一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机的制作方法

本实用新型涉及一种镀膜机，特别是涉及一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机。

背景技术：

现有广泛用于生产的磁控溅射镀膜机中所用的溅射靶体或整体装于炉内、或整体装于炉壁上(下壁、侧壁或上壁)，靶体上的靶材表面都朝向炉内被镀工件，镀膜前炉腔抽真空并启动加热，下一步充入氩气，在工件与炉壁(接地)施加较高电压，使炉内氩气辉光放电产生氩等离子体，对工件表面进行氩离子轰击清洗，然后进入镀膜作业：启动阴极磁控溅射靶电源，产生靶材溅射，溅出靶材物料，在工件上施加负偏压，把溅射出的靶材粒子吸拉到工件表面沉积成膜层。由于在镀膜作业中，靶材会发热，在靶材背面必须有水冷装置带走热量。

一般的靶材都能耐受一定温度和湿度，在镀膜作业完毕后，等待炉内冷却到100度左右，破真空，打开炉门取工件。在打开炉门后，虽然靶材曝露在大气中，但不会产生不良影响和后果。有的镀膜机炉内还备有多种靶材的阴极溅射靶，在镀膜时，为了避免不同靶材的靶体之间相互污染，会在靶材前方加置活动遮挡板，它起到遮挡屏蔽作用，但不起真空密封作用。

随着科学技术不断发展，出现了许多新材料靶材。新近有要求镀锂膜层，需要使用金属锂作为靶材，而金属锂的特性是不能接触水、稍高温下不能接触水汽，否则会引起爆炸。现有的磁控溅射镀膜机的溅射靶结构都不能满足隔离水汽要求，必须重新设计全新的溅射靶结构和镀膜机。使用锂材料靶材的镀膜机结构必须满足：1、不能用水作为介质进行冷却，以保证锂材料不会与水接触；2、有单独真空气密功能，能与大气隔离，隔离水汽。为此，我们针对上述技术特点，实用新型了具有上述功能的专用镀膜机。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题，就是提供一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。

解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，其特征在于：还包括：

靶腔，设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；

伸缩机构，安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；

靶门及平移启闭机构，靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。

循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。

在所述靶腔的壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口。

所述平移启闭机构包括第一直线运动机构、平移板、连杆、弹簧和限位轮，第一直线运动机构安装在真空镀膜室的壁板上，平移板安装在第一直线运动机构的活动端，靶门与平移板面对面设置，连杆和弹簧位于靶门与平移板之间，连杆两端分别与靶门和平移板铰接，弹簧的两端分别与靶门和平移板固定连接，限位轮设在腔口侧边；当第一直线运动机构往远离腔口方向运动时，连杆向侧倾斜，弹簧收缩，靶门被拉起；当第一直线运动机构往腔口方向运动至靶门正对腔口时，限位轮抵挡在靶门的侧面上，限制靶门继续平移，而平移板继续前行，导致连杆由向侧倾斜转向垂直压下靶门，同时拉长弹簧。

沿所述腔口的边缘设有凸出的密封环，在靶门上对应密封环的位置设有靶门密封圈，沿靶门的边缘设有凸缘；当靶门密封盖在腔口处时，凸缘围绕在密封环外围。

所述第一直线运动机构为气缸，该气缸通过第一动密封组件对应安装在真空镀膜室的壁板的外表面上，气缸的活塞杆穿入真空镀膜室内。

所述伸缩机构包括第二直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，滑动套管活动穿过靶腔的壁板，通过第二动密封组件密封，靶体固定安装在滑动套管的里端，第二直线运动机构安装在靶腔的壁板的外表面，连接板连接第二直线运动机构的活动端和滑动套管的外端。

所述靶体内设有液体流道，在滑动套管内设有出液管和进液管，出液管和进液管与滑动套管之间绝缘，出液管和进液管的里端分别与液体流道的出液口和进液口连接，出液管和进液管的外端分别从滑动套管的外端穿出。

