一种电子倍增器打拿极的曲面成膜方法
【专利摘要】本发明公开了一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法，以间接镀膜的方式，有效解决电子倍增器打拿极特定曲面镀制薄膜均匀性以及稳定性等问题。首先，按照电子倍增器打拿极外壳待镀膜内表面的尺寸和弧度，加工两端留有待弯折区的曲面内衬片；其中一端的待弯折区向曲面外反折180°，形成折起部；另一端的待弯折区切割型成n个矩形齿牙卡扣；然后进行曲面内衬片的镀膜；将镀膜后的曲面内衬片安装在电子倍增器打拿极外壳内表面，并采用折起部和矩形齿牙卡扣固定。
【专利说明】一种电子倍增器打拿极的曲面成膜方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子倍增器打拿极的制备工艺【技术领域】，具体涉及一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法。
【背景技术】
[0002]电子倍增器的性能决定着原子钟的使用寿命，而打拿极曲面镀膜是电子倍增器的核心技术。图1为电子倍增器打拿极外壳的结构示意图，其待镀膜面为弧形内表面，针对电子倍增器打拿极这种特殊的曲面，直接在打拿极外壳内表面镀膜，因打拿极外壳两侧壁面与曲面成直角的设计，会使得镀膜工艺不方便实施，造成内表面成膜不均匀，直接影响了电子倍增器稳定性。
[0003]因此，针对这种特殊的曲面，直接在其表面镀膜不能满足电子倍增器二次电子发射功能薄膜镀制要求。
【发明内容】
[0004]有鉴于此，本发明提供了一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法，以间接镀膜的方式，有效解决电子倍增器打拿极特定曲面镀制薄膜均匀性以及稳定性等问题。
[0005]为解决上述问题，本发明的技术方案如下:
[0006]一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法，包括:
[0007]步骤1、按照电子倍增器打拿极外壳待镀膜内表面的尺寸和弧度，加工两端留有待弯折区的曲面内衬片；其中一端的待弯折区向曲面外反折180°，形成折起部；另一端的待弯折区切割型成η个矩形齿牙卡扣；η为大于或等于3的整数；
[0008]步骤2、对曲面内衬片的内曲面进行二次电子发射功能薄膜镀制；
[0009]步骤3、将镀膜后的曲面内衬片置于电子倍增器打拿极外壳内表面，并通过折起部和矩形齿牙卡扣与电子倍增器打拿极外壳进行固定。
[0010]优选地，所述折起部长度为0.5mm。
[0011]优选地，在加工曲面内衬片时，将所述矩形齿牙卡扣向曲面外反折一定角度，令矩形齿牙卡扣与折起部平行。
[0012]所述步骤2具体包括:
[0013](1)清洗:将步骤1获得的曲面内衬片放入干净器皿中，用水冲洗干净，再分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗10分钟?30分钟，然后用分析纯易挥发的有机溶液冲洗干净，用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹；
[0014](2)镀膜:将清洗后的曲面内衬片放入真空室，打开机械泵预抽，将真空室抽真空至IPa，然后在机械泵保持工作的同时打开分子泵，待分子泵运转平稳后开启分子泵的抽气开关，将真空室抽真空至3.0 X 10_5Pa，然后加热曲面内衬片至所需温度后保温，在曲面内衬片的内曲面上进行二次电子发射薄膜沉积。
[0015]优选地，将清洗后的曲面内衬片放入真空室之前，先清洗真空室，具体步骤包括:清除真空室内脱落的膜层及空气中的污染物，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
[0016]有益效果
[0017]本发明在一定弧度的不锈钢曲面内衬片上先镀制二次电子发射功能薄膜，再安装到电子倍增器打拿极。由于是在曲面内衬片上镀膜，能够有效解决打拿极曲面镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题，因此按照该成膜方法能够满足电子倍增器打拿极曲面基片的镀膜要求。
[0018]本发明设计曲面内衬片一端为完整的折起部，另一端处理为卡扣，从而便于在安装曲面内衬片时，令三个卡扣作为着力点与打拿极更好的贴合。而且与整体弯折相比，点的弯折更加容易处理。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为电子倍增器打拿极外壳的结构图。；
[0020]图2为本发明曲面内衬片的结构图的三视图；左上为俯视图，左下为正视图(曲面内表面)，右下为侧视图。1-折起部，2-矩形齿牙卡扣。
【具体实施方式】
[0021 ] 下面将参照附图来说明本发明的实施例。
[0022]本发明针对电子倍增器打拿极曲面镀膜缺陷问题，为了满足打拿极曲面镀膜的要求，需采用一种全新的成膜思路:在一定弧度的不锈钢曲面内衬片上先镀制二次电子发射功能薄膜，再安装到电子倍增器打拿极。由于在曲面内衬片上镀膜能够保证镀膜均匀性，因此按照该成膜方法能够满足电子倍增器打拿极曲面基片镀膜要求。
