专利名称：镀膜伞架的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜伞架，尤其涉及一种由平面载盘构成的镀膜伞架。
背景技术：
光学薄膜一般采用蒸镀法(Evaporation Deposition)、离子助镀法(Ion Assisteddeposition, IAD)(Ion Beam Sputtering Deposition, IB SD) ii 行镀制。在膜层镀制过程中，通常使用镀膜伞架来承载待镀元件，待镀元件放置于镀膜伞架上，待镀表面朝向设置于镀膜伞架下方的靶材，通过蒸发或离子轰击等方式将靶材材料冲至镀膜伞架，并附着于待镀表面形成镀膜膜层。请参阅图6，为传统镀膜伞架10的示意图，传统镀膜伞架10为弧面结构，其上开设有多个承载孔12，传统镀膜伞架10可以绕其中心旋转。镀膜时，待镀元件(图未示)容置于承载孔12，待镀表面朝向设置于镀膜伞架下方的靶材(图未示)。但是，这种传统镀膜伞架一般体积及重量都较大，使用过程中需占据较大的空间，不易于收放保存。而且，传统镀膜伞架具有的弧度又使得镀膜伞架的中心距离靶材较远，易造成放置于镀膜伞架中心位置的待镀元件镀膜膜层厚度不够，影响同一批次待镀元件镀膜膜层的均勻性。此外，对于需要在不同表面镀膜的待镀元件来说，采用传统的镀膜伞架通常需要人工翻转待镀元件，由此， 易使待镀元件受到污染，影响镀膜制品的良率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种易于实现的、可有效解决现有技术中存在的问题的镀膜伞架。一种镀膜伞架其包括一个中心支撑杆，及一个中心载盘。所述中心支撑杆可以绕其长度方向的中心轴旋转。所述中心载盘设置于所述中心支撑杆上。所述中心载盘至少由一个第一载盘及一个第二载盘组成。所述第一载盘与所述第二载盘通过一个中心连接轴连接于所述中心支撑杆，所述第一载盘与所述第二载盘可以绕所述中心连接轴相对于所述中心支撑杆旋转，使所述第一载盘与所述第二载盘分别实现翻面。相对于现有技术，本发明提供的镀膜伞架具有如下优点其一，便于收放保存，占据的空间较小，可以节省放置空间。其二，本发明的镀膜伞架中的载盘除了可以整体旋转以外，还可以旋转变换镀膜角度，可以有效地改善镀膜膜层的均勻性、致密性及应力分布。其三，整体结构简单，便于安装与拆卸，无需设计具有弧度的复杂曲面，有利于降低设计成本。 其四，对于需要在不同表面镀膜的待镀元件来说，采用本发明的镀膜伞架便于实现自动翻转待镀元件，可避免待镀元件受到污染，提高镀膜制品的良率。
图1是本发明一实施例提供的镀膜伞架的示意图，所述镀膜伞架包括中心载盘及外围载盘。
图2是图1所示的镀膜伞架的局部放大示意图。
图3是图1所示的镀膜伞架中的外围载盘调整至某--角度的状态示意图
图4是图1所示的镀膜伞架中的外围载盘调整至另--角度的状态示意图
图5是图1所示的镀膜伞架中的中心载盘及外围载盘翻面后的示意图。
图6是传统镀膜伞架的示意图。
主要元件符号说明
传统镀膜伞架10
承载孔12,43
支撑架30
中心支撑杆31
外围支撑杆32
横杆34
驱动器36
中心载盘40
第一载盘41
第二载盘42
间隙44
连接块45
连接轴47
第一表面48
第二表面49
外围载盘50
镀膜伞架100
中心支撑杆的第一-端311
中心支撑杆的第二-端312
外围支撑杆的连接端321
外围支撑杆的安装端322
