一种可混镀的真空电镀装置的制作方法

1.本实用新型属于真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种可混镀的真空电镀装置。


背景技术：

2.目前，传统水电镀由于对环境的污染及需要使用一些剧毒原料，已经被国家以及各级地方政府所限制发展，现阶段一些企业设立了集中污水处理的水电镀工业园，在一定程度上改变了污水乱排放的现象，但污水处理成本高，能耗高，而且造成水资源的浪费。在此背景下，目前迫切需要寻找一种替代传统水电镀的表面处理方法，使传统水电镀行业进行技术升级、技术改造，既符合国家环保政策，又可以满足产品出口的要求，同时提高出口产品的附加值。为了解决上述的问题，真空电镀设备发挥着关键性的作用。但是现有的真空电镀设备将工件电镀完成后，易产生磨损，降低了电镀的效果。同时现有的真空电镀设备在电镀过程中，不能使工件进行转动，易产生电镀不到位的位置。
3.通过上述分析，现有技术存在的问题及缺陷为：
4.(1)现有的真空电镀设备将工件电镀完成后，易产生磨损，降低了电镀的效果。
5.(2)现有的真空电镀设备在电镀过程中，不能使工件进行转动，易产生电镀不到位的位置。


技术实现要素：

6.为了解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种可混镀的真空电镀装置。
7.本实用新型是这样实现的，一种可混镀的真空电镀装置，所述可混镀的真空电镀装置设置有真空镀膜机壳体；
8.真空镀膜机壳体上设置有真空机，真空镀膜机壳体左侧安装有靶材安装架，靶材安装架内部固定有平面耙和圆柱耙；
9.真空镀膜机壳体内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘，转盘上设置基片安装结构；
10.基片安装结构设置有固定板，固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨；
11.转动电机输出轴通过连接键与转动台连接，导向圆环轨与转动台下端的圆环槽相配合；
12.转动台上侧安装有支撑侧板，支撑侧板上通过弹簧固定有夹持固定板。
13.进一步，所述夹持固定板与拉杆连接，拉杆与拉柄连接。
14.进一步，所述转动底座设置有支撑座，支撑座上侧安装有支撑凸台，支撑凸台上侧安装有支撑竖杆；
15.支撑竖杆上侧通过转轴安装有支撑架，转轴通过联轴器与翻转电机输出轴连接，翻转电机固定在支撑竖杆上。
16.进一步，所述支撑架底侧安装有转盘电机，转盘电机上端安装有转盘。
17.进一步，所述靶材安装架左端安装有偏压电源接口，靶材安装架上侧通过螺纹孔
固定有第一旋钮和第二旋钮。
18.进一步，所述第一旋钮与平面耙挤压板连接，平面耙挤压板上嵌装有加热丝；
19.第二旋钮与圆柱耙挤压板连接，圆柱耙挤压板上嵌装有加热丝，圆柱耙挤压板上设置有凹面槽。
20.结合上述的所有技术方案，本实用新型所具备的优点及积极效果为：
21.本实用新型通过平面耙和圆柱耙在电源加热的作用下，将靶材电镀到工件表面上，提高了耐磨度；同时本实用新型能够带动工件旋转，能够覆盖到工件的任意面上。
22.本实用新型中固定板上侧安装有转动电机和导向圆环轨，可以提高转动的平稳性。
23.本实用新型中夹持固定板与拉杆连接，拉杆与拉柄连接，便于固定工件。
24.本实用新型通过转动底座的结构设计，便于固定工件。
25.本实用新型支撑架底侧安装有转盘电机，转盘电机上端安装有转盘，便于调整工件的正反面。
26.本实用新型中靶材安装架上侧通过螺纹孔固定有第一旋钮和第二旋钮，便于对靶材进行固定。
27.本实用新型中通过在挤压板上设置加热丝，可以使靶材蒸发进行电镀。
附图说明
28.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下还可以根据这些附图获得其他的附图。
29.图1是本实用新型实施例提供的可混镀的真空电镀装置结构示意图。
