技术特征：
1.一种硅材料用化学抛光机，包括壳体(1)，壳体(1)的内部固定连接有底座(2)，底座(2)的内部固定安装有双轴电机(3)，双轴电机(3)输出轴的一端固定连接有与底座(2)活动套接的抛光垫(4)，壳体(1)的上端卡接有抛光盘(5)，抛光盘(5)的上端固定连接有连接件(6)，连接件(6)的中部活动套接有与抛光盘(5)活动套接的转轴(7)，转轴(7)的底端固定连接有安装在抛光垫(4)上方的夹具(8)，所述夹具(8)的底部固定安装有硅片(9)，其特征在于：所述转轴(7)底部的侧面固定安装有位于抛光盘(5)内部的第一齿轮(10)，所述第一齿轮(10)的一侧啮合有与抛光盘(5)活动套接的第二齿轮(11)，所述抛光盘(5)的内部活动套接有内齿圈(12)，所述内齿圈(12)的内圈与第二齿轮(11)啮合，所述内齿圈(12)的底部固定连接有三组与抛光盘(5)活动套接的压杆(13)，所述底座(2)上端的边缘开设有位于压杆(13)下方的环形槽(14)，所述环形槽(14)的底部固定连接有蓄水环(15)，所述底座(2)的内部开设有位于双轴电机(3)外侧的环形集液腔(16)，所述环形集液腔(16)的外侧开设有若干组等圆周排列的进液管(17)，所述进液管(17)的另一端与环形槽(14)内侧壁连接，所述环形集液腔(16)底部的外侧开设有若干组排液管(18)，所述排液管(18)的另一端连接有开设在底座(2)内部的环形储液槽(19)。2.根据权利要求1所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述底座(2)的内部开设有设置在双轴电机(3)的下方液压腔(20)，所述液压腔(20)的底部固定安装有支撑弹簧(21)，所述支撑弹簧(21)的上端固定连接有与液压腔(20)活动套接的连接结构(22)，所述双轴电机(3)输出轴另一端的两侧均固定连接有与连接结构(22)活动套接的限位杆(23)，所述限位杆(23)截面为圆形，所述液压腔(20)的两侧均设置有开设在底座(2)内部的活动腔(24)，所述活动腔(24)的内部活动套接有活塞杆(25)，所述液压腔(20)的底部与活动腔(24)的底部相连通，且液压腔(20)内部与活动腔(24)中活塞杆(25)底部之间填充有液压油，所述活动腔(24)的上方设置有开设在底座(2)内部的环形连接腔(26)，所述环形连接腔(26)的内部活动套接有环形推板(27)，所述活塞杆(25)的上端与环形推板(27)的底部固定连接，所述环形连接腔(26)底部的外侧设置有若干组与环形集液腔(16)相连通的连接管(28)，所述环形连接腔(26)上端的侧面固定连接有若干组等距排列的出液管(29)，所述出液管(29)的上端延伸到底座(2)顶面安装的抛光垫(4)的外侧。3.根据权利要求2所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述连接结构(22)包括套筒主体(221)，所述套筒主体(221)内壁的两侧均开设有竖直槽(222)，所述竖直槽(222)两侧壁之间的距离大于限位杆(23)的杆径，两组所述竖直槽(222)的首尾之间通过开设在套筒主体(221)内侧的两组螺旋式弧形凹槽(223)连接，两组所述弧形凹槽(223)呈以套筒主体(221)中心对称方式分布。4.根据权利要求1所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述第一齿轮(10)的外径小于第二齿轮(11)的外径，所述第二齿轮(11)的外径小于内齿圈(12)的内径，所述压杆(13)在内齿圈(12)的底部呈等距分布。5.根据权利要求1所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述蓄水环(15)的高度高于底座(2)的上端面，所述蓄水环(15)为延展性好、弹性大的吸水海绵，所述吸水海绵内部结构密度从上至下逐渐增大，且蓄水环(15)的外侧粘接有不透水的弹性橡胶封皮。6.根据权利要求3所述的一种硅材料用化学抛光机，其特征在于：所述竖直槽(222)两侧壁之间的距离大于限位杆(23)的杆径，所述套筒主体(221)的底部设置有密封板，所述环
形推板(27)的中部设置有若干组开口朝向环形连接腔(26)底部的止回阀，所述出液管(29)的上端开口处设置有开口朝上的止回阀。
技术总结
本发明涉及抛光设备技术领域，且公开了一种硅材料用化学抛光机，包括壳体，壳体的内部固定连接有底座，底座的内部固定安装有双轴电机，双轴电机输出轴的一端固定连接有与底座活动套接的抛光垫，壳体的上端卡接有抛光盘。通过连接结构、液压腔、环形连接腔、环形推板的设置，能够将从环形集液腔中进入环形连接腔内部的颗粒较少的抛光液向上挤压，使抛光液能够从出液管流到抛光垫的边缘，对抛光垫上的抛光液进行补充，并且随着双轴电机的持续旋转，能够实现周而复始的将环形集液腔内部经过沉淀的含颗粒物较少的抛光液间歇不断的挤压到抛光垫的上方，进一步保证抛光液的充分利用，节约成本。成本。成本。
技术研发人员：陈韬
受保护的技术使用者：陈韬
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/5/17