一种真空镀膜装置的传动机构的制作方法

本实用新型属于传动机构技术领域，具体涉及一种真空镀膜装置的传动机构。

背景技术：

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，真空镀膜设备，指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD 激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

现有的真空镀膜机传动方式多采用固定式的连接方式。清洗工作室时由于立柱及货架的阻挡不易清洗，其主轴转速与立柱之间的转动速度比不稳定，影响工件的镀膜效果，封闭门需要人工开关，较为费力。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜装置的传动机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜装置的传动机构，包括驱动电机，所述驱动电机固定于真空箱底端，所述驱动电机的轴穿过真空箱底部的轴孔与主转轴焊接，所述真空箱底部设有底板，所述驱动电机的轴与底板中心的轴孔转动连接，所述驱动电机的轴与主转轴焊接处设有主动齿轮，所述主动齿轮与底板固定连接，所述主动齿轮周围与若干从动齿轮啮合，若干所述从动齿轮中心与转筒焊接，所述转筒内壁设有键槽，所述转筒外侧顶端设有卡盘，所述主转轴与底板上方的转盘中心焊接，所述转盘周围设有筒孔，所述筒孔与转筒转动连接，所述转筒内设有立柱，所述立柱底端焊接有连接键，所述连接键位于键槽内，所述立柱上焊接有货架，所述立柱顶部设有伸缩柱，所述伸缩柱与顶板上的柱孔转动连接，所述真空箱两侧均设有电机盒，两个所述电机盒内均设有电机，两个所述电机上均焊接有齿轮，所述齿轮与弧形齿条啮合，两个所述弧形齿条分别焊接于封闭门两侧，所述电机盒上设有齿条孔。

优选的，所述转筒外径与筒孔直径相同，所述转筒长度与转盘厚度相同，所述卡盘半径大于筒孔半径。

优选的，所述转筒内径与立柱底端直径相同，所述连接键截面与键槽大小形状相同。

优选的，所述转盘与底板之间的距离大于主动齿轮、从动齿轮的厚度，若干所述从动齿轮的中心在同一圆上。

优选的，所述转盘与顶板之间的距离等于立柱长度，所述柱孔直径与伸缩柱直径相同。

优选的，所述伸缩柱位于立柱内，所述伸缩柱与立柱之间设有弹簧，所述弹簧处于压缩状态，所述封闭门上设有观察窗。

本实用新型的技术效果和优点：该真空镀膜装置的传动机构，通过齿轮传动的方式，使立柱与柱转轴之间的速度比更加稳定，设有易于拆卸安装的立柱，当清洗时可将立柱拆下，使工作室更加宽敞，易于清洗工作室和立柱，独立的电机与齿轮齿条配合可使封闭门自动开关，节省了时间，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的转盘仰视图；

图3为本实用新型的立柱结构图；

图4为本实用新型的从动齿轮结构图；

图5为本实用新型的转盘结构图；

图6为本实用新型的伸缩头主视图；

图7为本实用新型的电机盒局部剖视图；

图8为本实用新型的齿条主视图。

图中：1驱动电机、2真空箱、3底板、4转盘、5主转轴、6立柱、7齿条孔、8电机盒、9顶板、10弧形齿条、11铰链、12封闭门、13观察窗、14主动齿轮、15从动齿轮、16连接键、17货架、18伸缩柱、19键槽、20转筒、21筒孔、22柱孔、23卡盘、24弹簧、25电机、26齿轮、27轴孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-8所示的一种真空镀膜装置的传动机构，包括驱动电机1，所述驱动电机1固定于真空箱2底端，所述驱动电机1的轴穿过真空箱2底部的轴孔27与主转轴5焊接，所述真空箱2底部设有底板3，所述驱动电机1的轴与底板3中心的轴孔27转动连接，所述驱动电机1的轴与主转轴5 焊接处设有主动齿轮14，所述主动齿轮14与底板固定连接，所述主动齿轮14 周围与若干从动齿轮15啮合，若干所述从动齿轮15中心与转筒20焊接，所述转筒20内壁设有键槽19，所述转筒20外侧顶端设有卡盘23，所述主转轴5与底板3上方的转盘4中心焊接，所述转盘4周围设有筒孔21，所述筒孔21与转筒20转动连接，所述转筒20内设有立柱6，所述立柱6底端焊接有连接键16，所述连接键16位于键槽19内，所述立柱6上焊接有货架17，所述立柱6顶部设有伸缩柱18，所述伸缩柱18与顶板上的柱孔22转动连接，所述真空箱2两侧均设有电机盒8，两个所述电机盒8内均设有电机25，两个所述电机25上均焊接有齿轮26，所述齿轮26与弧形齿条10啮合，两个所述弧形齿条10分别焊接于封闭门12两侧，所述电机盒8上设有齿条孔7。

具体的，所述转筒20外径与筒孔21直径相同，所述转筒20长度与转盘4 厚度相同，所述卡盘23半径大于筒孔21半径，转筒20跟随从动齿轮15在转盘4下方转动，转筒20相对于转盘4在垂直方向上固定。

具体的，所述转筒20内径与立柱6底端直径相同，所述连接键16截面与键槽19大小形状相同，连接键16位于键槽19中可使立柱6跟随转筒20转动而转动。

具体的，所述转盘4与底板3之间的距离大于主动齿轮14、从动齿轮15的厚度，若干所述从动齿轮15的中心在同一圆上，主动齿轮14、主转轴5转动时，转盘4转动，转盘上的从动齿轮15绕主动齿轮14公转，主动齿轮14与从动齿轮15啮合，所以从动齿轮15同时以转筒20为轴自转。

具体的，所述转盘4与顶板9之间的距离等于立柱6长度，所述柱孔22直径与伸缩柱18直径相同，使立柱6在垂直与转盘4方向上固定。

具体的，所述伸缩柱18位于立柱6内，所述伸缩柱18与立柱6之间设有弹簧24，所述弹簧24处于压缩状态，弹簧24进一步压缩可使立柱6垂直立于顶板9与转盘4之间，松开伸缩柱18使弹簧24顶动伸缩柱18，使伸缩柱18卡在柱孔22中即可使立柱6固定，所述封闭门12上设有观察窗13，可在加工中通过观察窗13观察真空箱2内加工情况。

工作原理：

工件镀膜加工时，将工件固定于货架17上，将立柱6底部插入转筒20内使连接键16位于键槽19内，压缩顶部伸缩柱18，使伸缩柱18垂直顶部对准顶板9上的柱孔22即可，松开伸缩柱18，在弹簧24弹力作用下伸缩柱18弹进柱孔22中，可使立柱6垂直固定，之后开动电机25使齿轮26带动弧形齿条10 转动，封闭门12左侧弧形齿条10随齿轮26转动从而拉动封闭门12以铰链11 为轴转动，当封闭门12右侧弧形齿条10从齿条孔7进入电机盒8中与齿轮26 啮合时弧形齿条10在齿轮26作用力下拉紧封闭门12使封闭门12与真空箱2 贴合，之后驱动电机1转动带动主动齿轮14与主转轴5上焊接的转盘4转动，转盘4上的立柱6以主转轴5为中心转动，从动齿轮14与主动齿轮15啮合，所以从动齿轮15以转筒20中心转动，转筒20内的键槽19卡住连接键16可使立柱6本身转动，稳定的速度比可使其在镀膜过程中镀膜更加均匀。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。