一种靶材加工用加持装置的制作方法

1.本实用新型涉及靶材加工设备领域，特别涉及一种靶材加工用加持装置。


背景技术：

2.镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，再靶材加工时需要用到加持装置。在现有的靶材加工用加持装置中有以下几点弊端：1、现有的靶材加工用加持装置大多不能简单的调整靶材的高度，使用不方便；2、现有的靶材加工用加持装置与靶材的接触面积大，不利于靶材溅射形成薄膜；3、现有的靶材加工用加持装置安装、拆卸繁琐，使用不方便。


技术实现要素：

3.本实用新型的主要目的在于提供一种靶材加工用加持装置，可以有效解决背景技术中的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
5.一种靶材加工用加持装置，包括底板，所述底板上端中部开有上下贯通的u形槽，所述底板上端固定安装有固定柱，且固定柱位于u形槽正后方，所述固定柱前部外弧面固定安装有固定装置，所述固定柱上部套接有活动柱，所述活动柱前部弧面开有若干个限位孔，所述固定装置穿过限位孔延伸至活动柱外部，所述活动柱前部弧面固定安装有连接杆，且连接杆位于限位孔上方，所述连接杆前端固定安装有夹持装置，且夹持装置位于u形槽正上方。
6.优选的，所述固定装置包括后扣，所述后扣前端固定连接有弹簧，所述弹簧前端固定安装有前扣，所述前扣穿过限位孔延伸至活动柱外部。
7.优选的，所述后扣前端开有第一圆槽，所述第一圆槽后槽壁与弹簧固定连接，所述第一圆槽后槽壁固定安装有第一限制杆，所述第一限制杆位于弹簧中部且不与弹簧内壁接触。
8.优选的，所述前扣前端固定安装有柱头，所述柱头穿过限位孔延伸至活动柱外部，所述前扣后端开有第二圆槽，所述第二圆槽前槽壁与弹簧固定连接，所述第二圆槽前槽壁固定安装有第二限制杆，所述第二限制杆位于弹簧中部且不与弹簧内壁接触。
9.优选的，所述固定柱下端固定安装有螺纹杆，所述螺纹杆与底板螺纹连接。
10.优选的，所述活动柱下端开有圆形槽，且固定柱位于圆形槽内，所述活动柱下端开有矩形槽，且矩形槽与圆形槽相通，且固定装置位于矩形槽内。
11.优选的，所述夹持装置包括下夹板和上夹板，所述下夹板上端固定安装有两个滑动杆，所述下夹板上端开有上下贯通的螺孔，所述上夹板开有两个滑孔，且两个滑孔分别与两个滑动杆穿插连接，所述上夹板上端设置有螺栓，且螺栓穿过螺孔。
12.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
13.1、本实用新型一种靶材加工用加持装置通过按压前扣中的柱头，使柱头脱离限位
孔，然后向上移动活动柱，柱头在弹簧的作用下将柱头往前推，直至柱头进入另一个限位孔，完成活动柱和固定柱的固定，通过移动过后的活动柱带动夹持装置移动，通过夹持装置带动靶材移动，即调整了靶材的高度，操作简单，使用方便；
14.2、本实用新型一种靶材加工用加持装置通过夹持装置中的上夹块和夹块来固定靶材，上夹块和下夹块均为u字形结构，减少了与靶材的接触面积，且靶材上下方均无遮挡物，有效增大溅射的空间；
15.3、本实用新型一种靶材加工用加持装置中固定柱和底板为螺纹连接，活动柱与固定柱为套接，都可以直接拆卸，过程简单。
附图说明
16.图1为本实用新型一种靶材加工用加持装置的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型一种靶材加工用加持装置的固定装置细节示意图；
18.图3为本实用新型一种靶材加工用加持装置的固定柱结构示意图；
19.图4为本实用新型一种靶材加工用加持装置的活动柱细节示意图；
20.图5为本实用新型一种靶材加工用加持装置的夹持装置示意图。
