一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置的制作方法

文档序号:15457829发布日期:2018-09-15 01:40阅读:331来源:国知局

本发明属于真空镀膜机技术领域,具体涉及一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置。



背景技术:

真空镀膜机是指一种在较高真空度下进行的镀膜的设备。

原有的真空镀膜机采用夹具夹住待镀膜物品进行物品镀膜操作,在镀膜过程中气态的镀膜材料受夹具阻挡,不能很好地落在物品的表面,使物品的外表面无法完全的覆盖在薄膜下,且夹具上覆盖的薄膜造成了镀膜材料的浪费,镀膜材料在镀膜过程中会被蒸发为气态,气态的镀膜材料不稳定,易散落附着在其他物品上且难以在物品表面均匀的分布。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置,以解决上述背景技术中提出原有的真空镀膜机采用夹具夹住待镀膜物品进行物品镀膜操作,在镀膜过程中气态的镀膜材料受夹具阻挡,不能很好地落在物品的表面,使物品的外表面无法完全的覆盖在薄膜下,且夹具上覆盖的薄膜造成了镀膜材料的浪费,镀膜材料在镀膜过程中会被蒸发为气态,气态的镀膜材料不稳定,易散落附着在其他物品上且难以在物品表面均匀的分布的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置,包括外壳组件、镀膜组件,所述外壳组件包括真空镀膜机外壳、仪表箱、监控箱和支撑台,所述真空镀膜机外壳内侧壁左侧设有所述仪表箱,所述仪表箱与所述真空镀膜机外壳固定连接,所述真空镀膜机外壳内侧壁左侧靠近所述仪表箱右侧设有所述监控箱,所述监控箱与所述真空镀膜机外壳固定连接,所述真空镀膜机外壳右侧设有所述支撑台,所述支撑台与所述真空镀膜机外壳固定连接,所述镀膜组件包括蒸发箱、镀膜箱、箱盖、导管、离子泵、第一电动推杆、滑轨、夹具箱和第二电动推杆,所述支撑台上表面左侧设有所述蒸发箱,所述蒸发箱与所述支撑台固定连接,所述蒸发箱顶端设有所述镀膜箱,所述镀膜箱与所述蒸发箱固定连接,所述镀膜箱顶端设有所述箱盖,所述箱盖与所述镀膜箱固定连接,所述支撑台上表面右侧设有所述导管,所述导管与所述支撑台固定连接,所述导管外侧壁左侧设有所述离子泵,所述离子泵与所述导管固定连接,所述镀膜箱内部下表面中间位置处设有所述第一电动推杆,所述第一电动推杆与所述镀膜箱固定连接,所述镀膜箱内侧壁右侧设有所述滑轨,所述滑轨与所述镀膜箱滑动连接,所述滑轨内侧壁左侧设有所述夹具箱,所述夹具箱与所述滑轨固定连接,所述箱盖内侧壁上方设有所述第二电动推杆,所述第二电动推杆与所述箱盖固定连接,所述第一电动推杆与外部电源电性连接。

优选的,所述第一电动推杆顶端设有支撑块,所述支撑块与所述第一电动推杆固定连接,且所述支撑块的上表面开设凹槽。

优选的,所述夹具箱左端设有挡板,所述挡板与所述夹具箱通过转轴转动连接,且所述挡板的数量为两个。

优选的,所述夹具箱内侧壁右侧设有第三电动推杆,所述第三电动推杆与所述夹具箱固定连接,所述第三电动推杆左端设有活动夹,所述活动夹与所述第三电动推杆通过转轮转动连接。

优选的,所述第二电动推杆底端设有保护罩,所述保护罩与所述第二电动推杆固定连接,且所述保护罩的形状为杯状。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:镀膜箱的内侧壁设有滑轨和夹具箱,活动夹的右端设有转轮,使活动夹可上下转动,活动夹位于夹具箱内,夹具箱可在滑轨上滑动,使活动夹可将物品进行不同角度的翻转,活动夹与第三电动推杆连接,使活动夹可在不使用时缩回夹具箱内,你不会影响镀膜材料的镀膜操作,是镀膜材料在物品上覆盖的面积更加广泛,第二电动推杆的底端设有杯状保护罩,使蒸发箱排出的气态镀膜材料不会扩散的太远影响离子泵对气态镀膜材料的引导,使镀膜材料覆盖在物品表面。

附图说明

图1为本发明的结构示意图;

图2为本发明的俯视结构示意图;

图3为本发明的镀膜箱内部结构示意图;

