一种水基清洗剂及其制备方法和应用与流程

文档序号:19075143发布日期:2019-11-08 21:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种水基清洗剂,其特征在于,包括表面活性剂、助剂和水,所述表面活性剂包括异构醇醚和有机高聚羧酸铵盐,以所述水基清洗剂的总质量计,所述异构醇醚的含量为2-10%,所述有机高聚羧酸铵盐的含量为0.5-10%;

所述异构醇醚包括改性异构醇醚、异构醇聚氧乙烯醚、异构十醇聚氧乙烯醚、异构十三醇聚氧乙烯醚中的一种或者几种;

所述助剂包括助洗剂、抗再沉积剂、缓蚀剂和水;以所述水基清洗剂的总质量计,所述助洗剂3-20%,所述抗再沉积剂5-15%,所述缓蚀剂5.2-11%;

所述缓蚀剂包括组分A和组分B,所述组分A的含量为5-10%,所述组分B的含量为0.2-1%,所述组分A为硼酸、硼酸钠和偏硼酸钠中的一种或几种,所述组分B为苯并三氮唑、亚硝酸钠、苯甲酸钠中的一种或几种。

2.根据权利要求1所述的水基清洗剂,其特征在于,所述助洗剂为三乙醇胺油酸皂、三聚磷酸钠、碳酸钠、EDTA-2Na中的一种或几种。

3.根据权利要求1或2所述的水基清洗剂,其特征在于,所述抗再沉积剂为三乙醇胺和/或烷基醇酰胺。

4.根据权利要求3所述的水基清洗剂,其特征在于,所述水基清洗剂中,所述异构醇醚具体为改性异构醇醚;所述助洗剂具体为三乙醇胺油酸皂;所述抗再沉积剂具体为三乙醇胺;所述组分A具体为硼酸;所述组分B具体为苯并三氮唑。

5.根据权利要求4所述的水基清洗剂,其特征在于,还包括硅油类消泡剂。

6.一种制备权利要求1-5任一项所述水基清洗剂的方法,其特征在于,将表面活性剂、助剂和水混合,并搅拌至完全溶解,得到所述水基清洗剂。

7.一种权利要求1-5任一项所述水基清洗剂的应用。

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