所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，隔水胶皮平贴在安装槽的底面，极靴设置在隔水胶皮的表面，铜板密封盖在安装槽的槽口处，磁铁分布在铜板与极靴之间，靶材平贴固定在铜板的外表面上；在铜板与极靴之间形成液体流道，在靶体上还设有与液体流道连通的出液通道和进液通道，出液通道和进液通道的外端即为出液口和进液口。

所述镀膜机还包括靶体固定板，靶体固定板固定在滑动套管的里端，靶座通过绝缘固定组件固定在靶体固定板上，靶座与靶体固定板之间留有间隔。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型为前所未有的具有独立的靶体真空隔离空间的镀膜机，通过另外设置靶腔和靶门来实现对靶体的密封隔离，适合用于特殊的不能见水和潮气的靶材(如金属锂)的溅射。本实用新型通过平移启闭机构实现靶门的自动打开和自动密封盖合。本实用新型的靶体还可通过伸缩机构进行移动，从而能将靶体调节至合理的溅射距离，可见，在实现对靶体进行密封隔离的功能下，也不会影响镀膜时的效率。

2、本实用新型采用硅油作为靶体降温用的液体，完全避免了现有的镀膜机中由冷却水的渗漏带来的不利风险。

3、本实用新型在靶腔上单独设置抽气口，实现对靶腔单独抽真空。

4、本实用新型的平移启闭机构通过第一直线运动机构带动平移，通过连杆、弹簧和限位轮的配合即可实现靶门的自动打开和自动密封盖合，结构简单，运行可靠稳定。

附图说明

图1是本实用新型的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；

图2是本实用新型的靶门处于关闭状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；

图3是本实用新型的靶门处于打开状态时的剖视示意图之一，视图方向为主视方向；

图4是本实用新型的靶门处于打开状态时的剖视示意图之二，视图方向为侧视方向；

图5是图1中ⅰ处的放大示意图；

图6是图1中ⅱ处的放大示意图；

图7是图2中ⅲ处的放大示意图；

图8是图3中ⅳ处的放大示意图；

图9是图3中ⅴ处的放大示意图；

图10是本实用新型的靶体与伸缩机构的装配示意图；

图11是图4中ⅵ处的放大示意图；

图12是图2中ⅷ处的放大示意图；

图13是图11中ⅶ处的放大示意图。

图中附图标记含义：

1真空镀膜室；1-1真空镀膜室的底部；2靶腔；2-1抽气口；2-2靶腔的底部壁板；2-3腔口；2-4密封环；3靶体；3-1靶材；3-2铜板；3-3磁铁；3-4极靴；3-5隔水胶皮；3-6压条；3-7屏蔽围板；3-8靶座；3-9靶体固定板；3-10连接螺栓；3-11绝缘垫；3-12绝缘套；3-13绝缘盖；4靶门；4-1靶门密封圈；4-2凸缘；5平移启闭机构；5-1第一直线运动机构；5-2活塞杆；5-3连接套；5-4弹簧；5-5弹簧固定座；5-6平移板；5-7限位柱；5-8连杆座；5-9连杆；5-10限位轮；5-11限位轮座；5-12限高块；5-13滑块；5-14导轨；6伸缩机构；6-1滑动套管；6-3保护盖；6-4绝缘护套；6-5连接板；6-6导柱；6-7导向管；6-8导柱固定座；6-9第二直线运动机构；6-10浮动接头；7第一动密封组件；7-1密封座；7-2储油环；7-3第一骨架油封；7-4压环；7-5第一密封压盖；7-6焊接座；7-8注油孔；7-9润滑套；8第二动密封组件；8-1第二骨架油封；8-2密封固定管；8-3隔套；8-4第二密封压盖；9-1液体流道；9-2进液管；9-3出液管；9-4液管绝缘套；9-5锁紧螺母；9-6密封压套；9-7管部密封圈；9-8管连接头；9-9弯头水嘴；9-10进液通道；9-11出液通道；10硅油。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型进一步描述。

如图1至图13所示的一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，其包括真空镀膜室1、靶体3、靶腔2、伸缩机构6、靶门4及平移启闭机构5。本镀膜机通过循环流经靶体的液体实现对靶体3的降温。

