一种使用方便的磁控溅射装置的制作方法

1.本实用涉及磁控溅射技术领域，具体为一种使用方便的磁控溅射装置。


背景技术：

2.传统的磁控溅射真空舱，若是靶材用完，工作人员更换靶材需要拆卸大量的零件才能将机体上的靶材拆卸下来，使得工作人员更换靶材需要消耗大量的时间，严重的影响了工作人员的工作效率，并且传统的磁控溅射真空舱内部镀件放置杆只能将保温杯通过绳索束缚在镀件放置杆上，由于镀件放置杆在密封舱内部转动过程中，保温杯会在镀件放置杆上会出现相互碰撞的情况，容易造成保温杯的表面出现划痕，使得保温杯在磁控溅射镀膜的过程中，造成保温杯的表面镀膜完成后出现瑕疵。


技术实现要素：

3.本实用的目的在于提供一种使用方便的磁控溅射装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种使用方便的磁控溅射装置，包括机体，所述机体一端底部的一侧安装有电箱，所述机体一端中间位置的一侧安装有控制面板，所述机体的两侧均安装有侧防护板，所述机体靠近控制面板一端通过合页转动安装有密封门，所述机体远离控制面板一端的中间位置安装有气管，所述气管靠近密封门的一端安装有第一电子气阀，所述机体靠近密封门的一端开设有密封舱，所述密封舱底部的中间位置安装有电机，所述电机的输出端安装有镀件放置杆，所述密封舱底部远离密封门一端的中间位置安装有排风扇，所述机体内部底端远离密封门一端的中间位置安装有第二电子气阀，所述机体靠近密封门一端的两侧均安装有靶材固定装置。
5.优选的，所述镀件放置杆包括转动杆，所述转动杆安装于电机的输出端，所述转动杆的两侧和两端均安装有支撑杆，所述支撑杆的顶部安装有保温杯。
6.优选的，所述靶材固定装置包括承载件，所述承载件均安装于机体远离气管一端的两侧，所述承载件内部靠近密封舱的一侧安装有第一磁铁和第二磁铁，所述承载件靠近密封舱的一侧开设有安装槽，所述安装槽靠近密封门的一端安装有挡板，所述安装槽的内部安装有靶材。
7.优选的，所述气管有三个且三个气管等距纵向排列在机体远离密封门一端的中间位置，所述气管贯穿机体并与密封舱相连通，所述密封舱底部靠近气管一端的中间位置开设有散热孔，所述机体内部底端靠近气管一端的中间位置开设有排气仓，所述机体上排气仓的尺寸和排风扇的尺寸相适配，所述机体上排气仓通过第二电子气阀与外界相连通。
8.优选的，所述支撑杆有多个且多个支撑杆纵向等距排列在转动杆的两侧和两端，多个所述支撑杆的顶部开设有多个螺纹固定孔，所述支撑杆上的螺纹固定孔的尺寸和保温杯的尺寸相适配。
9.优选的，所述承载件靠近密封舱的一侧均开设有矩形固定槽，所述承载件上矩形
固定槽的尺寸与第一磁铁和第二磁铁的尺寸相适配，所述安装槽靠近密封舱一侧的顶部和底部均设置有卡块，所述安装槽贯穿机体并与密封舱相连通。
10.与现有技术相比，本实用的有益效果是：
11.1、该使用方便的磁控溅射装置，通过安装槽将靶材稳定牢固的放置在机体内部，并且通过挡板将靶材限制在安装槽内部，若是工作人员需要更换靶材只需要将挡板上的螺栓拧下来便能将挡板从安装槽上拆卸下来，便能直接将安装槽内部的靶材取出，工作人员便能直接更换靶材，降低了工作人员更换靶材所需要的时间，提高了工作人员的工作效率。
12.2、该使用方便的磁控溅射装置，由于支撑杆顶部设置有螺纹固定孔，工作人员可以通过螺纹固定孔将保温杯固定在支撑杆上，镀件放置杆在密封舱内部转动的过程中，可以避免保温杯出现相互碰撞的情况，使保温杯的表面出现划痕，同时防止保温杯的表面在镀膜后出现瑕疵。
附图说明
13.图1为本实用结构主视图；
14.图2为本实用结构侧视图；
15.图3为本实用结构侧视图；
16.图4为本实用内部结构主视剖图；
17.图5为本实用内部结构侧视剖图；
18.图6为本实用内部结构俯视剖图；
19.图7为本实用如4中a处结构放大图。
20.图中：1、机体；2、电箱；3、控制面板；4、侧防护板；5、密封门；6、气管；7、第一电子气阀；8、转动杆；9、支撑杆；10、保温杯；11、挡板； 12、承载件；13、第一磁铁；14、第二磁铁；15、安装槽；16、靶材；17、电机；18、密封舱；19、排风扇；20、第二电子气阀。
具体实施方式
21.下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
