技术特征：
技术总结
本发明公开了一种阻蒸器用防震式多位阻蒸台，主要由电极盘(1)，设置在电极盘(1)上并与电极盘(1)电连接的蒸发舟(7)，与蒸发舟(7)一一对应设置并与蒸发舟(7)电连接的从电极耳(3)组成。本发明的阻蒸盘设置有多个蒸发舟，该阻蒸盘能同时放置多种靶材，通过转换阻蒸盘的位置可对不同的靶材进行加热，本发明很好的解决了一位式阻蒸盘不能同时放置多种靶材，和不能连续的对不同靶材进行加热的问题，从而有效的减小了操作者的工作量，很好的提高了阻蒸器的工作效率。
技术研发人员：曹德;向勇;孙力
受保护的技术使用者：成都西沃克真空科技有限公司
技术研发日：2017.05.11
技术公布日：2017.07.14