一种镀膜玻璃夹持机构的制作方法

本发明涉及移动显示器制造技术领域，特别涉及一种镀膜玻璃夹持机构。

背景技术：

在目前的液晶显示面板阵列(Array)基板制造过程中，GE、SD、ITO膜层是由物理气相沉积(PVD)制程完成，膜层制作方法为磁控溅射(sputter)镀膜，制程示意图见图1，制程特性决定溅射出来的靶材粒子会沉积在玻璃基板、光罩(Mask)以及部分玻璃夹持机构的表面，随着镀膜时间增加，沉积在光罩以及夹持机构表面的膜层会逐渐增厚，附着的膜层会出现膜层脱落(peeling)现象，产生大量粒子(particle)，对镀膜品质产生很大的影响。

如图1至图4所示，目前磁控溅射镀膜时玻璃基板10a的边缘放置在基板座20a上面，玻璃基板10a与基板座20a通过垫片30a隔开绝缘，上部通过夹钳(clamp)40a夹持，整体结构见图2。请见图2A和图3，基板座20a的边缘均为直角。具体地，基板座20a的横截面大体上为L形，其上方具有向外凸出的第一直角部21a，其下方具有向内凹陷的第二直接部22a。其中，第一直角21a是凸出的，此位置容易聚集较多的靶材粒子，形成的凸出的膜层50a，附着性较差，很容易产生脱落；第二直角22a是凹进去的，靶材粒子在角落里容易形成疏松的膜层结构，附着性较差，也很容易产生脱落。直角的存在使膜层在基板座20a表面的分布是不均匀的，实际上减小了有效的镀膜面积，示意图见图4，实物图见图5。膜层脱落是腔体内产生大量粒子的一个重要源头，对镀膜品质产生较大的影响。

目前采用的方法是定期更换光罩以及夹持机构等被溅镀到的部件，换下的部件进行脱膜、表面处理、清洁之后再次使用。然而，更换部件会影响设备稼动率，清洗部件会产生高额清洗费用。

因此，为了克服上述缺陷，本发明提供了一种能够有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用降低的镀膜玻璃夹持机构。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种镀膜玻璃夹持机构，其能够增加镀膜的有效面积，使膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间。

为达上述目的，本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其包括：基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，

其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧设置有第一表面、第三表面以及设置在第一表面和第三表面之间的第二表面，其中第一表面为水平方向，第二表面为竖直方向，第三表面为水平方向，并且第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为平面。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面相互平行。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面不平行。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面与第一平面呈30°～60°，并且所述第二过渡面与第三平面呈30°～60°。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面与第一平面呈45°，并且所述第二过渡面与第三平面呈45°。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和所述第二过渡面均为曲面。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面的曲面向外凸出，所述第二过渡面的曲面向内凹陷。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述第一过渡面和第二过渡面中的其中一个为平面，另一个为曲面。

所述的镀膜玻璃夹持机构，其中，所述基板座和玻璃基板之间间隔设置有多个垫片。

本发明的有益效果是：本发明通过将基板座进行改进，把直角改成非直角，去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部所产生的大量粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用大幅降低。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是现有技术中的磁控溅射镀膜制程的示意图；

图2是现有的镀膜玻璃夹持机构的结构示意图；

图2A为图2中的A-A剖视图；

图3为现有的基板座的局部立体图；

图4为现有的基板座上膜层附着情况的示意图；

图5为本发明的基板座的局部立体图；

图6为本发明的基板座上膜层附着情况的示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

如图5和图6所示，并结合图2，本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其主要包括玻璃基板10、基板座20、垫片30以及夹钳40。所述基板座20为框形结构，并且基板座20的横截面大体上为L形。基板座20用于支撑所述玻璃基板10。具体地，所述玻璃基板10的边缘由基板座20支撑，并且二者之间间隔设置有多个软质的垫片30，防止玻璃基板10的边缘被磕碰。所述玻璃基板10的边缘上侧通过间隔布置的多个夹钳40将其固定在基板座20上，以确保结构稳固。

优选地，所述垫片30与夹钳40为错开设置，垫片30为夹钳40预留空间，方便将玻璃基板10固定在基板座20上。

本发明对基板座20的结构进行了改进。具体如图5所示，所述基板座20用于支撑玻璃基板10的一侧由上向下依次设置有水平的第一表面21、竖直的第二表面22以及水平的第三表面23，其中第一表面21和第二表面22之间通过第一过渡面24连接，第二表面22和第三表面23之间通过第二过渡面25连接。

优选地，第一过渡面24和第二过渡面25均为平面且相互平行，并且所述第一过渡面24与水平方向呈30°～60°，更优选地，所述第一过渡面24与水平方向呈45°。由此，第一过渡面24处不会形成凸出的膜层50，第二过渡面25处的角落位置不会形成疏松结构膜层，这样就去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，使附着的膜层不容易脱落，具体请见图6。

当然，所述第一过渡面24还可不与第二过渡面25平行。这样一来，对加工的精度要求降低，然而由于设置有第一过渡面24和第二过渡面25，因此其仍然可以实现使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，使附着的膜层不容易脱落的有益效果。

再优选地，所述第一过渡面24和第二过渡面25均为曲面(图中未示出)。且第一过渡面24的曲面向外凸出，而第二过渡面25的曲面向内凹陷。设置曲面的优势在于即使在安装玻璃基板10时出现失误，其过于靠近基板座20，然而由于基板座20上的第一过渡面24和第二过渡面25均设置为曲面，因此不易造成玻璃基板10的损坏。

此外，根据不同的制程要求，所述第一过渡面24和第二过渡面25中的其中一个可为平面，另一个为曲面。例如，可以将第一过渡面24设置为曲面，而第二过渡面25设置为平面，由于曲面的加工要求更高，因此更加靠近外侧的部位(第一过渡面24)设置为光滑的曲面，以避免出现不必要的磕碰，而更加靠近内侧的部位(第二过渡面25)设置为平面即可满足生产需求。

本发明通过对基板座20进行改进，把直角改成非直角，去掉了膜层附着较差的角落，使膜层更加均匀的附着在基板座表面，增加了镀膜的有效面积，膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部所产生的大量粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间。

优选地，所述垫片30采用PEEK(聚醚醚酮)材质，其为一种热塑性材质，耐高温且耐腐蚀。

综上所述，本发明的有益效果是：

本发明通过改善部件对靶材粒子的附着能力，能有效改善镀膜腔体内所产生的大量粒子状况，改善附着膜层脱落状况，减少镀膜腔体内部产生大量的粒子，提升镀膜品质，延长清洗品使用时间，提升设备稼动率，减少送洗频率，实现清洗费用大幅降低。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。