技术总结
一种稳流室控温盘，包括加热盘上盘面、陶瓷柱、加热盘稳流板和加热盘基座。陶瓷柱的上端固定在加热盘上盘面的下端，陶瓷柱的下端穿过加热盘稳流板和加热盘基座并与加热盘基座的下端固定。每个部件上有不同的结构，形成加热盘的媒介通道和热传导气体通道，进而控制加热盘的温度。本加热盘采用媒介质进行冷却和加热，利用媒介的循环，对加热盘进行温度的控制，媒介通道分布在加热盘内部。为了更好的控制晶圆的温度，加热盘内部还有热传导气体通道，能够将晶圆的温度传递给加热盘，能够更有效的控制晶圆的温度。
技术研发人员：吕光泉;吴凤丽;郑英杰;张建
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
文档号码：201510718211
技术研发日：2015.10.29
技术公布日：2017.05.10