为8微米/分钟。
本蚀刻溶液可以广泛应用于电子工业、光学仪表工业、石化工业、制药设备工业、核工业、半导体加工业、燃料电池和军事装备等的重要元器件和结构件的化学蚀刻加工过程中。
权利要求
1一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％-35％、硝酸5％-25％、水40％-90％；所述的硫酸浓度为95％-98％、硝酸的浓度为65％-68％。
2根据权利要求1所述的溶液，其特征在于它含有一种添加剂乙二胺四乙酸二钠，该添加剂的浓度为0.01-1g/L。
全文摘要
一种用于钼的化学蚀刻溶液，其特征在于由硫酸、硝酸和水所组成，它们的体积百分数范围为硫酸5％－35％、硝酸5％－25％、水40％－90％；所述的硫酸浓度为95％－98％、硝酸的浓度为65％－68％。它还可以含有一种添加剂乙二胺四乙酸二钠，该添加剂的浓度为0.01－1g/L。本发明的蚀刻溶液可在常温下使用，具有腐蚀速度快，侧蚀小，使用寿命长和加工成本低等优点，即使在静止溶液中也可实现钼的快速蚀刻。
文档编号C23F1/10GK1743509SQ20051004485
公开日2006年3月8日 申请日期2005年9月21日 优先权日2005年9月21日
发明者徐海波, 王佳, 王伟, 姜应律, 王燕华 申请人:中国海洋大学