如图1所示，本实施例的靶腔2设置在真空镀膜室的底部1-1，当然靶腔2也可设置在真空镀膜室的顶部或侧部，此时其它部件的安装位置也将跟随变化。靶腔2通过上端的腔口2-3直接与真空镀膜室1连通。伸缩机构6安装在靶腔2的底部壁板2-2上。靶体3安装在伸缩机构6上，并位于靶腔2内，由伸缩机构6带动靶体3向腔口2-3方向移动，或收缩回靶腔2内，本实施例的伸缩机构6带动靶体3上下运动。靶门4通过平移启闭机构5安装在腔口2-3处。通过驱动平移启闭机构5往腔口2-3方向作平移运动，可使得靶门4自动密封盖在腔口2-3处；通过驱动平移启闭机构5往远离腔口2-3方向作平移运动，可使得靶门4自动脱离腔口2-3并由平移启闭机构5带动向腔口2-3侧边平移开，从而打开腔口。

为了能完全避免靶材与水接触，本实施例将硅油作为循环流经靶体的用于降温的液体，将硅油作为冷却剂。

为了能单独对靶腔2进行抽真空，在靶腔2的左侧壁板上设有用于对靶腔进行抽真空的抽气口2-1。抽真空时，抽气口2-1外接真空泵。

如图5至图8所示，本实施例的平移启闭机构5包括第一直线运动机构5-1、平移板5-6、连杆5-9、弹簧5-4和限位轮5-10，第一直线运动机构5-1安装在真空镀膜室1的左侧壁板上，平移板5-6水平安装在第一直线运动机构5-1的活动端，靶门4与平移板5-6面对面设置，靶门4位于平移板5-6下方，连杆5-9和弹簧5-4位于靶门4与平移板5-6之间，连杆5-9两端分别与靶门4和平移板5-6铰接，弹簧5-4的两端分别与靶门4和平移板5-6固定连接，限位轮5-10设在腔口2-3的右侧边。在使用过程中，当需要打开腔口2-3时，第一直线运动机构5-1往远离腔口方向运动，即向左运动，连杆5-9向侧倾斜，弹簧5-4收缩，靶门4被拉起，第一直线运动机构5-1继续向左运动，将带动靶门4平移至腔口2-3的左侧边，从而打开腔口2-3；当需要关闭腔口2-3时，第一直线运动机构5-1往腔口2-3方向运动，即向右运动，直至靶门4正对腔口2-3，即靶门4位于腔口2-3正上方，限位轮5-10抵挡在靶门4的右侧面上，限制靶门4继续向右平移，此时，第一直线运动机5-1继续向右运动，将迫使连杆5-9不断摆直，使得靶门4与平移板5-6之间的距离逐渐增大，弹簧5-4被拉伸，最终靶门4将紧紧盖在腔口2-3上面。

如图8所示，在靶门4的面向平移板5-6的上表面上设有限位柱5-7，在弹簧5-4收缩，拉起靶门4时，限位柱5-7的上端面将抵靠在平移板5-6上，从而避免靶门4被拉起的高度过高，导致靶门4无法与限位轮5-10接触。

限位轮5-10的安装结构为：在腔口2-3的右侧边通过螺栓固定有限位轮座5-11，限位轮5-10通过轮轴可转动安装在限位轮座5-11上。

本实施例的平移启闭机构5设有四条连杆5-9和四个弹簧5-4，靶门4和平移板5-6上分别对应连杆5-9设有连杆座5-8，连杆5-9的两端分别通过销轴铰接在连杆座5-8上，靶门4和平移板5-6上分别对应弹簧5-4设有弹簧固定座5-5，弹簧5-4两端分别固定在弹簧固定座5-5上。

靶门4的密封盖合结构为：沿腔口2-3的边缘设有向上凸出的密封环2-4，在靶门4上对应密封环2-4的位置设有靶门密封圈4-1，沿靶门4的边缘设有凸缘4-2。当靶门4密封盖在腔口2-3处时，凸缘4-2围绕在密封环2-4外围。