驱动轴36具体实施例方式下面将结合附图及实施例对本技术方案作进一步详细说明。请参阅图1，发明第一实施例提供一种镀膜伞架100，其包括一个支撑架30，一个中心载盘40，及四个外围载盘50。所述支撑架30具有一个长条状的中心支撑杆31及四个长条状的外围支撑杆32。 所述中心支撑杆31位于所述支撑架30的中心位置。所述四个外围支撑杆32围绕所述中心支撑杆31且以所述中心支撑杆31为轴呈中心对称设置。所述中心支撑杆31具有相对的第一端311与第二端312。所述外围支撑杆32具有相对的连接端321与安装端322。所述四个外围支撑杆32同向的四个连接端321分别通过一个横杆34与所述中心支撑杆31的第一端311相连接，由此，所述中心支撑杆31与所述四个外围支撑杆32及四个横杆34构成一个整体，即所述支撑架30。本实施例中，四个所述横杆34处于同一平面，每一个所述横杆34的形状尺寸皆相同，且四个所述横杆34在所述中心支撑杆31的第一端311相交。每一所述外围支撑杆32 皆平行于所述中心支撑杆31，每一所述外围支撑杆32的形状尺寸皆与所述中心支撑杆31 相同。当然，所述外围支撑杆32与所述中心支撑杆31之间的关系并不局限于本实施例，如， 每一所述外围支撑杆32与所述中心支撑杆31之间可设置一个倾斜角度。进一步地，所述中心支撑杆31的第一端311与一个驱动器36的驱动轴361相连接，所述驱动器36驱动所述支撑架30以所述中心支撑杆31为旋转轴并绕其进行旋转。本实施例中，所述中心载盘40与所述外围载盘50的形状、结构及尺寸皆相同，以下，本实施例以中心载盘40为例对其结构进行说明。请参阅图2，所述中心载盘40为平板圆盘，其由一个第一载盘41及一个第二载盘 42组成。所述第一载盘41与所述第二载盘42开设有多个承载待镀元件的承载孔43。每一所述承载孔43收容一个待镀元件(图未示)，所述承载孔43的具体形状结构可根据所承载的待镀元件的具体形状结构进行设计。所述第一载盘41与所述第二载盘42为半圆结构，分别位于所述中心支撑杆31两侧。所述第一载盘41与所述第二载盘42处在一个平面上并相对于所述中心支撑杆31对称。所述第一载盘41与所述第二载盘42之间具有一个间隙44，所述间隙44大于或等于所述中心支撑杆31的宽度，以确保所述中心支撑杆31能通过所述间隙44。所述第一载盘41的半圆圆心位置与所述第二载盘42的半圆圆心位置分别设置有一个连接块45。所述中心支撑杆31的第二端312位于所述两个连接块45之间，且所述第二端312与所述两个连接块45通过一个连接轴47连接起来，所述连接轴47垂直或基本垂直于所述中心支撑杆31。由此，所述第一载盘41与所述第二载盘42可以绕所述连接轴47相对于所述中心支撑杆31同时旋转，使所述中心载盘40相对的第一表面48与第二表面49可以翻转，亦即翻面，如图1与图2所示。可以理解的是，所述第一载盘41与所述第二载盘42也可以绕所述连接轴47分别朝不同方向进行旋转。可以理解的是，所述中心支撑杆31的第二端312可以直接通过连接轴47分别连接在第一载盘41与第二载盘42之间，而不需要连接块45。对于需要在不同表面镀膜的待镀元件来说，当其承载于所述中心载盘40的承载孔43时，驱动所述第一载盘41与所述第二载盘42绕所述连接轴47相对于所述中心支撑杆31旋转，即可改变待镀元件朝向靶材(图未示)的角度，并可使待镀元件相对的表面接受镀膜。可以理解的是，所述连接轴47可以与驱动器连接，由此，通过控制驱动器，即可实现自动驱动所述第一载盘41与所述第二载盘42绕所述连接轴47相对于所述中心支撑杆 31旋转，即可实现自动翻面。本实施例中，所述中心载盘40由一个半圆结构的第一载盘41及一个半圆结构的第二载盘42组成。当然，所述中心载盘40也可以由四个四分之一圆结构的载盘组成，由此， 所述中心载盘40可以在两个相互垂直的方向相对于所述中心支撑杆31旋转，实现不同方向的自动翻面。