图中:10、外壳组件;11、真空镀膜机外壳;12、仪表箱;13、监控箱;14、支撑台;20、镀膜组件;21、蒸发箱;22、镀膜箱;23、箱盖;24、导管;25、离子泵;26、第一电动推杆;27、滑轨;28、夹具箱;29、第二电动推杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种在盾构刀具上生成碳氮化钛薄膜的装置,包括外壳组件10、镀膜组件20,所述外壳组件10包括真空镀膜机外壳11、仪表箱12、监控箱13和支撑台14,所述真空镀膜机外壳11内侧壁左侧设有所述仪表箱12,所述仪表箱12与所述真空镀膜机外壳11固定连接,所述真空镀膜机外壳11内侧壁左侧靠近所述仪表箱12右侧设有所述监控箱13,所述监控箱13与所述真空镀膜机外壳11固定连接,所述真空镀膜机外壳11右侧设有所述支撑台14,所述支撑台14与所述真空镀膜机外壳11固定连接,所述镀膜组件20包括蒸发箱21、镀膜箱22、箱盖23、导管24、离子泵25、第一电动推杆26、滑轨27、夹具箱28和第二电动推杆29,所述支撑台14上表面左侧设有所述蒸发箱21,所述蒸发箱21与所述支撑台14固定连接,所述蒸发箱21顶端设有所述镀膜箱22,所述镀膜箱22与所述蒸发箱21固定连接,所述镀膜箱22顶端设有所述箱盖23,所述箱盖23与所述镀膜箱22固定连接,所述支撑台14上表面右侧设有所述导管24,所述导管24与所述支撑台14固定连接,所述导管24外侧壁左侧设有所述离子泵25,所述离子泵25与所述导管24固定连接,所述镀膜箱22内部下表面中间位置处设有所述第一电动推杆26,所述第一电动推杆26与所述镀膜箱22固定连接,所述镀膜箱22内侧壁右侧设有所述滑轨27,所述滑轨27与所述镀膜箱22滑动连接,所述滑轨27内侧壁左侧设有所述夹具箱28,所述夹具箱28与所述滑轨27固定连接,所述箱盖23内侧壁上方设有所述第二电动推杆29,所述第二电动推杆29与所述箱盖23固定连接,所述第一电动推杆26与外部电源电性连接。

本实施方案中,仪表箱12的前表面设有多个按键按钮和显示屏,用户可通过不同的按键按钮和显示屏完成对机器运行所需数据的设置,并通过监控箱13上设有的显示屏观测运行中机器的数据是否正常,判断机器是否正常工作,真空镀膜机采用气体放电的原理使气态的镀膜材料在电流的流动下,覆盖在物品的表面。

本实施例中,机器运行后,镀膜材料在蒸发箱21内变为气态,第二电动推杆29底端设有的保护罩,使气态的镀膜材料不会扩散太远,使气态镀膜材料在正负电极产生的电流的引导下,沿电流流动的方向流动,覆盖在物品的表面,活动夹可伸缩在夹具箱28内部,不影响镀膜材料在物品表面的覆盖,使镀膜材料可以得到充分的利用,不会造成镀膜材料的浪费。

进一步的,第一电动推杆26顶端设有支撑块,支撑块与第一电动推杆26固定连接,且支撑块的上表面开设凹槽。

本实施例中,支撑块为圆柱状,使盾构刀具可套在支撑块的外侧壁上,且盾构刀具可进行翻转放置在支撑块上表面开设的凹槽上,保证镀膜材料完全覆盖盾构刀具的外表面。

进一步的,夹具箱28左端设有挡板,挡板与夹具箱28通过转轴转动连接,且挡板的数量为两个。

本实施例中,挡板与夹具箱转动连接,使活动夹在伸缩的过程中,挡板不会影响活动夹的伸缩。

进一步的,夹具箱28内侧壁右侧设有第三电动推杆,第三电动推杆与夹具箱28固定连接,第三电动推杆左端设有活动夹,活动夹与第三电动推杆通过转轮转动连接。

本实施例中,第三电动推杆位于夹具箱内,夹具箱可在滑轨上滑动,使活动夹可将物品进行不同角度的翻转,使镀膜材料覆盖的更加全面。

进一步的,第二电动推杆29底端设有保护罩,保护罩与第二电动推杆29固定连接,且保护罩的形状为杯状。

本实施例中,杯状的保护罩限制了气态镀膜材料的扩散范围,使正负电极可以更好地引导气态镀膜材料。

本发明的工作原理及使用流程:本发明安装好过后,机器运行后,镀膜材料在蒸发箱21内变为气态,第二电动推杆29底端设有的保护罩,使气态的镀膜材料不会扩散太远,使气态镀膜材料在正负电极产生的电流的引导下,沿电流流动的方向流动,覆盖在物品的表面,活动夹可伸缩在夹具箱28内部,不影响镀膜材料在物品表面的覆盖,使镀膜材料可以得到充分的利用,不会造成镀膜材料的浪费。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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