技术特征：
技术总结
本公开涉及抛光制品。抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
技术研发人员：N·B·帕蒂班德拉;K·克里希南;D·莱德菲尔德;R·巴贾杰;R·E·帕里;G·E·蒙柯;F·C·雷德克;M·C·奥里拉尔;J·G·方
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2015.10.01
技术公布日：2019.09.17