请一并参阅图1与图2，形状、结构及尺寸皆与所述中心载盘40相同的四个外围载盘50，分别连接于四个外围支撑杆32的安装端322，每一个外围载盘50与外围支撑杆32 的连接结构皆相同于所述中心载盘40与所述中心支撑杆31的连接结构，S卩，每一个外围载盘50与外围支撑杆32的安装端322皆通过两个连接块45及一个连接轴47连接起来，由此，每一个所述外围载盘50相对的两个表面都可以实现翻转。请一并参阅图3与图4，为所述镀膜伞架100中的四个外围载盘50旋转至不同角度的状态示意图。可知，通过控制所述外围载盘50相对于各自对应的所述外围支撑杆32的旋转角度，即可使所述外围载盘50以不同的角度朝向靶材，由此，可控制所述外围载盘50 上承载的待镀元件的镀膜角度。请参阅图5，为所述镀膜伞架100中的中心载盘40及外围载盘50翻面后的示意图，其中，中心载盘40与外围载盘50各自的两个相对的第一表面48与第二表面49已经翻转至相对的方位，即，图1中中心载盘40与外围载盘50朝向靶材的第二表面49，已经翻转至背离靶材，而图1中中心载盘40与外围载盘50背离靶材的第一表面48，已经翻转至朝向靶材。由此，所述中心载盘40与所述外围载盘50上承载的待镀元件可以进行不同表面的镀膜加工。可以理解的是，所述镀膜伞架100的具体形状结构并不局限于本实施例，根据实际的镀膜加工，中心支撑杆31与外围支撑杆32，中心载盘40与外围载盘50，皆可以设计为不同的尺寸及形状。如，外围支撑杆32的长度可以大于或小于中心支撑杆31的长度，外围载盘50的尺寸可以大于或小于中心载盘40的尺寸，且中心载盘40与外围载盘50可以设计为方形或椭圆形或不对称的形状。只要所述镀膜伞架100中的中心载盘40与外围载盘 50可以实现翻转即可。可以理解的是，所述镀膜伞架100中也可以设置其他数量的所述外围载盘50，如在所述中心载盘40的周围设计两个、三个、五个或六个所述外围载盘50，具体可以根据实
际需要进行设置。可以理解的是，所述镀膜伞架100中也可以只设置一个中心支撑杆31及一个设置于所述中心支撑杆31上的中心载盘40，或者只设置至少一个外围支撑杆32及设置于所述至少一个外围支撑杆32上的外围载盘50。同时，可以根据实际需要设置中心支撑杆31或者外围支撑杆32在镀膜腔内的位置。可以理解的是，所述镀膜伞架100承载待镀元件进行镀膜加工时，一方面，所述中心载盘40与所述外围载盘50可以一起随所述支撑架30绕所述中心支撑杆31旋转，以使待镀元件在不同方向接受靶材材料的镀膜。另一方面，所述中心载盘40与所述外围载盘50 也可以各自调节镀膜角度或者翻面。由此，既可以调节承载于不同外围载盘50上的待镀元件的镀膜膜层，又可以调节承载于同一个外围载盘50或中心载盘40上的待镀元件，还可以使同一个待镀元件相对的表面接受镀膜加工。相对于现有技术，本发明提供的镀膜伞架具有如下优点其一，便于收放保存，占据的空间较小，可以节省放置空间。其二，本发明的镀膜伞架中的载盘除了可以整体旋转以外，还可以旋转变换镀膜角度，可以有效地改善镀膜膜层的均勻性、致密性及应力分布。其三，整体结构简单，便于安装与拆卸，无需设计具有弧度的复杂曲面，有利于降低设计成本。 其四，对于需要在不同表面镀膜的待镀元件来说，采用本发明的镀膜伞架便于实现自动翻转待镀元件，可避免待镀元件受到污染，提高镀膜制品的良率。 另外，本领域技术人员还可以在本发明精神内做其它变化，当然，这些依据本发明精神所做的变化，都应包含在本发明所要求保护的范围之内。
权利要求
1.一种镀膜伞架，其包括一个中心支撑杆，所述中心支撑杆可以绕其长度方向的中心轴旋转；及一个中心载盘， 所述中心载盘设置于所述中心支撑杆上；其特征在于，所述中心载盘至少由一个第一载盘及一个第二载盘组成，所述第一载盘与所述第二载盘通过一个中心连接轴连接于所述中心支撑杆，所述第一载盘与所述第二载盘可以绕所述中心连接轴相对于所述中心支撑杆旋转，使所述第一载盘与所述第二载盘分别实现翻面。
2.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心连接轴垂直于所述中心支撑杆。