22.请参阅图1-7，本实用提供的一种实施例：一种使用方便的磁控溅射装置，包括机体1，机体1一端底部的一侧安装有电箱2，机体1一端中间位置的一侧安装有控制面板3，工作人员可以通过控制面板3操控第一电子气阀7、第二电子气阀20、电机17和排风扇19，机体1的两侧均安装有侧防护板4，工作人员可以通过侧防护板4对机体1内部的工作组件进行维修，机体1靠近控制面板3一端通过合页转动安装有密封门5，机体1远离控制面板3一端的中间位置安装有气管6，工作人员可以通过气管6来改变密封舱18内部的环境，气管6靠近密封门5的一端安装有第一电子气阀7，通过第一电子气阀7 将密封舱18与外界隔离开，机体1靠近密封门5的一端开设有密封舱18，密封舱18底部的中间位置安装有电机17，工作人员通过电机17带动镀件放置杆上的转动杆8转动，电机17的输出端安装有镀件放置杆，密封舱18底部远离密封门5一端的中间位置安装有排风扇19，机体1内部底端远离密封门 5一端的中间
位置安装有第二电子气阀20，通过第二电子气阀20改变排气仓内部的密封性，并且第二电子气阀20和排风扇19之间的配合，使得排风扇 19能够在保温杯10镀膜完成后对密封舱18的内部进行散热处理，机体1靠近密封门5一端的两侧均安装有靶材固定装置。
23.在本实施中，镀件放置杆包括转动杆8，转动杆8安装于电机17的输出端，转动杆8的两侧和两端均安装有支撑杆9，使得镀件放置杆上能够放置更多的保温杯10，使得镀件放置杆上能够固定更多的保温杯10，使得磁控溅射装置能够对更多的保温杯10进行镀膜，支撑杆9的顶部安装有保温杯10。
24.在本实施中，靶材固定装置包括承载件12，承载件12均安装于机体1远离气管6一端的两侧，承载件12内部靠近密封舱18的一侧安装有第一磁铁 13和第二磁铁14，通过第一磁铁13和第二磁铁14之间的配合，使得靶材16 能够对保温杯10的表面进行镀膜，承载件12靠近密封舱18的一侧开设有安装槽15，安装槽15靠近密封门5的一端安装有挡板11，通过挡板11将靶材 16限制在安装槽15内部，安装槽15的内部安装有靶材16。
25.在本实施中，气管6有三个且三个气管6等距纵向排列在机体1远离密封门5一端的中间位置，气管6贯穿机体1并与密封舱18相连通，通过气管 6和第一电子气阀7之间的配合来改变密封舱18内部的环境，密封舱18底部靠近气管6一端的中间位置开设有散热孔，机体1内部底端靠近气管6一端的中间位置开设有排气仓，机体1上排气仓的尺寸和排风扇19的尺寸相适配，机体1上排气仓通过第二电子气阀20与外界相连通，通过排风扇19和第二电子气阀20对密封舱18内部进行散热。
26.在本实施中，支撑杆9有多个且多个支撑杆9纵向等距排列在转动杆8 的两侧和两端，多个支撑杆9的顶部开设有多个螺纹固定孔，支撑杆9上的螺纹固定孔的尺寸和保温杯10的尺寸相适配，工作人员可以通过螺纹固定孔将保温杯10安装在支撑杆9顶部。
27.在本实施中，承载件12靠近密封舱18的一侧均开设有矩形固定槽，承载件12上矩形固定槽的尺寸与第一磁铁13和第二磁铁14的尺寸相适配，承载件12通过矩形固定槽将第一磁铁13和第二磁铁14稳定牢固的安装在承载件12上，安装槽15靠近密封舱18一侧的顶部和底部均设置有卡块，通过安装槽15和卡块之间的配合将靶材16限制在机体1内部，安装槽15贯穿机体 1并与密封舱18相连通。
28.工作原理：工作人员先将真空泵、惰性气体气罐和气泵分别与三个气管6 通过管道相连通，然后工作人员将需要镀膜的保温杯10通过螺纹固定孔将稳定牢固的安装在支撑杆9的顶部，然后工作人员关闭密封门5，并且工作人员启动真空泵，并且通过工作人员通过控制面板3打开真空泵相对应的第一电子气阀7，使真空泵能够将密封舱18内部的气体抽出，然后再关闭真空泵和真空泵相对应的第一电子气阀7，然后打开惰性气体气罐相对应的第一电子气阀7，使惰性气体气罐能够往密封舱18内部注入惰性气体，然后工作人员启动电机17，使得支撑杆9上的保温杯10能够沿着转动杆8转动，让靶材16 对保温杯10进行镀膜，若是靶材16过薄，工作人员可以将挡板11上的螺栓拧下来，工作人员便能将安装槽15内的靶材16进行更换，若是密封舱18内部的保温杯10镀膜完成后，工作人员打开气泵和排风扇19，并且打开气泵相对应的第一电子气阀7和第二电子气阀20，使镀膜完成的保温杯10能够快速冷却。
29.对于本领域技术人员而言，本实用不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用。因此，本实用的实施
例是示例性的，而且是非限制性的。本实用的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
30.在本实用的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
31.在本实用的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。