一种键合丝台式退火炉的制作方法

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体讲是一种键合丝台式退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，键合金丝是集成电路中用作连接线的金合金丝，又称球焊金丝或引线金丝，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，然而经分析发现，现有的退火炉在开火初期升温较慢，导致燃气消耗比较多的问题。

技术实现要素：

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种键合丝台式退火炉，具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点。

本实用新型是这样实现的，构造一种键合丝台式退火炉，包括退火炉机体和底座，退火炉机体的一侧设有封闭门，退火炉机体的端部安装有鼓风机，鼓风机的一侧连通有进风管，进风管的对侧具有排风管，排风管的内部设有净化芯，且进风管和排风管均与退火炉机体连通，退火炉机体的侧面设有电热装置，底座设置于退火炉机体的底部，底座包括底端出焰结构和侧出焰结构，底端出焰结构由第二进气管、第二连接管、底端排管和底端出焰管构成，第二进气管设置于第二连接管的外侧面，底端排管具有多个，分别平行排布于第二连接管的内侧面，底端出焰管竖立设置于底端排管的顶部，且底端出焰管与底端排管连通，底端排管和第二进气管均与第二连接管连通，侧出焰结构设置于底端出焰结构顶端，侧出焰结构由第一进气管、第一连接管、侧排管和侧出焰管构成，第一进气管设置于第一连接管的外侧面，侧排管具有两个，分别对称排布于第一连接管的端部，侧出焰管设置于底端排管的内侧面，侧出焰管的一侧安装有点火器，且侧出焰管与侧排管连通，侧排管和第一进气管均与第一连接管连通。

进一步的，电热装置的内侧面设有铜盘管，铜盘管与电热装置贴合固定，且铜盘管嵌入于退火炉机体的内部，在进料准备前首先使用电热装置加热退火炉机体内部的铜盘管，通过铜盘管导热进行退火炉机体内部的预热，其中电热装置广泛选用碳纤维电热丝、普遍电热丝、电热膜或电热布等电发热体，将物料置于退火炉机体内部后关闭封闭门和电热装置，从第一进气管和第二进气管通入燃气，同时打开鼓风机和点火器，使用鼓风机朝退火炉机体内部鼓入空气帮助燃烧，点火器点燃从第一进气管经过侧排管并从侧出焰管排出的燃气进行燃烧横向喷出火焰，同时通过侧出焰管喷出的火焰点燃从第二进气管经过底端排管并从底端出焰管排出的燃气，竖直方向喷出火焰，将物料进行键合丝加热，产生的烟气从排风管排出，将电热与燃气结合，在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且在在换料间隔期间使用电热装置进行保温，避免热量流失。

进一步的，净化芯包括活性炭层、第一hepa高效过滤网和第二hepa高效过滤网，第一hepa高效过滤网和第二hepa高效过滤网分别设置于活性炭层侧面的两端，通过设置的净化芯进行排放气的净化，第一hepa高效过滤网首先进行烟气粉尘过滤，随后经过活性炭层进行杂质吸附，最后再次通过第二hepa高效过滤网过滤后排放，能够避免污染产生。

进一步的，底座的底板设有防滑垫，防滑垫上分布有均匀的防滑纹，通过设置的防滑垫进行装置放置时的防滑。

进一步的，封闭门的一侧安装有提示灯，通过设置的提示灯提示人员在开机时勿接近。

进一步的，侧出焰管与底端出焰管位置对齐，通过侧出焰管喷出的火焰点燃从第二进气管经过底端排管并从底端出焰管排出的燃气，竖直方向喷出火焰。

本实用新型通过改进在此提供一种键合丝台式退火炉，与现有键合丝台式退火炉相比，具有如下优点：具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点，具体体现为：

电热装置的内侧面设有铜盘管，铜盘管与电热装置贴合固定，且铜盘管嵌入于退火炉机体的内部，在进料准备前首先使用电热装置加热退火炉机体内部的铜盘管，通过铜盘管导热进行退火炉机体内部的预热，其中电热装置广泛选用碳纤维电热丝、普遍电热丝、电热膜或电热布等电发热体，将物料置于退火炉机体内部后关闭封闭门和电热装置，从第一进气管和第二进气管通入燃气，同时打开鼓风机和点火器，使用鼓风机朝退火炉机体内部鼓入空气帮助燃烧，点火器点燃从第一进气管经过侧排管并从侧出焰管排出的燃气进行燃烧横向喷出火焰，同时通过侧出焰管喷出的火焰点燃从第二进气管经过底端排管并从底端出焰管排出的燃气，竖直方向喷出火焰，将物料进行键合丝加热，产生的烟气从排风管排出，将电热与燃气结合，在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且在在换料间隔期间使用电热装置进行保温，避免热量流失。

附图说明

图1是本实用新型一种键合丝台式退火炉结构示意图；

图2是本实用新型一种键合丝台式退火炉的内部结构示意图；

图3是本实用新型一种键合丝台式退火炉的底座结构示意图；

图4是本实用新型一种键合丝台式退火炉的a0放大图。

图中所示序号：退火炉机体1、封闭门2、底座3、第二进气管4、鼓风机5、电热装置6、底端出焰结构7，侧出焰结构8、进风管9、排风管10、净化芯11、侧排管12、侧出焰管13、点火器14、第一进气管15、第一连接管16、第二连接管17、底端排管18、底端出焰管19、铜盘管20、活性炭层21、防滑垫22、防滑纹23、第一hepa高效过滤网24、提示灯25和第二hepa高效过滤网26。