21.图中：1、底板；2、固定柱；3、活动柱；4、限位孔；5、固定装置；6、连接杆；7、夹持装置；8、u形槽；21、螺纹杆；31、圆形槽；32、矩形槽；51、后扣；52、弹簧；53、前扣；71、下夹板；72、滑动杆；73、螺孔；74、上夹板；75、滑孔；76、螺栓；511、第一圆槽；512、第一限制杆；531、柱头；532、第二圆槽；533、第二限制杆。
具体实施方式
22.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
25.如图1
‑
5所示，一种靶材加工用加持装置，包括底板1，底板1上端中部开有上下贯通的u形槽8，底板1上端固定安装有固定柱2，且固定柱2位于u形槽8正后方，固定柱2前部外弧面固定安装有固定装置5，固定柱2上部套接有活动柱3，活动柱3前部弧面开有若干个限位孔4，固定装置5穿过限位孔4延伸至活动柱3外部，活动柱3前部弧面固定安装有连接杆6，且连接杆6位于限位孔4上方，连接杆6前端固定安装有夹持装置7，且夹持装置7位于u形槽8正上方。
26.固定装置5包括后扣51，后扣51前端固定连接有弹簧52，弹簧52前端固定安装有前扣53，前扣53穿过限位孔4延伸至活动柱3外部，当按压前扣53时，前扣53挤压弹簧52，弹簧52受力压缩，压缩后的弹簧52产生推动前扣52恢复至原来位置的作用力；后扣51前端开有第一圆槽511，第一圆槽511后槽壁与弹簧52固定连接，第一圆槽511后槽壁固定安装有第一限制杆512，第一限制杆512位于弹簧52中部且不与弹簧52内壁接触，第一圆槽511和第一限制杆512均起到防止弹簧52便宜的作用；前扣53前端固定安装有柱头531，柱头531穿过限位孔4延伸至活动柱3外部，前扣53后端开有第二圆槽532，第二圆槽532前槽壁与弹簧52固定连接，第二圆槽532前槽壁固定安装有第二限制杆533，第二限制杆533位于弹簧52中部且不与弹簧52内壁接触，柱头531为钢材质足以支撑活动柱3和固定柱2的连接，第二圆槽532和第二限制杆533进一步防止弹簧532发生偏移；固定柱2下端固定安装有螺纹杆21，螺纹杆21与底板1螺纹连接，方便拆卸；活动柱3下端开有圆形槽31，且固定柱2位于圆形槽31内，活动柱3下端开有矩形槽32，且矩形槽32与圆形槽31相通，且固定装置5位于矩形槽32内，活动柱3可以在圆形槽31内滑动，矩形槽32起到限制固定装置5转动的作用，进一步保证柱头531可以移动到限位孔4中；夹持装置7包括下夹板71和上夹板74，下夹板71上端固定安装有两个滑动杆72，下夹板71上端开有上下贯通的螺孔73，上夹板74开有两个滑孔75，且两个滑孔75分别与两个滑动杆72穿插连接，上夹板74上端设置有螺栓76，且螺栓76穿过螺孔73，滑动杆72起到定位上夹板74的作用，同时也避免了上夹板71脱离滑动杆72。
27.需要说明的是，本实用新型为一种靶材加工用加持装置，首先将夹持装置7中的螺栓76松开，将靶材放在上夹板74和下夹板71之间，重新拧紧螺栓76将靶材固定，而且上夹板74和下夹板71与靶材的接触面积小，当需要调整靶材高度时，首先将固定装置5中的柱头531按压进活动柱3内，然后拉动活动柱3，调整好活动柱3的位置，此时，柱头531向内挤压前扣53，前扣53向内挤压弹簧52，弹簧52受到挤压呈压缩状态，向外推动前扣53，当柱头531遇到调整好位置处的限位孔4时，弹簧52重新将柱头531推出活动柱3，柱头531将活动柱3和固定柱2之间的位置固定，完成靶材高度的调整，当需要拆卸装置时，固定柱2和底板1为螺纹连接，固定柱2和活动柱3为套接，均可以快速拆卸，本实用新型结构简单，使用方便，实用性好，有利于靶材加工用加持装置的使用。
28.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。