电阻加热器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种电阻加热器，包括电阻片加热区和电阻丝加热区，电阻片加热区在电阻丝加热区内侧。本实用新型具有加热效率高和可靠性好的优点。
【专利说明】电阻加热器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种电阻加热器。
【背景技术】
[0002]在半导体制造设备，尤其是需要高温加热的半导体制造设备中，如金属有机物化学气相沉积(MOCVD)，通常使用红外辐射加热或电磁感应加热。由于MOCVD工艺和生产需要，MOCVD设备加热系统经常在高温负载(1000摄氏度以上)下长时间运行。红外辐射加热中通常是电阻片或电阻丝形式。在高温下，传热的方式是以辐射为主的，而辐射传热受其辐射角的影响。片状加热器辐射角较大，传热的效率较高，传热更为直接。片状的发热体在进行辐射传热时，其绝大部分的热量能较均匀地传递到加受热体底部，可实现均匀加热，但电阻片易变性，可靠性差，寿命短。电阻丝相对于电阻片加热效率较低，均匀性差，但可靠性较高，寿命长。
[0003]针对大面积均匀加热，在现有技术中，通常采用多区电阻片或电阻丝红外辐射形式，以便于通过各区域功率调节控制和实现受热体温度均匀。多区电阻片加热中，外圈电阻片由于加热功率高，电阻片变形不易控制，电阻片尤其是靠近固定电极附件处的位置较容易产生热应力翘曲和断裂而失效。
【发明内容】
[0004]为了克服现有技术的不足，本实用新型提出一种新型多区电阻加热器，该加热器具有加热效率高，均匀性好，可靠性高及寿命长等优点。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下:
[0006]一种多区电阻加热器，包括:电阻片加热区、电阻丝加热区，所述电阻片加热区在电阻丝加热区内侧。
[0007]所述电阻片加热区为I个或2个以上的单区电阻片组成，以满足不同的加热面积、加热功率、加热器结构或均匀性等方面的需要。
[0008]所述电阻丝加热区为I股或2股以上单根电阻丝缠绕或排列组成，以满足不同的加热面积、加热功率、加热器结构或均匀性等方面的需要。
[0009]所述电阻丝加热区或电阻片加热区，还可以设置为周向分成2段以上电阻，各段电阻之间可以并联或串联，分段可以便于制造，也可以进一步减小形变，进一步提高加热器的可靠性和寿命。
[0010]本实用新型与现有技术相比，结合了电阻片和电阻丝的优点，可以在保证大面积加热均勾、节能的同时，提尚其可靠性和寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的多区电阻加热器的一个实施例结构示意图。
[0012]图2为在图1基础上将电阻丝加热区替换成2股单根加热丝缠绕形式的结构示意图。
[0013]图3为在图1基础上将各加热区设置为分成2段以上电阻的形式的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合实施例和附图进一步说明本实用新型。
[0015]参考图1，一种多区电阻加热器包括:电阻片加热区I和电阻丝加热区4，电阻片加热区I由两个单区电阻片内圈电阻片2和中圈电阻片3组成，电阻丝加热区4由I股单根电阻丝5缠绕组成，所述电阻片加热区I在电阻丝加热区4内侧。
[0016]根据工艺温度需要，分别在各电阻片或电阻丝两端通入特定的直流电或交流电，使电阻片和电阻丝发热，通过红外辐射方式对受热体加热。
[0017]图1的实施例中将电阻片设置成为2个单区电阻片组成，应用中可以根据不同的加热面积、加热功率、加热器结构或均匀性等方面的需要，将电阻片设置为I个或2个以上的单区电阻片组成。
[0018]图1的实施例中将电阻丝设置成为I股单根电阻丝缠绕组成，应用中可以根据不同的加热面积、加热功率、加热器结构或均匀性等方面的需要，将电阻丝设置为I股或2股以上单根电阻丝缠绕或排列组成。
[0019]图2中的实施例中即为在图1基础上将I股单根电阻丝5替换成2股单根电阻丝缠绕组成的电阻丝6。
[0020]图1的实施例中电阻丝加热区或电阻片加热区，可以设置为周向分成2段电阻以上，各段电阻之间可以并联或串联，分段可以便于制造，也可以进一步减小形变，进一步提高加热器的可靠性和寿命。
[0021]图3中的实施例中，即为在图1基础上将电阻片加热区I的内圈电阻片2设置为周向分成2段电阻片7和8，中圈电阻片3设置为周向分成2段电阻片9和10，将电阻丝加热区4中的电阻丝5设置为周向分成3段电阻丝11、12和13。
[0022]本实施例可以广泛应用于半导体制造设备的加热系统，尤其是金属有机物化学气相沉积设备(MOCVD)的加热系统，电阻片和电阻丝的结合使用，可以在保证大面积加热均勾、节能的同时，提尚其可靠性和寿命。
[0023]上述实施例只是本实用新型较优选的【具体实施方式】的一种，本领域技术人员在本实用新型方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的保护范围内。
【权利要求】
1.一种多区电阻加热器，主要包括:电阻片加热区和电阻丝加热区，其特征在于所述电阻片加热区在电阻丝加热区内侧。
2.根据权利要求1所述的多区电阻加热器，其特征在于所述电阻片加热区为I个或2个以上的单区电阻片组成。
3.根据权利要求1所述的多区电阻加热器，其特征在于所述电阻丝加热区为2股以上单根电阻丝缠绕或排列组成。
4.根据权利要求1所述的多区电阻加热器，其特征在于所述电阻丝加热区或电阻片加热区可以设置为周向分成2段以上电阻，各段电阻之间可以并联或串联。
【文档编号】C23C16/46GK204244487SQ201420554372
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年9月25日 优先权日:2014年9月25日
【发明者】沈桥, 甘志银, 刘胜 申请人:广东昭信半导体装备制造有限公司