具体实施方式

下面将结合说明书附图对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围；此外，术语“第一”、“第二”、“第三”“上、下、左、右”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。同时，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型通过改进在此提供一种键合丝台式退火炉，如说明书附图所示，可以按照如下方式予以实施；包括退火炉机体1和底座3，退火炉机体1的一侧设有封闭门2，退火炉机体1的端部安装有鼓风机5，鼓风机5的一侧连通有进风管9，进风管9的对侧具有排风管10，排风管10的内部设有净化芯11，且进风管9和排风管10均与退火炉机体1连通，退火炉机体1的侧面设有电热装置6，底座3设置于退火炉机体1的底部，底座3包括底端出焰结构7和侧出焰结构8，底端出焰结构7由第二进气管4、第二连接管17、底端排管18和底端出焰管19构成，第二进气管4设置于第二连接管17的外侧面，底端排管18具有多个，分别平行排布于第二连接管17的内侧面，底端出焰管19竖立设置于底端排管18的顶部，且底端出焰管19与底端排管18连通，底端排管18和第二进气管4均与第二连接管17连通，侧出焰结构8设置于底端出焰结构7顶端，侧出焰结构8由第一进气管15、第一连接管16、侧排管12和侧出焰管13构成，第一进气管15设置于第一连接管16的外侧面，侧排管12具有两个，分别对称排布于第一连接管16的端部，侧出焰管13设置于底端排管18的内侧面，侧出焰管13的一侧安装有点火器14，且侧出焰管13与侧排管12连通，侧排管12和第一进气管15均与第一连接管16连通。

本实用新型中，电热装置6的内侧面设有铜盘管20，铜盘管20与电热装置6贴合固定，且铜盘管20嵌入于退火炉机体1的内部，在进料准备前首先使用电热装置6加热退火炉机体1内部的铜盘管20，通过铜盘管20导热进行退火炉机体1内部的预热，其中电热装置6广泛选用碳纤维电热丝、普遍电热丝、电热膜或电热布等电发热体，将物料置于退火炉机体1内部后关闭封闭门2和电热装置6，从第一进气管15和第二进气管4通入燃气，同时打开鼓风机5和点火器14，使用鼓风机5朝退火炉机体1内部鼓入空气帮助燃烧，点火器14点燃从第一进气管15经过侧排管12并从侧出焰管13排出的燃气进行燃烧横向喷出火焰，同时通过侧出焰管13喷出的火焰点燃从第二进气管4经过底端排管18并从底端出焰管19排出的燃气，竖直方向喷出火焰，将物料进行键合丝加热，产生的烟气从排风管10排出，将电热与燃气结合，在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且在在换料间隔期间使用电热装置6进行保温，避免热量流失；净化芯11包括活性炭层21、第一hepa高效过滤网24和第二hepa高效过滤网26，第一hepa高效过滤网24和第二hepa高效过滤网26分别设置于活性炭层21侧面的两端，通过设置的净化芯11进行排放气的净化，第一hepa高效过滤网24首先进行烟气粉尘过滤，随后经过活性炭层21进行杂质吸附，最后再次通过第二hepa高效过滤网26过滤后排放，能够避免污染产生；底座3的底板设有防滑垫22，防滑垫22上分布有均匀的防滑纹23，通过设置的防滑垫22进行装置放置时的防滑；封闭门2的一侧安装有提示灯25，通过设置的提示灯25提示人员在开机时勿接近；侧出焰管13与底端出焰管19位置对齐，通过侧出焰管13喷出的火焰点燃从第二进气管4经过底端排管18并从底端出焰管19排出的燃气，竖直方向喷出火焰。

该种键合丝台式退火炉的工作原理：在进料准备前首先使用电热装置6加热退火炉机体1内部的铜盘管20，通过铜盘管20导热进行退火炉机体1内部的预热，其中电热装置6广泛选用碳纤维电热丝、普遍电热丝、电热膜或电热布等电发热体，将物料置于退火炉机体1内部后关闭封闭门2和电热装置6，从第一进气管15和第二进气管4通入燃气，同时打开鼓风机5和点火器14，使用鼓风机5朝退火炉机体1内部鼓入空气帮助燃烧，点火器14点燃从第一进气管15经过侧排管12并从侧出焰管13排出的燃气进行燃烧横向喷出火焰，同时通过侧出焰管13喷出的火焰点燃从第二进气管4经过底端排管18并从底端出焰管19排出的燃气，竖直方向喷出火焰，将物料进行键合丝加热，产生的烟气从排风管10排出，将电热与燃气结合，在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且在在换料间隔期间使用电热装置6进行保温，避免热量流失。

综上所述；本实用新型所述键合丝台式退火炉，与现有键合丝台式退火炉相比，具有能够在进料前进行电预热，克服开火初期升温较慢的问题，并且能够在换料间隔期间进行保温，避免热量流失问题的优点。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。