基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件与流程

文档序号:27550368发布日期:2021-11-24 22:19阅读:来源:国知局

技术特征:
1.基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:s1、待镀件预处理:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;s2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至120~150℃,充入ar,启动ti弧靶,对待镀件进行等离子清洗;s3、底层膜:关闭ti弧靶,启动ticral溅射靶,继续充入ar,加载

70~

90v偏压,在待镀件表面沉积ticral膜底层膜;s4、黑色膜:关闭ticral溅射靶,持续启动石墨靶,充入ar,加载

40~

60v偏压,持续时间为2~5分钟,ticral膜上沉积防指印黑色膜。2.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:还包括防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃~60℃后,取出镀膜件。3.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,包括采用硫酸溶液或磷酸溶液对待镀件表面进行预处理。4.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述待镀件清洗过程中在真空炉内偏压

700~

900v情况下对待镀件进行离子清洗。5.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述底层膜沉积过程中,真空炉内压强为6.0
×
10
‑3~8.0
×
10
‑3pa。6.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述底层膜的厚度为0.03~0.06μm;所述黑色膜的厚度为0.02~0.05μm。7.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述步骤s3中ar的流量为100~250sccm,靶电流为5~10a,电镀时间为5~8分钟。8.根据权利要求1所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述黑色膜沉积过程中还包括充入c2h2气体。9.根据权利要求8所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述步骤s4中ar流量降低至40~80sccm,c2h2气体流量为150~250sccm,c2h2气体通入时间为1~5分钟。10.一种镀膜件,包括待镀件,其特征在于:所述待镀件表面镀有采用权利要求1~9任一所述的基于pvd制备防指印黑色膜的方法制得的镀膜层。

技术总结
本发明涉及物理气相沉积表面处理技术领域,具体涉及到一种基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件。本申请的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,通过采用磁控溅射在待镀件表面沉积形成镀膜层,实现采用PVD镀膜技术,得到高端质感的黑色层,取代传统水电镀高浓度酸碱和铬酸等重污染的原料,且没有废水处理和排放问题;且镀膜层具有防指纹效果,同时致密性和耐磨性优异。本发明生产过程中具有无废水排放、成本低和性能优异等优点,可广泛应用于五金、家电、卫浴及汽车配件等领域。卫浴及汽车配件等领域。卫浴及汽车配件等领域。


技术研发人员:池松
受保护的技术使用者:厦门大锦工贸有限公司
技术研发日:2021.08.24
技术公布日:2021/11/23
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