一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构。它包括抛光盘，冷却水循环系统，抛光盘、研磨盘和转台连接在一起，抛光盘上端面加工有螺旋形冷却水管槽，安装有冷却水循环系统，研磨盘下端面与抛光盘上端面粘接在一起，冷却水循环系统可通过冷却水实现抛光过程中研磨盘的恒温控制，让研磨盘保持较好的面形，抛光盘与转台之间通过螺纹固定，转台带动抛光盘旋转，螺旋冷却水管路中的冷却水在离心力的作用下能实现快速循环。本发明能够很好地控制研磨盘和抛光盘温度恒定。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明涉及超精密制造装备【技术领域】，具体涉及一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结 构。 一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构
【背景技术】
[0002] 环抛技术主要用来进行平面光学元件的超精密抛光，直接决定光学元件的加工精 度。在光学元件加工过程中，研磨盘的面形对光学元件的面形精度非常重要，由于抛光作用 会引起抛光盘局部温度变化从而导致研磨盘面形的变化，影响光学元件的抛光精度，为了 实现光学元件的超精密抛光，需要控制抛光盘表面的温度恒定。
[0003] 目前主要是通过控制抛光液的温度来控制抛光盘温度的变化，在实际使用过程 中，由于抛光盘的局部温度变化仍然较大。
【发明内容】
[0004] 有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明提供一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构。
[0005] 为实现上述目的，本发明提供了一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，包括抛光盘， 冷却水循环系统，抛光盘、研磨盘和转台连接在一起，抛光盘上端面加工有螺旋形冷却水管 槽，安装有冷却水循环系统，研磨盘下端面与抛光盘上端面粘接在一起，冷却水循环系统可 通过冷却水实现抛光过程中研磨盘的恒温控制，让研磨盘保持较好的面形，抛光盘与转台 之间通过螺纹固定，转台带动抛光盘旋转，螺旋冷却水管路中的冷却水在离心力的作用下 能实现快速循环。
[0006] 作为优选，所述的冷却管为螺旋型。
[0007] 作为优选，所述的抛光盘冷却管道安装在抛光盘与转台中间。
[0008] 作为优选，所述的抛光盘与转台上台面之间是粘接的。
[0009] 作为优选，所述的冷却管材料采用的黄铜。
[0010] 本发明具有以下有益效果： 1、 冷却管采用螺旋型布置，转台旋转过程中的离心力有利于冷却水的很好循环； 2、 通过在抛光盘与研磨盘之间增加冷却循环系统，能更好实现研磨盘及抛光盘的恒温 控制。
[0011] 以下将结合附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以 充分地了解本发明的目的、特征和效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 图1为本发明的结构示意图； 图2为本发明的抛光盘的冷却水槽结构图。
【具体实施方式】
[0013] 参照图1-2,本【具体实施方式】采用以下技术方案：一种环抛机抛光盘螺旋型冷却 结构，包括旋转接头1、转台2、抛光盘3、冷却水循环系统4和研磨盘5,转台2上安装有抛 光盘3,抛光盘3上粘接有研磨盘5,抛光盘3和研磨盘5之间设置有螺旋形的冷却水循环 系统4,冷却水循环系统4的冷却管路穿设在转台2、抛光盘3中间并与旋转接头1连接。
[0014] 值得注意的是，所述的抛光盘3上设置有螺旋形冷却水槽，螺旋形冷却水槽内安 装有冷却水循环系统4的螺旋形冷却铜管。
[0015] 本实施例中，所述的研磨盘5为锡盘，所述的研磨盘5和抛光盘3之间通过粘接剂 固定，转台2采用气体静压转台，减少转台旋转过程中发热。
[0016] 此外，所述的旋转接头1是保证在抛光盘旋转过程中冷却水的正常输入和输出。
[0017] 本【具体实施方式】采用"螺旋型"冷却水循环系统即上述结构，通过冷却水的离心力 作用使得冷却水迅速实现循环回路，从而达到对抛光盘的快速冷却作用，并通过旋转接头 实现冷却水的快速循环。
[0018] 本发明在实际运行中，冷却管采用螺旋型布置，转台旋转过程中的离心力有利于 冷却水的很好循环；其次，通过在抛光盘与研磨盘之间增加冷却循环系统，能更好实现研磨 盘及抛光盘的恒温控制。
[0019] 以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无 需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本【技术领域】中技术 人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的 技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
【权利要求】
1. 一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，其特征在于，包括旋转接头（1)、转台（2)、抛光 盘（3)、冷却水循环系统（4)和研磨盘（5)，转台（2)上安装有抛光盘（3)，抛光盘（3)上粘 接有研磨盘（5)，抛光盘（3)和研磨盘（5)之间设置有螺旋形的冷却水循环系统（4)，冷却 水循环系统（4)的冷却管路穿设在转台（2)、抛光盘（3)中间并与旋转接头（1)连接。
2. 根据权利要求1所述的一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，其特征在于，所述的抛 光盘（3)上设置有螺旋形冷却水槽，螺旋形冷却水槽内安装有冷却水循环系统（4)的螺旋 形冷却铜管。
3. 根据权利要求1所述的一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，其特征在于，所述的研 磨盘（5)为锡盘。
4. 根据权利要求1所述的一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，其特征在于，所述的研 磨盘（5)和抛光盘（3)之间通过粘接剂固定。
5. 根据权利要求1所述的一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构，其特征在于，所述的转 台（2)采用气体静压转台。
【文档编号】B24B37/34GK104084877SQ201410284975
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年6月24日 优先权日:2014年6月24日
【发明者】赵惠英, 张楚鹏, 范智源, 杨和清, 于贺春, 李彬, 席建普, 任东旭, 袁林, 周国强 申请人:北京微纳精密机械有限公司, 西安交通大学