30.图2是本实用新型实施例提供的转动底座结构示意图。
31.图3是本实用新型实施例提供的基片安装结构结构示意图。
32.图4是本实用新型实施例提供的靶材安装架结构示意图。
33.图中：1、靶材安装架；2、平面耙；3、圆柱耙；4、真空机；5、真空镀膜机壳体；6、转盘；7、基片安装结构；8、支撑座；9、支撑凸台；10、支撑架；11、支撑竖杆；12、翻转电机；13、转盘电机；14、转动电机；15、固定板；16、导向圆环轨；17、转动台；18、拉柄；19、弹簧；20、夹持固定板；21、拉杆；22、支撑侧板；23、偏压电源接口；24、第一旋钮；25、平面耙挤压板；26、圆柱耙挤压板；27、第二旋钮。
具体实施方式
34.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
35.针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种可混镀的真空电镀装置，下面结合附图对本实用新型作详细的描述。
36.如图1所示，本实用新型实施例提供的可混镀的真空电镀装置中真空镀膜机壳体5
上设置有真空机4，真空镀膜机壳体5左侧安装有靶材安装架1，靶材安装架1内部固定有平面耙2和圆柱耙3，靶材安装架1上安装有偏压电源接口，偏压电源接口接通电源，使靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面上。真空镀膜机壳体5内部安装转动底座，转动底座上安装有转盘6，转盘6上设置基片安装结构7。
37.如图2所示，如图2所示，本实用新型实施例提供的转动底座设置有支撑座8，支撑座8上侧安装有支撑凸台9，支撑凸台9上侧安装有支撑竖杆11，支撑竖杆11上侧通过转轴安装有支撑架10，转轴通过联轴器与翻转电机12输出轴连接，翻转电机12固定在支撑竖杆11上。支撑架10底侧安装有转盘电机13，转盘电机13上端安装有转盘6。当需要安装有基片时，翻转电机12控制支撑架翻转，对基片进行安装。基片安装完成后，翻转电机12使支撑架10回正，通过转盘电机13带动转盘6转动，进而带动基片转动。当需要安装有基片时，翻转电机12控制支撑架翻转，对基片进行安装。基片安装完成后，翻转电机12使支撑架10回正，通过转盘电机13带动转盘6转动，进而带动基片转动。
38.如图3所示，本实用新型实施例提供的基片安装结构7设置有固定板15，固定板15上侧安装有转动电机14和导向圆环轨16；转动电机14输出轴通过连接键与转动台17连接，导向圆环轨16与转动台17下端的圆环槽相配合。转动台17上侧安装有支撑侧板22，支撑侧板22上通过弹簧19固定有夹持固定板20；夹持固定板20与拉杆21连接，拉杆21与拉柄18连接。当需要固定基片时，将基片放置在夹持固定板20之间，利用弹簧的恢复力，对基片进行夹紧；当需要对基片另一面进行电镀时，通过转动电机14使基片进行转动。
39.如图4所示，本实用新型实施例提供的靶材安装架1左端安装有偏压电源接口23，靶材安装架1上侧通过螺纹孔固定有第一旋钮24和第二旋钮27，第一旋钮24与平面耙挤压板25连接，平面耙挤压板25上嵌装有加热丝；第二旋钮27与圆柱耙挤压板26连接，圆柱耙挤压板26上嵌装有加热丝，圆柱耙挤压板26上设置有凹面槽。将平面耙2和圆柱耙3分别放置在平面耙挤压板25和圆柱耙挤压板26之间，并分别利用第一旋钮24和第二旋钮27进行固定。
40.本实用新型的工作原理为：在使用时，通过在圆柱耙3外侧安装平面耙2，在弧源的作用下第一耙材电镀到第二粑材，然后溅射到工件表面，形成不同的颜色效果和提高耐磨程度，靶材安装架1上安装有偏压电源接口，便于在镀膜工艺流程中为工作提供正负偏压，改变电镀颜色效果，转盘6在步进电机带动下，使得基片旋转电镀，能够覆盖到产品的任意面，完成一次镀膜工作。
41.以上所述，仅为本实用新型的较优的具体的实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。