一种双端移动设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种双端移动设备，包括：真空腔体（1）以及与所述真空腔体（1）相连接的双面开门装置，所述双面开门装置包括主动轮组件（2）和从动轮组件（3），所述主动轮组件（2）和从动轮组件（3）的下方均设置轻轨（4），所述从动轮组件（3）上依次连接门移动架子（5），所述门移动架子（5）通过焊接竖筋（6）连接斜拉件（7），所述斜拉件（7）与真空腔体（1）相连接；所述门移动架子（5）通过横向连杆与门板相连，所述门板下方设置固定架子（8）。本实用新型所述双端移动设备能够实现双面开门，为产品安装、更换部件提供了方便，且双面开门更便于对真空腔体的清洁。
【专利说明】一种双端移动设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种移动设备，具体为一种双端移动设备。
【背景技术】
[0002]在半导体相关制造过程中，许多的制程必须在真空状态下进行，而真空溅镀技术是真空薄膜制程中应用层面相当广泛的一项重要技术，近年来已经逐渐取代喷导漆和电解电镀的方式，大量应用在光电、通信、半导体等产业，成为重要的表面处理技术。而一般真空腔体所在的箱体为单面开门，给工作人员进行部件检修和器件更换带来不便，且在对腔体进行清洁和维护作业时也非常不方便。
实用新型内容
[0003]针对上述技术问题，本实用新型公开一种双端移动设备，包括:真空腔体I以及与所述真空腔体I相连接的双面开门装置，所述双面开门装置包括主动轮组件2和从动轮组件3，所述主动轮组件2和从动轮组件3的下方均设置轻轨4，所述从动轮组件3上依次连接门移动架子5，所述门移动架子5通过焊接竖筋6连接斜拉件7，所述斜拉件7与真空腔体I相连接；所述门移动架子5通过横向连杆与门板相连，所述门板下方设置固定架子8。
[0004]本实用新型的有益效果是所述双端移动设备能够实现双面开门，为产品安装、更换部件提供了方便，且双面开门更便于对真空腔体的清洁。
【专利附图】
【附图说明】
[0005]图1是本实用新型所述双端移动设备的结构侧视图。
【具体实施方式】
[0006]下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0007]如图所示，本实用新型公开一种双端移动设备，包括:真空腔体I以及与所述真空腔体I相连接的双面开门装置，所述双面开门装置包括主动轮组件2和从动轮组件3，所述主动轮组件2和从动轮组件3的下方均设置轻轨4，所述从动轮组件3上依次连接门移动架子5，所述门移动架子5通过焊接竖筋6连接斜拉件7，所述斜拉件7与真空腔体I相连接；所述门移动架子5通过横向连杆与门板相连，所述门板下方设置固定架子8。
[0008]尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【权利要求】
1.一种双端移动设备，其特征在于，包括:真空腔体(I)以及与所述真空腔体(I)相连接的双面开门装置，所述双面开门装置包括主动轮组件(2)和从动轮组件(3)，所述主动轮组件(2)和从动轮组件(3)的下方均设置轻轨(4)，所述从动轮组件(3)上依次连接门移动架子(5 )，所述门移动架子(5 )通过焊接竖筋(6 )连接斜拉件(7 )，所述斜拉件(7 )与真空腔体(I)相连接；所述门移动架子(5)通过横向连杆与门板相连，所述门板下方设置固定架子(8)。
【文档编号】C23C14/22GK204039488SQ201420380487
【公开日】2014年12月24日 申请日期:2014年7月11日 优先权日:2014年7月11日
【发明者】王振东, 何万能 申请人:苏州诺耀光电科技有限公司