一种模块化布局组合方式的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种模块化布局，具体说是一种大型平板设备的模块化布局组合装置。
【背景技术】
[0002]以往大型设备，都存在着不易安装、调试、分拆、运输等问题。可以说以前的整体布局方式延长了产品的出厂周期，且不易运输到客户单位，也不易现场安装。
[0003]而模块化布局，做到了设备水/电/气的单独供给，做到了不同功能的模块化布局，这样的方式大大缩短了当代设备的维护周期和后续设备的研发周期。
【发明内容】
[0004]本发明涉及一种模块化布局，具体说是一种大型平板设备的模块化布局组合装置，该模块化布局便于大型设备的安装/调试/分拆运输，模块化布局便于工艺腔体的柔性化操作，以及设备后期改造升级。
[0005]镀膜设备包括下述模块:
[0006]带有加热系统和真空阀门的装载模块。该模块位于大气室和真空腔之间的交界。
[0007]在上游工艺的预热模块，和加热系统一起工作。其用于控制载板传输速度并设置工艺温度。
[0008]工艺模块，具有加热系统。
[0009]带有冷却功能的下游工艺卸载模块。它用于控制载板的传输速度。
[0010]带有真空阀门的卸载模块。它是真空系统和大气室的交界。
[0011]预热室可以为多个，串联连接于与自动传输装载台与工艺室之间；所述冷却室可为多个，串联连接于工艺室与自动传输卸载台之间；工艺室可为多个，串联连接于预热室与冷却室之间；所述预热室、工艺室及冷却室分别通过螺栓安装在各自的台架上，各台架之间通过螺栓连接，自动传输装载台与承载预热室的台架通过螺栓相连接，自动传输卸载台与承载冷却室的台架通过螺栓相连接；在自动传输装载台及自动传输卸载台上加设有机械手。
【附图说明】
[0012]图1所示为本发明结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步的详细说明。
[0014]镀膜系统有三个腔体，分别是进料腔，反应腔(包括预热腔、沉积腔和冷却腔三部分)和出料腔。各腔体直接由真空阀门隔开。
[0015]镀膜系统主要有真空系统、等离子系统、传送系统、气动系统、加热系统、冷却系统、电路自动控制系统组成。整个系统由中控(电脑程序)系统控制。
[0016]尽管前述仅是本发明的实施例，在不偏离它的基本范围以及所述权利要求决定的范围情况下，可以设计本发明的其他的和进一步的实施例。
【主权项】
1.一种模块化布局组合装置，包括装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块以及卸载模块。该组合将装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块、卸载模块通过真空阀门顺次相连。2.根据权利要求1所述，其中，所述装载模块具有加热系统和真空阀门，所述装载模块具有快速升温的作用。3.根据权利要求1所述，其中，所述预热模块用于稳定温度，为反应准备合适的条件。4.根据权利要求1所述，其中，所述工艺模块，具有加热系统。5.根据权利要求1所述，其中，所述冷却模块具有使样品从反应时高温至常温起过渡的作用。6.根据权利要求1所述，其中，所述卸载模块可以使样品冷却到略高于室温的温度。7.根据权利要求1所述，其中，所述各模块具有独自的水电气系统，相互之间不干涉易于安装和拆卸，传输系统速度可调。
【专利摘要】本发明涉及一种模块化布局，具体说是一种大型平板设备的模块化布局组合装置，该装置包括装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块以及卸载模块。该组合将装载模块、预热模块、工艺模块、冷却模块、卸载模块通过真空阀门顺次相连。该模块化布局便于大型设备的安装/调试/分拆运输，模块化布局便于工艺腔体的柔性化操作，以及设备后期改造升级。
【IPC分类】C23C14/56
【公开号】CN105568247
【申请号】CN201410615953
【发明人】雷明, 张晓哲
【申请人】沈阳迈维科技有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2014年11月6日