如图7所示，本实施例在腔口2-3的前后两侧边设有两条导轨5-14，导轨5-14与靶门4的平移方向平行，平移板5-6的宽度大于靶门4，在平移板5-6上通过螺栓固定有滑块5-13，在平移板5-6与滑块5-13之间设有限高块5-12，通过限高块5-12使得平移板5-6稳定保持在一定的高度，在滑块5-13上设有滑槽，滑槽配合卡在导轨5-14上，从而使得平移板5-6沿导轨运动，平移更稳定。

本实施例的第一直线运动机构5-1为气缸，气缸通过第一动密封组件7对应安装在真空镀膜室1的左侧壁板的外表面上，气缸的活塞杆5-2向右穿入真空镀膜室1内。在平移板5-6的与气缸连接的左侧边通过螺栓固定有连接套5-3，活塞杆5-2的位于真空镀膜室1内的端部与连接套5-3螺纹连接，从而实现平移板5-6与活塞杆5-2的快速拆装。

如图5所示，第一动密封组件7包括焊接座7-6、密封座7-1、第一骨架油封7-3、储油环7-2和润滑套7-9，在真空镀膜室1的左侧壁板上对应开有连通孔，焊接座7-6对应连通孔焊接在真空镀膜室1的左侧壁板的外表面上，焊接座7-6的中部对应连通孔设有中部孔，密封座7-1通过螺栓固定在焊接座7-6上，并通过密封圈实现密封，密封座7-1右端的凸环插入焊接座7-6的中部孔中，密封座7-1的中部设有台阶孔，气缸通过螺栓固定安装在密封座7-1左端，气缸的活塞杆5-2横向穿过台阶孔，并穿入真空镀膜室1内，第一骨架油7-3、储油环7-2和润滑套7-9分别设置在台阶孔中，通过第一骨架油7-3实现活塞杆的密封，密封座7-1上对应储油环7-2的位置设有注油孔7-8，通过注油孔7-8可向储油环7-2注油。本实施例的第一动密封组件7设有三个第一骨架油封7-3，储油环7-2设置在两个第一骨架油封之间，第一骨架油封7-3及储油环7-2通过压环7-4和第一密封压盖7-5安装在台阶孔中，从而压紧三个第一骨架油封7-3实现更好的密封。

如图9至图12所示，本实施例的伸缩机构6包括第二直线运动机构6-9、滑动套管6-1、连接板6-5和第二动密封组件8，滑动套管6-1活动穿过靶腔2的底部壁板2-2，通过第二动密封组件8密封，靶体3固定安装在滑动套管6-1的里端(本实施例中滑动套管的上端即为其里端)，第二直线运动机构6-9安装在靶腔的底部壁板2-2的下表面，连接板6-5连接第二直线运动机构6-9的活动端和滑动套管6-1的外端(本实施例中滑动套管的下端即为其外端)。第二直线运动机构6-9在做上下直线运动时，将通过连接板6-5带动滑动套管6-1同步运动。

其中，第二直线运动机构6-9也为气缸，气缸的活塞杆通过浮动接头6-10与连接板6-5的中部连接。采用浮动接头6-10有利用克服连接板上下运动时因板面稍有摆动或偏移而引起与气缸轴线发生的偏差。

如图10和图11所示，本实施例在靶体3内设有液体流道9-1，在滑动套管6-1内设有出液管9-3和进液管9-2，出液管9-3和进液管9-2与滑动套管6-1之间绝缘，出液管9-3和进液管9-2的里端分别与液体流道的出液口和进液口连接，出液管9-3和进液管9-2的外端分别从滑动套管6-1的外端穿出。出液管9-3和进液管9-2的从滑动套管6-1外端穿出的端部用于与外部的管道连接。使用时，硅油从进液管9-2进入液体流道9-1，流经液体流道9-1时带走靶体3的热量，再从出液管9-3流出，通过硅油的不断循环从而实现对靶体3的降温，图11和12中箭头方向示意出了硅油的进出方向。

