一种阴极电弧靶冷却装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种散热设备，特别涉及阴极电弧靶冷却装置。
【背景技术】
[0002]随着人类生活水平的不断提高和科学技术的不断发展，人们对生存环境提出了越来越高的要求，保护环境，节约能源材料成为当今社会人们孜孜不倦追求的目标。工具表面涂层技术，在工具表面涂覆一层高性能薄膜材料能大大提高了工具的性能和使用寿命，这无疑节约了材料，降低了成本，但是最初的工具表面涂层技术，如电镀、喷涂等技术，要么环境代价太高，要么提高工具性能有限，这不但危害了环境，节约材料的程度也很有限。物理气相沉积技术作为一种全新的表面处理技术，这种技术科技含量高，零污染，并且能大大提高工具使用性能和使用寿命，得到了人们的广泛重视。电弧离子镀技术作为当今最成功的一种物理气相沉积技术，被广泛应用与刀具、模具及汽车零部件等表面的处理，也得到不断地提升和改进。电弧离子镀技术根据阴极电弧形状的不同有分为圆形弧、矩形弧及柱状弧等形式，其中应用最广泛的是圆弧靶技术，因为其体积小、重量轻、易操作，并且可根据真空设备腔体的大小，选择靶材数量，这就大大提高了其实际应用的可操作性。但是由于小圆弧靶本身的体积小、数量多制约了生产效率的提高。
[0003]在生产过程中，随着靶材的消耗，需要经常更换靶材，如图1所示，在设计阴极靶座I时，在靶材2(阴极)和冷却水道3之间就留有隔层4，实现真空腔体的密封及隔断水道，防止冷却进入真空腔体，同时这种方式更换靶材方便，但它有一个致命的弱点就是冷却效果不好，镀制膜层颗粒大，大大限制了阴极电弧离子镀技术在较精密工具表面的涂层应用。
[0004]如图2是经改进后的阴极弧靶冷却方式，在靶材2 (阴极)和靶座I之间无隔层，冷却水经水道3直接冷却阴极靶材，冷却效果好，但是为了密封需要在靶材与底座之间设置密封圈，靶材要固定的很牢固，稍有不慎冷却水进入真空腔体，严重影响真空，大大降低镀膜质量，同时这也给更换靶材带来了极大的麻烦，再加上真空腔体上小圆弧靶数量少则几个多则几十个，这就更进一步增加了工作的繁琐程度，影响了生产效率的提高。
【发明内容】
[0005]针对上述技术问题，本发明的目的就在于提供一种冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率的靶材冷却装置。
[0006]为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是:一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；
所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，革巴材与铜板相接触；
所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。
[0007]进一步讲，铜板边缘被固定在靶座上。
[0008]进一步讲,铜板的厚度为0.5_2mm。
[0009]进一步讲，铜板与靶材相接面上设有多条突起的脊，在脊对应的靶材上设有凹槽，脊能嵌入凹槽内。
[0010]进一步讲，铜板与冷却水道相邻面不规则的布置突点。
[0011]本发明的目的优点在于，利用冷却水道与靶材之间的铜板进行导热，铜板在冷却水道内水压作用下，铜板向上靶材微微凸出，紧紧贴在靶材上，冷却效果好，同时铜板又将冷却水道与靶材分开，具有较好的密封性，不用设置密封圈，与现有技术相比，既保证了简单可操作性，又有良好的冷却效果，膜层颗粒度小，镀制膜层致密，为电弧离子镀技术在精密工具表面涂层应用的可能性。
【附图说明】
[0012]下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明:
图1为现有冷却弧靶装置结构示意图。
[0013]图2为现有冷却弧靶装置结构示意图。
[0014]图3本发明阴极电弧冷却装置结构示意图。
[0015]图4本发明如图3结构在水压作用下铜板的工作示意图。
[0016]图5本发明铜板4的优选结构示意图。
[0017]图中:I靶座、2靶材、3冷却水道、4铜板、5脊。
【具体实施方式】
[0018]如图3中，一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座1、靶材2、及设在靶座I内部的二条并排的冷却水道3，靶材2嵌在靶座I表面上，铜板4的厚度为0.5-2mm ；
所述靶材2与所述冷却水道3被铜板4隔开，铜板4使冷却水道3与靶材2分属不同的独立空间，铜板4边缘被固定在靶座I上，固定方式有采用高强度耐温胶将铜板4边缘粘接在靶座2的上方(图3、图4中是粘接在靶座2的台阶上)或是采用一次浇筑成形的方法将铜板4边缘固定在靶座2内，靶材2与铜板4相接触；
如图4，冷却水道3内通过液体(冷却水)时，铜板4受液体压力向靶材2凸出。
[0019]如图5，铜板4与靶材2相接面上设有多条突起的脊5，在脊5对应的靶材2上设有凹槽6，脊5能嵌入凹槽6内；铜板4与冷却水道3相邻面不规则的布置突点，工作时，脊5与凹槽6相配合不仅增大了铜板4与靶材2接触面，同时与增加了铜板4与靶材2接触的可靠性，铜板4上的突点，增加了水流对铜板4的冲击力，能使铜板4与靶材2接触更为紧
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[0020]本例中的结构仅为对于权利要求的举例说明和讲解，以便于大众阅读理解，不应视为对于权利要求的限制，本发明的保护范围应以权利要求记载的范围和法定等同特征为准。
【主权项】
1.一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是:所述冷却装置包括靶座(I)、靶材(2)、及设在靶座(I)内部的多条冷却水道(3)，靶材(2)嵌在靶座(I)表面上； 所述靶材(2 )与所述冷却水道(3 )被铜板(4 )隔开，铜板(4 )使冷却水道(3 )与靶材(2 )分属不同的独立空间，靶材(2)与铜板(4)相接触； 所述冷却水道(3)内通过液体时，铜板(4)受液体压力向靶材(2)凸出。2.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是:所述铜板(4)边缘被固定在靶座(I)上。3.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是:所述铜板(4)的厚度为0.5-2mm。4.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是:所述铜板(4)与靶材(2)相接面上设有多条突起的脊(5)，在脊(5)对应的靶材(2)上设有凹槽(6)，脊(5)能嵌入凹槽(6)内。5.根据权利要求1所述的一种阴极电弧靶冷却装置，其特征是:所述铜板(4)与冷却水道(3)相邻面不规则的布置突点。
【专利摘要】一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，靶材与铜板相接触；所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。本发明的优点在于，利用铜片良好的传导性导热，同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开，其设备的冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率。
【IPC分类】C23C14/32
【公开号】CN104947045
【申请号】CN201410124974
【发明人】田灿鑫, 韩滨, 付德君
【申请人】宜昌后皇真空科技有限公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2014年3月31日