一种晶闸管的铝蒸发装置的制作方法

本实用新型涉及晶闸管技术领域，具体为一种晶闸管的铝蒸发装置。

背景技术：

晶闸管是一种大功率电器元件，一般晶闸管称作可控硅，它具有体积小、效率高、寿命长等优点，在自动控制系统中，可作为大功率驱动器件，实现用小功率控件控制大功率设备，它在交直流电机调速系统、调功系统及随动系统中得到了广泛的应用，可控硅分单向可控硅和双向可控硅两种，双向可控硅也叫三端双向可控硅，双向可控硅在结构上相当于两个单向可控硅反向连接，这种可控硅具有双向导通功能，其通断状态由控制极G决定，在控制极G上加正脉冲(或负脉冲)可使其正向(或反向)导通，这种装置的优点是控制电路简单，没有反向耐压问题，因此特别适合做交流无触点开关使用。

晶闸管的制备方法有金属铝的蒸发涂覆工艺,目前晶闸管芯片的铝蒸发装置，主要是将铝源放置在铜制的坩埚内，然后采用10KV的高速电子束轰击熔融，使固态的铝变成汽态，铜制的坩埚的空腔内盛装有冷却水，由于现有铝源直接放置在盛有冷却水的铜制坩埚内，导致了在蒸发过程中，加热电源功率15KW加到85％，蒸发速率只有10埃/秒左右，蒸发时间长达8.5H左右，效率低下，金属膜质量差，生产成本高。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶闸管的铝蒸发装置，解决了蒸发时间长效率低下、金属膜质量差、生产成本高的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶闸管的铝蒸发装置，包括外箱和底板，所述外箱的底部与底板的顶部固定连接，所述外箱内壁底部的一侧固定连接有第一安装块，所述第一安装块的顶部固定连接有缓冲块，所述缓冲块的顶部固定连接有电机，所述电机输出轴的表面固定连接有第一皮带轮，所述外箱内壁的底部通过转动块转动连接有转动杆，所述转动杆的表面固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮的表面之间通过皮带传动连接，所述外箱内壁的两侧之间固定连接有隔板，所述转动杆的一端贯穿隔板并延伸至隔板的顶部，所述转动杆延伸至隔板顶部的一端通过连接块固定连接有功能箱。

优选的，所述外箱内壁底部的一侧固定连接有保护箱，所述保护箱内壁的底部固定连接有第二安装块，所述第二安装块的顶部固定连接有真空泵。

优选的，所述真空泵的进气口通过连接件连通有导气管，所述导气管的一端贯穿保护箱和隔板并延伸至隔板的顶部，所述真空泵的排气口通过连接件连通有排气管，所述排气管贯穿保护箱和外箱并延伸至外箱的外部。

优选的，所述功能箱内壁的底部与两侧均固定连接有加热丝固定板，并且加热丝固定板的表面均通过安装组件固定连接有加热丝，所述加热丝采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质。

优选的，所述功能箱内壁的两侧之间固定连接有坩埚，所述坩埚的内部放置有铝源，所述外箱的顶部连通有进料管，所述进料管的内部设置有电磁阀，所述电磁阀的输入端与控制箱的输出端电性连接。

优选的，所述底板底部的两侧均固定连接有导向轮，并且两个导向轮的一侧均固定连接有制动杆，所述外箱的一侧固定连接有控制箱。

有益效果

本实用新型提供了一种晶闸管的铝蒸发装置。具备以下有益效果：

(1)、该晶闸管的铝蒸发装置，通过在外箱内壁的底部通过第一安装块和缓冲块安装电机，电机输出轴的表面固定连接第一皮带轮，外箱内壁转动连接转动杆，转动杆的表面固定连接第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮之间通过皮带传动连接，转动杆的顶端与功能箱固定连接，这样的结构设置可以使功能箱进行旋转，加速坩埚内部的铝源蒸发速率，缩短蒸发时间，提高蒸发效率。

(2)、该晶闸管的铝蒸发装置，通过在外箱内部的底部固定连接保护箱，保护箱的内部设置真空泵，真空泵的进气口连通导气管，导气管的一端贯穿保护箱和隔板并延伸至隔板的顶部，利用真空泵的工作原理对隔板以上空间的空气进行真空处理，这样可以有效的提高金属膜的生产质量，同时也降低了对生产的温度要求，节约成本消耗。

附图说明

图1为本实用新型结构的剖视图；

图2为本实用新型功能箱的结构示意图。

图中：1外箱、2底板、3第一安装块、4缓冲块、5电机、6第一皮带轮、7转动杆、8第二皮带轮、9皮带、10隔板、11功能箱、12保护箱、13第二安装块、14真空泵、15导气管、16排气口、17排气管、18加热丝固定板、19加热丝、20坩埚、21铝源、22进料管、23导向轮、24制动杆、25控制箱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种晶闸管的铝蒸发装置，包括外箱1和底板2，底板2底部的两侧均固定连接有导向轮23，并且两个导向轮23的一侧均固定连接有制动杆24，外箱1的一侧固定连接有控制箱25，外箱1的底部与底板2的顶部固定连接，外箱1内壁底部的一侧固定连接有保护箱12，保护箱12内壁的底部固定连接有第二安装块13，第二安装块13的顶部固定连接有真空泵14，真空泵14的进气口通过连接件连通有导气管15，导气管15的一端贯穿保护箱12和隔板10并延伸至隔板10的顶部，位于导气管15贯穿隔板10的接口处设置有密封圈，保证了空间的密闭性，真空泵14的排气口16通过连接件连通有排气管17，排气管17贯穿保护箱12和外箱1并延伸至外箱1的外部，外箱1内壁底部的一侧固定连接有第一安装块3，第一安装块3的顶部固定连接有缓冲块4，缓冲块4的顶部固定连接有电机5，电机5输出轴的表面固定连接有第一皮带轮6，外箱1内壁的底部通过转动块转动连接有转动杆7，转动杆7的表面固定连接有第二皮带轮8，第一皮带轮6与第二皮带轮8的表面之间通过皮带9传动连接，外箱1内壁的两侧之间固定连接有隔板10，转动杆7的一端贯穿隔板10并延伸至隔板10的顶部，位于转动杆7贯穿隔板10的接口处设置有密封圈，保证了空间的密闭性，转动杆7延伸至隔板10顶部的一端通过连接块固定连接有功能箱11，功能箱11内壁的底部与两侧均固定连接有加热丝固定板18，并且加热丝固定板18的表面均通过安装组件固定连接有加热丝19，该加热丝19采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质，可以达到较高温度，加热速度快，效率高，耗能低，功能箱11内壁的两侧之间固定连接有坩埚20，坩埚20内蒸发材料与加热丝19无接触，增加了坩埚20的使用寿命，坩埚20的内部放置有铝源21，外箱1的顶部连通有进料管22，该进料管22的内部设置有电磁阀，电磁阀的输入端与控制箱25的输出端电性连接，通过电磁阀的作用可以使隔板10上的空间形成密闭空间，使真空泵14可以有效地进行作业。

使用时，工作人员操作控制箱25打开进料管22内部的电磁阀，向坩埚20内部加入铝源21，再操作控制箱25关闭电磁阀，并使真空泵14开始工作，将隔板10上的空间抽成真空状态，操作控制箱25使加热丝19和电机5开始工作、对坩埚20内部的铝源21进行蒸发处理，以上就是一种晶闸管的铝蒸发装置的全部工作原理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。