如图10和图11所示，靶体3的结构为：靶体3包括靶材3-1、铜板3-2、极靴3-4、隔水胶皮3-5、靶座3-8和若干磁铁3-3，在靶座3-8的面向真空镀膜室1的表面(本实施例中靶座的上表面即为其面向真空镀膜室的表面)设有安装槽，隔水胶皮3-5平贴在安装槽的底面，极靴3-4设置在隔水胶皮3-5的表面，铜板3-2密封盖在安装槽的槽口处，通过压在周边的密封条实现密封，磁铁3-3均匀分布在铜板3-2与极靴3-4之间，靶材3-1平贴固定在铜板3-2的外表面上。在铜板3-2与极靴3-4之间形成液体流道9-1，在靶体3上还设有与液体流道连通的出液通道9-11和进液通道9-10，出液通道9-11和进液通道9-10的下端即为出液口和进液口。

靶材3-1的具体固定结构为：在靶座3-8的上表面沿边通过螺栓固定有压条3-6，铜板3-2一同通过用于固定压条3-6的螺栓固定在靶座3-8的上表面，密封条位于铜板3-2与靶座3-8的上表面之间，靶材3-1的周边压在压条3-6与铜板3-2之间，从而将靶材3-1可拆卸固定在铜板的上表面。

如图11所示，出液通道9-11和进液通道9-10以靶体3的中心线为中心对称设置，出液通道9-11和进液通道9-10分别穿过靶座3-8、隔水胶皮3-5和极靴3-4后与液体流道9-1连通。

具体的，本实施例的伸缩机构6包括两条滑动套管6-1和两组第二动密封组件8，两条滑动套管6-1以靶体3的中心线为中心对称设置，出液管9-3和进液管9-2分别设置在两条滑动套管6-1中，出液通道9-11的下端口与出液管9-3的上端连接，进液通道9-10的下端口与进液管9-2的上端连接。

如图9和图10所示，第二动密封组件8包括密封固定管8-2和第二骨架油封8-1，密封固定管8-2对应固定在靶腔的底部壁板2-2的下表面，滑动套管6-1穿过密封固定管8-2的中间孔，第二骨架油封8-1设置在密封固定管8-2的中间孔中，通过第二骨架油封8-1实现密封。本实施例的第二动密封组件8设有两个第二骨架油封8-1，第二动密封组件还设有隔套8-3和第二密封压盖8-4，两个第二骨架油封8-3之间通过隔套8-3隔开，第二密封压盖8-4密封盖在密封固定管8-2的中间孔的下端口处，第二骨架油封8-1及隔套8-3通过第二密封压盖8-4进行固定。

本实施例的镀膜机还设有两组导柱组件，通过导柱组件使得第二直线运动机构在带动滑动套管运动时更稳定。导柱组件包括导柱固定座6-8、导柱6-6和导向管6-7，导柱固定座6-8通过螺栓固定在靶腔的底部壁板2-2的下表面，导向管6-7通过螺栓固定安装在连接板6-5上表面，导柱6-6的一端固定在导柱固定座6-8上，另一端活动穿过导向管6-7，通过导柱6-6与导向管6-7的配合滑动使得运动更稳定。

为了实现出液管9-3和进液管9-2与滑动套管之间绝缘，在出液管和进液管的端部与滑动套管接触的部位均套有液管绝缘套9-4。还在滑动套管6-1的外端固定有保护盖6-3，在保护盖6-3内紧贴保护盖的内壁设有绝缘护套6-4，连接板6-5通过螺栓与保护盖6-3的下端连接，在出液管9-3和进液管9-2的外端(本实施例中出液管和进液管的下端即为其外端)分别通过管连接头9-8连接一个弯头水嘴9-9，弯头水嘴9-9位于保护盖6-3内，弯头水嘴9-9的连接端从保护盖的侧面穿出至外部，用于与外部的管道连接。

