本发明涉及一种机械加工装置，尤其是一种抛光装置，具体地说是一种一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置。
背景技术：
目前，实际研抛加工中，单面研抛时工件都需要通过胶或蜡“粘贴”到工件承载器上，使用结束后再通过某种方式将工件取下。这样一方面增加了辅助时间，降低了效率；另一方面，增加了辅材成本。有时还会出现“粘贴不均匀”、“粘贴不牢靠”等现象，从而影响研抛加工质量。
技术实现要素：
本发明的目的是针对现有的承载装置存在粘贴不均匀、粘贴不牢靠的问题，设计一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置。
本发明的技术方案是：
一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，它包括.吸盘11，其特征是所述的吸盘11的中心设有一个活塞腔14，活塞7安装在活塞腔14中，活塞7通过安装有测微部件的调节螺旋体10与气缸盖15相连，转动调节螺旋体10即可调节活塞在活塞腔14中的位置，进而调节活塞下部的活塞腔中的压力；活塞腔14的下部开设有吸气孔16，吸气孔产生负压将安装在吸盘11下部的工件1吸住；在气缸盖15上安装有测量吸盘11相对位移从而判定工件研抛量的位移传感器12。
在吸盘11的下部安装有弹性材料层2，弹性材料层2上也开设有与吸气孔16相配的通孔。
所述的吸盘11底部安装有多个测量吸力的压电传感器3，压电传感器3的触头穿过弹性材料层2与工件1相接触。
所述的吸气孔16的布局方式应保证压力分布均匀；部分吸气孔16直接与活塞腔14相连通，部分吸气孔16通过径向孔17与活塞腔相连通，在径向孔17的外侧安装有刚性密封垫片4和弹性密封件6，刚性密封垫片4和弹性密封件6通过径向孔台阶面和密封螺母5实现其在径赂孔中的定位从而实现径向孔17外侧的密封。
所述的位移传感器12为电涡流位移传感器。
所述的位移传感器12的测量基准为机床上的测量杆、尺或套装在吸盘外侧的修整环13的上端面。
本发明的有益效果：
1）装卸方便，无需加热及冷却等待，效率更高。
2）节省耗材，无需额外粘接剂，加工成本更低。
3）连接工件时负压分布均匀，使工件的受力均匀，采用该装置加工后的面型精度更高。
4）通过数显式螺旋测微计部件能够控制负压值，能够保证一批工件加工时的负压吸附力相同，使同一批工件的加工质量及面型一致性更高。
5）通过承载器下方均布的12个压电传感器组件能够测试出加工过程中压力实时变化，实现了对加工过程的实时监控，方便对加工过程的监控和管理。
6）通过在承载器附件上加装的电涡流位移传感器组件能够测试出加工时承载器在研盘面垂直方向上位移的变化，能够实现对研抛平稳性的实时监控，并能实时测试出工件的加工量，能够避免过度加工，减少了研抛废品率。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
如图1所示。
一种气吸式免粘单面研抛用工件承载装置，它包括.吸盘11，所述的吸盘11的中心设有一个活塞腔14，活塞7安装在活塞腔14中，活塞7上套装有密封圈8，活塞7通过安装有测微部件的调节螺旋体10与气缸盖15相连，气缸盖15与吸盘11通过连接螺钉9相连，转动调节螺旋体10即可调节活塞在活塞腔14中的位置，进而调节活塞下部的活塞腔中的压力；活塞腔14的下部开设有吸气孔16，吸气孔产生负压将安装在吸盘11下部的工件1吸住；为了吸引可靠，在吸盘11的下部最好安装一层弹性材料层2，弹性材料层2上也开设有与吸气孔16相配的通孔。所述的吸气孔16的布局方式应保证压力分布均匀；部分吸气孔16直接与活塞腔14相连通，部分吸气孔16通过径向孔17与活塞腔相连通，在径向孔17的外侧安装有刚性密封垫片4和弹性密封件6，刚性密封垫片4和弹性密封件6通过径向孔台阶面和密封螺母5实现其在径赂孔中的定位从而实现径向孔17外侧的密封。为了实时检测吸引力还可在吸盘11底部安装有多个测量吸力的压电传感器3，压电传感器3的触头穿过弹性材料层2与工件1相接触。在气缸盖15上安装有测量吸盘11相对位移从而判定工件研抛量的电涡流位移传感器12。所述的位移传感器12的测量基准可采用机床上现有的测量杆、尺，也可单独增设相应的测量基痊，本实施例是采用套装在吸盘外侧的修整环13的上端面作为测量基准。
本发明的工作原理及过程：
1.粘接工件时，将工件置于弹性材料层2的下方并紧密贴合；然后采用工具旋转调节螺旋体及测微部件10，由于螺旋体与活塞7之间的连接部有一定孔隙，这样调节螺旋体及测微部件10做旋转运动，而活塞7则做上下的直线运动。当旋转10使活塞7向上运动时，内腔的体积变大，而压力变小，从而小于大气压；工件1和弹性层2之间由于大气压的作用就会产生负压吸附。通过观察螺旋体及螺旋测微部件10上的刻度及显示，能够控制活塞7上下移动的位移，从而实现了对吸附压力的控制。
2.卸开工件时，通过反向旋转调节螺旋体及测微部件10，活塞向下运动，内腔的体积变小，压力就会变大，当内腔压力等于或大于大气压时，工件就会松开。
3.压力的监测，当工件装好并加工时，工件会与均布在弹性材料层内部的压电传感器组件3接触，工件所受负压的实时变化会被压电陶瓷传感器测得，并将其转换为电流信号，然后该信号数据会通过内置的无线发射装置被发射给安装在电脑或手机的监控软件，通过监控软件输出实时的压力数据。
4.垂直方向上位移的监测，当工件加工时，电涡流传感器12通过测量距离修整环13上表面的距离来监测承载器在研盘面垂直方向上位移的变化，并通过12中的无线发射装置，将位移信号发射给安转在电脑或手机的监控软件输出实时的位移数据。
本发明未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。