3.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述镀膜伞架进一步包括至少一个围绕并固定于所述中心支撑杆的外围支撑杆，及至少一个设置于所述外围支撑杆上的外围载盘；所述外围支撑杆及所述中心支撑杆可以绕所述中心支撑杆长度方向的中心轴旋转；所述至少一个外围载盘至少由一个第一载盘及一个第二载盘组成，所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘可以相对于与其对应的外围支撑杆旋转，使所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘分别实现翻面。
4.如权利要求1所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心支撑杆进一步与一个驱动器相连接，所述驱动器驱动所述镀膜伞架绕所述中心支撑杆长度方向的中心轴旋转。
5.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘通过一个外围连接轴与所述外围支撑杆相连接，所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘可以绕所述外围连接轴相对于所述外围支撑杆旋转，使所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘分别实现翻面。
6.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心载盘的第一载盘与第二载盘相对于所述中心支撑杆对称，所述至少一个外围载盘的第一载盘与第二载盘相对于所述至少一个外围支撑杆对称。
7.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述镀膜伞架进一步包括至少一个横杆，所述至少一个外围支撑杆包括若干个外围支撑杆并相对于所述中心支撑杆对称设置， 所述外围支撑杆平行于所述中心支撑杆，且所述中心支撑杆与所述外围支撑杆之间通过所述横杆连接。
8.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心载盘与所述外围载盘为平板圆盘，所述中心支撑杆与所述外围支撑杆分别在所述中心载盘与所述外围载盘的中心位置与所述中心载盘或所述外围载盘连接。
9.如权利要求3所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心载盘或所述外围载盘的第一载盘与第二载盘均为半圆结构，且分别对称设置于所述中心支撑杆或所述外围支撑杆的两侧。
10.如权利要求9所述的镀膜伞架，其特征在于，所述中心载盘或所述外围载盘的第一载盘的半圆圆心位置与第二载盘的半圆圆心位置分别设置有一个连接块，且所述连接块通过所述中心连接轴或所述外围连接轴与所述中心支撑杆或所述外围支撑杆连接起来。
全文摘要
一种镀膜伞架其包括一个中心支撑杆，及一个中心载盘。所述中心支撑杆可以绕其长度方向的中心轴旋转。所述中心载盘设置于所述中心支撑杆上。所述中心载盘至少由一个第一载盘及一个第二载盘组成。所述第一载盘与所述第二载盘通过一个中心连接轴连接于所述中心支撑杆，所述第一载盘与所述第二载盘可以绕所述中心连接轴相对于所述中心支撑杆旋转，使所述第一载盘与所述第二载盘分别实现翻面。
文档编号C23C14/50GK102234781SQ201010158750
公开日2011年11月9日 申请日期2010年4月28日 优先权日2010年4月28日
发明者裴绍凯 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司