一种真空镀膜机及其微面积产品光学镀膜工装的制作方法

文档序号:11041462阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微面积产品光学镀膜工装,用于真空镀膜机,其特征在于,包括与所述真空镀膜机的动力装置传动连接的固定架和可拆卸地安装于所述固定架的基片夹具;

所述基片夹具包括支撑架、可拆卸地安装于所述支撑架上的立向支撑板,和安装于所述立向支撑板端部的侧护板;

所述立向支撑板的数量为若干,各所述立向支撑板平行设置,且相邻所述立向支撑板之间形成容置空间,所述容置空间内安装有多个挡板,各所述挡板形成层叠式结构,相邻两所述挡板之间形成工件插装槽,所述挡板上开设有镀膜孔,各所述镀膜孔均相对于相邻挡板外露。

2.根据权利要求1所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,所述基片夹具为分体式结构,其包括多片子夹具,各所述子夹具在周向拼接形成伞型结构。

3.根据权利要求2所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,所述基片夹具还包括设置在周向外侧的环形护板,所述环形护板设置于最外侧的所述立向支撑板的外侧。

4.根据权利要求3所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,最外侧的所述立向支撑板上设置有支撑螺钉,所述环形护板上开设有卡槽,并通过所述卡槽卡接于所述支撑螺钉。

5.根据权利要求1-4任一项所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,各所述挡板均相对于其所在的所述容置空间的槽底倾斜预设角度。

6.根据权利要求5所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,所述预设角度是10°-45°。

7.根据权利要求1-4任一项所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,各所述立向支撑板上开设有与挡板的位置和数量相匹配的多个位置孔。

8.根据权利要求7所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,处于同一立向支撑板上的多个位置孔,处于以支撑架的中心为圆心的弧形面上。

9.根据权利要求1-4任一项所述的微面积产品光学镀膜工装,其特征在于,多层所述容置空间形成阶梯式结构。

10.一种真空镀膜机,包括真空腔、动力装置,和设置于所述真空腔内并与所述动力装置传动连接的镀膜工装,其特征在于,所述镀膜工装为如权利要求1-9任一项所述的微面积产品光学镀膜工装。

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