一种视窗保护机构及蚀刻设备的制作方法

本申请涉及化学反应设备领域，尤其涉及一种视窗保护机构及蚀刻设备。

背景技术：

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类。

蚀刻设备设有用于观察内部电极和玻璃的加工状态的视窗，在蚀刻过程中上述视窗容易被等离子体轰击及腐蚀，造成视窗的雾化，需要更换视窗设备才能继续使用，进而增加了设备的使用成本。

申请内容

本申请的一个目的在于提供一种视窗保护机构，旨在解决视窗在蚀刻过程中容易被雾化的问题。

为达此目的，本申请采用以下技术方案：

一种视窗保护机构，包括：

第一安装板，用于安装视窗，所述第一安装板开设有滑动槽；

挡板，用于选择性遮挡视窗，所述挡板通过所述滑动槽与所述第一安装板滑动连接；

驱动机构，用于驱动所述挡板的移动以实现所述挡板对视窗的选择性遮挡；

第二安装板，用于安装所述驱动机构。

在一个实施例中，还包括感应系统，当所述感应系统检测到使用者的靠近时自动控制驱动机构运动并带动挡板从遮挡视窗的位置移开。

在一个实施例中，所述挡板为透明板。

在一个实施例中，所述挡板为聚氯乙烯板、聚苯乙烯板、聚甲基丙烯酸甲酯板、甲丙烯酸甲酯板或者聚碳酸酯板。

在一个实施例中，还包括：

第二安装板，用于安装所述驱动机构。

在一个实施例中，还包括：

密封结构，设于所述第二安装板且用于密封所述驱动机构。

在一个实施例中，所述密封结构为密封胶层。

在一个实施例中，所述驱动机构包括：

丝杠螺母，与所述挡板相连；

丝杠轴，与所述丝杠螺母螺纹连接；

驱动电机，用于驱动所述丝杠轴转动。

在一个实施例中，所述驱动电机为伺服电机、直流电机或步进电机。

在一个实施例中，所述驱动机构包括：

移动杆，与所述挡板相连；

气缸，所述气缸的活动端与所述移动杆相连。

在一个实施例中，所述移动杆为金属杆。

在一个实施例中，所述驱动机构包括：

链条，与所述挡板相连；

驱动电机，用于驱动所述链条的转动。

本申请的另一个目的在于提供一种蚀刻设备，包括上述的视窗保护机构。

本申请采用驱动机构带动挡板的移动，使得挡板在遮挡视窗和不遮挡视窗的两种状态间切换，当需要通过视窗观看蚀刻设备内的蚀刻状态时选择将挡板不遮挡视窗，使用者可通过视窗观察内部反应状态，当不需要观察蚀刻设备的内部使用状态时选择将挡板遮挡视窗，此时挡板能够避免蚀刻过程中等离子体对视窗的轰击和腐蚀，也即避免了非观察状态下视窗的雾化，因此能有效避免视窗在蚀刻过程中的雾化问题，进而降低了设备的使用成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或范例技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的视窗保护机构的示意图；

图2为本申请实施例提供的第一安装板的结构示意图；

图3为本申请的另外一个实施例中驱动机构与挡板的连接示意图；

图中：

1、第一安装板；101、滑动槽；2、视窗；3、挡板；4、密封结构；5、第二安装板；6、丝杠螺母；7、丝杠轴；8、驱动电机；9、移动杆；10、气缸；11、驱动机构。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本申请的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本申请实施例提出了一种视窗保护机构，包括用于安装视窗2且开设有滑动槽101的第一安装板1、用于选择性遮挡视窗2且通过滑动槽101与第一安装板1滑动连接的挡板3、用于驱动挡板3的移动以实现挡板3对视窗2的选择性遮挡的驱动机构11、以及用于安装驱动机构11的第二安装板5。

在本申请的实施例中，采用驱动机构11带动挡板3的移动，使得挡板3在遮挡视窗2和不遮挡视窗2的两种状态间切换，当需要通过视窗2观看蚀刻设备内的蚀刻状态时选择将挡板3不遮挡视窗2，使用者可通过视窗2观察内部反应状态，当不需要观察蚀刻设备的内部使用状态时选择将挡板3遮挡视窗2，此时挡板3能够避免蚀刻过程中等离子体对视窗2的轰击和腐蚀，也即避免了非观察状态下视窗2的雾化，因此能有效避免视窗2在蚀刻过程中的雾化问题，进而降低了设备的使用成本。同时，挡板3沿着滑动槽101移动以实现对视窗2的遮挡和非遮挡状态，由于滑动槽101的限位作用挡板3能够较好的移动，不会发生位置的偏移，保证对视窗2的遮挡效果。

在一个实施例中，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，还包括有感应系统，当感应系统检测到使用者的靠近时可自动控制驱动机构11运动并带动挡板3从遮挡视窗2的位置移开。

在一个实施例中，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，挡板3为透明板，也即在挡板3将视窗2遮挡的情况下依然能观察内部蚀刻状态，待透明的挡板3被雾化后可选择更换挡板3或者选择将挡板3移开，以实现对内部的蚀刻状态进行观察。

在一个实施例中，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，挡板3为聚氯乙烯板、聚苯乙烯板、聚甲基丙烯酸甲酯板、甲丙烯酸甲酯板或者聚碳酸酯板。透明的挡板3可选择挡板3为聚氯乙烯板、聚苯乙烯板、聚甲基丙烯酸甲酯板、甲丙烯酸甲酯板或者聚碳酸酯板的任一种，具体可根据蚀刻的条件与挡板3的材质结合，保证蚀刻对该材质挡板3的腐蚀作用尽量小，以实现挡板3的较长时间的使用。

在一个实施例中，请参阅图1，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，还包括设于第二安装板5且用于密封驱动机构11的密封结构4。具体地，密封结构4用于将驱动机构11的部分结构进行密封，以避免蚀刻过程中驱动机构11受到破坏。

在一个实施例中，请参阅图1，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，密封结构4为密封胶层。密封胶层将驱动机构11密封于第二安装板5上，以确保驱动机构11在蚀刻过程中依然能稳定运行。

在一个实施例中，请参阅图3，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，驱动机构11包括与挡板3相连的丝杠螺母6、与丝杠螺母6螺纹连接的丝杠轴7、以及用于驱动丝杠轴7转动的驱动电机8。具体地，驱动电机8用于带动丝杠轴7的转动，与丝杠轴7螺纹连接的丝杠螺母6随着丝杠轴7的转动发生直线移动，丝杠轴7不同的转动方向带动丝杠螺母6不同的方向运动，与丝杠螺母6相连的挡板3进而随着丝杠螺母6移动，以实现挡板3对视窗2的遮挡和非遮挡状态。

在一个实施例中，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，驱动电机8为伺服电机、直流电机或步进电机。上述驱动电机8为伺服电机、直流电机或步进电机之中的任一种，根据对精度以及规格的需求进行选择。

在一个实施例中，请参阅图1，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，驱动机构11包括与挡板3相连的移动杆9、以及活动端与移动杆9相连的气缸10。具体地，气缸10带动移动杆9的移动，与移动杆9相连的挡板3随着移动板的移动而移动，以实现挡板3对视窗2的遮挡和非遮挡状态。

在一个实施例中，作为本申请提供的一种视窗保护机构的一种具体实施方式，移动杆9为金属杆。例如将移动杆9选为金属杆，能提升蚀刻过程中防腐蚀的效果。

本申请的实施例还提供一种蚀刻设备，包括上述的视窗2保护机构。上述第一安装板1可为蚀刻设备的侧板，上述第二安装板5可为蚀刻设备的顶板或者底板。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。