可全拆式真空室内隔板的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及可全拆式真空室内隔板,包括直片内隔板、弯折内隔板、U型内隔板，所述U型内隔板两端分别依次连接弯折内隔板、直片内隔板，所述U型内隔板的外边缘设有托环，所述托环紧贴内隔板的外边缘。本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果：本实用新型在真空室内安装、维护方便，便于真空室内靶材的清洁，从而提升产品质量的稳定性。
【专利说明】可全拆式真空室内隔板
【技术领域】
[0001]本实用新型具体涉及可全拆式真空室内隔板，用于真空镀膜设备的真空室，属机械制造领域。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是在高真空度条件下进行的镀膜，镀膜工艺在与真空室内进行，镀膜过程中部分靶材溅射在真空室内，实际操作中，当需要更换靶材材料时需要对真空室进行清洁，避免两种不同的靶材掺杂在一起，从而影响产品质量，通常的真空室内隔板设计不能全部拆卸，从而导致清洁繁琐，还清洗不到位。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理，拆装方便迅速的可全拆式真空室内隔板。
[0004]本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是:该可全拆式真空室内隔板，包括直片内隔板、弯折内隔板、U型内隔板，所述U型内隔板两端分别依次连接弯折内隔板、直片内隔板，所述U型内隔板的外边缘设有托环，所述托环紧贴内隔板的外边缘。
[0005]本实用新型所述托环呈半圆形。
[0006]本实用新型同现有技术相比具有以下优点及效果:本实用新型在真空室内安装、维护方便，便于真空室内靶材的清洁，从而提升产品质量的稳定性。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1是本实用新型实施例的结构示意图。
[0008]图2是本实用新型实施例安装后的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图并通过实施例对本实用新型作进一步说明。
[0010]实施例:
[0011]参见图1至图2，本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是:该可全拆式真空室内隔板，包括直片内隔板1、弯折内隔板2、U型内隔板3，所述U型内隔板3两端分别依次连接弯折内隔板2、直片内隔板1，所述U型内隔板3的外边缘设有托环4，所述托环4紧贴内隔板3的外边缘。
[0012]本实用新型所述托环4呈半圆形。
[0013]此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其各部分名称等可以不同，凡依本实用新型专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本实用新型专利的保护范围内。本实用新型所属【技术领域】的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.可全拆式真空室内隔板，其特征在于:包括直片内隔板、弯折内隔板、U型内隔板，所述U型内隔板两端分别依次连接弯折内隔板、直片内隔板，所述U型内隔板的外边缘设有托环，所述托环紧贴内隔板的外边缘。
2.根据权利要求1所述的可全拆式真空室内隔板，其特征在于:所述托环呈半圆形。
【文档编号】C23C14/56GK203668508SQ201320778460
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月29日 优先权日:2013年11月29日
【发明者】朱家骏 申请人:嘉兴中科奥度新材料有限公司