[0023]该电子倍增器打拿极曲面成膜方法的实施步骤如下:
[0024]步骤1、曲面内衬片加工:
[0025]参考图2，按照电子倍增器打拿极外壳待镀膜内表面的尺寸和弧度，加工两端留有待弯折区的曲面内衬片，曲面内衬片的弧度与待镀膜内表面的弧度相同，长度为待镀膜内表面长度加上两端的待弯折区。曲面内衬片的材料为304号不锈钢，厚度为0.1mm。曲面内衬片其中一端的待弯折区向曲面外反折180°，形成折起部1，从而预先形成一端的固定结构，折起部1的长度为0.5mm ;另一端的待弯折区切割型成η ( > 3)个矩形齿牙卡扣2，本实施例中η = 3，该齿牙卡扣在后续安装时通过进一步弯折形成另一端的固定结构。
[0026]本发明设计曲面内衬片一端为完整的折起部，另一端处理为卡扣，从而便于在安装曲面内衬片时，令三个卡扣作为着力点与打拿极更好的贴合。而且与整体弯折相比，点的弯折更加容易处理。
[0027]为了进一步便于镀膜和后续的安装，可以在加工时将矩形齿牙卡扣向曲面外反折一定角度，令矩形齿牙卡扣与折起部平行，如图2右下侧视图所示。
[0028]步骤2、曲面内衬片镀膜:
[0029](1)清洗曲面内衬片:将304号不锈钢曲面内衬片放入干净器皿中，用去离子水冲洗干净，再将304号不锈钢曲面内衬片分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗15分钟，然后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹。
[0030](2)清洁真空室:开真空室，清除真空室内脱落的膜层及空气中的污染物，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
[0031](3)真空室抽真空:将清洗后的304号不锈钢曲面内衬片放入真空室的基片架上，打开机械泵预抽，将真空室抽真空至IPa，然后在机械泵继续工作的情况下打开分子泵，待分子泵运转平稳后开启分子泵的抽气开关，将真空室抽至3.0X10_5Pa，然后加热基片架至400°C后保温1个小时。
[0032](4) 二次电子发射薄膜沉积:在304号不锈钢曲面内衬片上镀制氧化镁薄膜，厚度为lOOnm，结束膜层镀制。
[0033]步骤3、安装曲面内衬片:
[0034]将镀膜后的曲面内衬片置于电子倍增器打拿极外壳内表面，曲面内衬片一端折起部套在电子倍增器打拿极外壳一端，将曲面内衬片另一端的矩形齿牙卡扣向曲面外进行弯曲，以扣接在电子倍增器打拿极外壳另外一端，使曲面内衬片牢固贴合在电子倍增器打拿极外壳内表面。
[0035]综上所述，以上仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种电子倍增器打拿极曲面成膜方法，其特征在于，该方法包括: 步骤1、按照电子倍增器打拿极外壳待镀膜内表面的尺寸和弧度，加工两端留有待弯折区的曲面内衬片；其中一端的待弯折区向曲面外反折180°，形成折起部；另一端的待弯折区切割型成η个矩形齿牙卡扣；η为大于或等于3的整数； 步骤2、对曲面内衬片的内曲面进行二次电子发射功能薄膜镀制； 步骤3、将镀膜后的曲面内衬片置于电子倍增器打拿极外壳内表面，并通过折起部和矩形齿牙卡扣与电子倍增器打拿极外壳进行固定。
2.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述折起部长度为0.5mm。
3.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，在加工曲面内衬片时，将所述矩形齿牙卡扣向曲面外反折一定角度，令矩形齿牙卡扣与折起部平行。
4.如权利要求1所述的成膜方法，其特征在于，所述步骤2具体包括: (1)清洗:将步骤I获得的曲面内衬片放入干净器皿中，用水冲洗干净，再分别用分析纯丙酮及分析纯酒精各超声波清洗10分钟?30分钟，然后用分析纯易挥发的有机溶液冲洗干净，用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹； (2)镀膜:将清洗后的曲面内衬片放入真空室，打开机械泵预抽，将真空室抽真空至IPa，然后在机械泵保持工作的同时打开分子泵，待分子泵运转平稳后开启分子泵的抽气开关，将真空室抽真空至3.0X 10_5Pa，然后加热曲面内衬片至所需温度后保温，在曲面内衬片的内曲面上进行二次电子发射薄膜沉积。
5.如权利要求4所述的成膜方法，其特征在于，将清洗后的曲面内衬片放入真空室之前，先清洗真空室，具体步骤包括:清除真空室内脱落的膜层及空气中的污染物，然后用脱脂纱布蘸无水乙醇擦拭干净真空室内壁。
【文档编号】C23C14/22GK104362058SQ201410541534
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年10月15日 优先权日:2014年10月15日
【发明者】李得天, 李晨, 王多书, 张玲 申请人:兰州空间技术物理研究所