如图10所示，滑动套管6-1的里端与出液管9-3和进液管9-2的密封连接的结构为：在滑动套管6-1的里端(本实施例中滑动套管的上端即为其里端)设有密封台阶孔，在密封台阶孔的上端设有沉孔，出液管9-3和进液管9-2的里端(本实施例中出液管和进液管的上端即为其里端)分别穿过对应的密封台阶孔，在密封台阶孔中设有两密封压套9-6和两管部密封圈9-7，两密封压套9-6和两管部密封圈9-7相间隔设置，在出液管9-3和进液管9-2的里端分别螺纹连接有锁紧螺母9-5，锁紧螺母9-5位于沉孔中，通过锁紧螺母9-5将出液管和进液管锁紧。

为了能更好的安装靶体3，本实施例的镀膜机还包括靶体固定板3-9，靶体固定板3-9固定在滑动套管6-1的上端，靶座3-8通过绝缘固定组件固定在靶体固定板3-9的上方，靶座3-8与靶体固定板3-9之间留有一定间隔。在靶体固定板3-9的周边固定设置有屏蔽围板3-7，屏蔽围板3-7围绕在靶体3的周边，且与靶体3之间留有一定间隔，从而可防止侧向放电。

如图13所示，绝缘固定组件的结构为：绝缘固定组件包括连接螺栓3-10、绝缘垫3-11、绝缘套3-12和绝缘盖3-13，连接螺栓3-10穿过靶体固定板并螺纹连接在靶座上，绝缘垫3-11套在连接螺栓3-10上，并垫在靶体固定板3-9与靶座3-8之间，绝缘套3-12套住连接螺栓3-10头部及与靶体固定板接触的部位，从而使得连接螺栓与靶体固定板之间绝缘，绝缘盖3-13盖在绝缘套3-12的端口处，从而将连接螺栓的头部封闭在绝缘套内。

本实用新型镀膜机的具体使用方式为：由于溅射靶材不能接触水和潮湿空气，因此在非镀膜作业时，靶门4始终处于关闭状态，伸缩机构6带动靶体3下降到最低点，抽气口2-1外接专用抽气泵，对靶腔2抽气，维持靶腔2内真空。需要镀膜作业时，打开镀膜机真空镀膜室1的炉门，放入待镀工件后，关闭炉门，对真空镀膜室1进行抽真空。当真空镀膜室1内真空度达到与靶腔2内真空度相近时，启动平移启闭机构5的气缸，气缸的活塞杆拉动平移板向左平移，靶门4被提拉起来，解除了对靶腔2的真空密封，此时平移板5-6沿着导轨继续向左移动，由弹簧5-4的拉力继续向上拉起靶门4，直至靶门4上的限位柱5-7抵靠在平移板5-6上。继续拉动平移板5-6向左运动，直至靶门4完全与靶腔的腔口2-3错开，完成靶门4的开启。开启靶门4后将进入镀膜作业：向靶体3内通入循环流动的硅油10进行冷却，之后，启动伸缩机构6，带动靶体3往腔口2-3方向升起，从而调节靶体3与靶基(工件)之间的镀膜距离。之后，真空镀膜室1内部由加热器进行加热，抽真空至本底真空，通入适量氩气或反应气体至工作真空度，启动溅射靶电源和偏压电源进行离子轰击清洗和镀膜，镀膜完毕后进行真空镀膜室内工件的冷却，继续对真空镀膜室1进行抽真空。此时，通过伸缩机构6带动靶体3下降到靶腔2的最低位置，启动平移启闭机构5，带动靶门4向右运动，直至靶门4碰触限位轮5-10时停下来，此时靶门4正对靶腔口2-3，而平移板5-6继续右移，逼使连杆5-9从倾斜方向转向竖方向，把靶门4向下压，完成密封住腔口2-3，同时拉长的弹簧5-4。待工件冷却至预定温度，可开启炉门取件，完成镀膜作业。

本实施例的通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机不是唯一的实施方式，根据需要可采用相似的具有平移靶门的磁控溅射靶，设计成并列多靶的镀膜机，也可以设计成从真空镀膜室的顶部向下溅射的单靶或并列多靶的镀膜机，也可以设计成上、下相对的一组对靶或多组对靶的镀膜机，还可以把具有平移靶门的磁控溅射靶设计成立式的装在真空镀膜室的侧壁上的单靶或多靶镀膜机，上述都属于本实用新型方案所保护的范围。