专利名称：电弧靶阴极装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电弧靶阴极装置，属于表面处理设备，主要用于在靶材表面喷涂薄层。
背景技术：
在给靶材表面喷涂薄层时，常采用的是利用电极进行喷涂，这就会在靶材表面产生大量的热，图1是现有的电弧靶阴极装置结构，它包括机座、位于机
座内直流电磁线圈ll、与直流电磁线圈相连的引弧杆10、位于引弧杆下并固定在机座上的阴极法兰4、阴极法兰上固定有电弧阴极并用在两者之间装有绝缘套7、电弧阴极之上是设有导磁钢圈1、电弧阴极内设有阴极水冷腔9、由膈板将阴极水冷腔与导磁钢圈分离。这种电弧靶阴极装置在使用时，将靶材放于导磁钢圈内，由于阴极水冷腔与导磁钢圈之间有膈板，从而形成间接冷却，冷却效果不好，常常是工作5-6分种之后就要停止工作，以免阴极法兰和电弧阴极之间的绝缘套因受热而损坏，不但影响设备的完好使用，还会使绝缘套受热烧坏的粉沬进入到喷涂中影响产品质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种冷却效果好，能连续工作而不会使靶材温度过高而使绝缘套受热烧坏的电弧靶阴极装置。
本实用新型的目的是通过如下技术方案来实现的电弧靶阴极装置，包括机座，位于机座内直流电磁线圈，与直流电磁线圈相连的引弧杆，位于引弧杆下并固定在机座上的阴极法兰，阴极法兰上固定有电弧阴极并用在两者之间装有绝缘套，电弧阴极之上是设有导磁钢圈，电弧阴极内设有阴极水冷腔，其特征在于阴极水冷腔与导磁钢圈直接相通，在电弧阴极与靶材接触面设有靶材密为了加大冷却效果，在阴极法兰内设置水冷槽。在阴极法兰与绝缘套之间设有密封圈。
本实用新型由于采用了直冷式，冷却可靠，与现有技术相比具有工作时间能长时间稳定，可均匀地溅射，还可制作任何材质的靶材，包括硬质合金。
图1为现有电弧靶阴极装置结构示意图2为本实用新型电弧靶阴极装置结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步阐述
参见图2，本实用新型的电弧靶阴极装置，包括机座，位于机座内直流电磁线圈ll,与直流电磁线圈相连的引弧杆10，位于引弧杆下并固定在机座上的阴
极法兰4，阴极法兰4上固定有电弧阴极8并用在两者之间装有绝缘套7，电弧阴极之上是设有导磁钢圈l，电弧阴极内设有阴极水冷腔9，阴极水冷腔9与导磁钢圈1直接相通，在电弧阴极与靶材2接触面设有靶材密封圈3;在阴极法兰4内设置水冷槽5;在阴极法兰4与绝缘套7之间设有密封圈6。
以上所述仅为实用新型的较佳实施例而已，并不仅以上限制实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包括在本实用新型的保护范围内。
权利要求1、电弧靶阴极装置，包括机座，位于机座内直流电磁线圈，与直流电磁线圈相连的引弧杆，位于引弧杆下并固定在机座上的阴极法兰，阴极法兰上固定有电弧阴极并用在两者之间装有绝缘套，电弧阴极之上是设有导磁钢圈，电弧阴极内设有阴极水冷腔，其特征在于阴极水冷腔与导磁钢圈直接相通，在电弧阴极与靶材接触面设有靶材密封圈。
2、 如权利要求1所述的电弧靶阴极装置，其特征在于在阴极法兰内设置水冷槽。
3、 如权利要求l所述的电弧靶阴极装置，其特征在于在阴极法兰与绝缘套之间设有密封圈。
专利摘要本实用新型公开电弧靶阴极装置，包括机座，位于机座内直流电磁线圈，与直流电磁线圈相连的引弧杆，位于引弧杆下并固定在机座上的阴极法兰，阴极法兰上固定有电弧阴极并用在两者之间装有绝缘套，电弧阴极之上是设有导磁钢圈，电弧阴极内设有阴极水冷腔，其特征在于阴极水冷腔与导磁钢圈直接相通，在电弧阴极与靶材接触面设有靶材密封圈。本实用新型由于采用了直冷式，冷却可靠，与现有技术相比具有工作时间能长时间稳定，可均匀地溅射，还可制作任何材质的靶材，包括硬质合金。
文档编号C23C14/30GK201424501SQ200920056378
公开日2010年3月17日 申请日期2009年5月12日 优先权日2009年5月12日
发明者苏东艺 申请人:广州今泰科技有限公司