保持垫的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明设及保持垫化olding pad)。
【背景技术】
[0002] W往，在对半导体晶片、半导体器件用娃晶片、各种记录用盘(disc)的衬底及液晶 显示器用玻璃衬底等、尤其是对玻璃衬底进行精密平面研磨时，使贴合在研磨头上的保持 垫利用水吸附被研磨物从而保持被研磨物，然后使用研磨垫进行研磨加工。保持垫具备由 具有连续气泡的聚氨醋树脂等弹性材料形成的片材，该片材的表面(保持面)的微细气泡发 挥像吸盘那样的作用，从而能够保持被研磨物。即，该片材作为保持层发挥功能。
[0003] 但是，由于保持垫在研磨加工时被暴露于研磨液(研磨浆料），所W有时研磨液浸 入至连续气泡(其存在于保持垫所具备的保持层的内部）中。倘若研磨液浸入，则构成保持 层的弹性材料的弹性丧失，或者保持层发生溶胀，稳定的保持变得困难，其结果是，研磨加 工性降低。作为预防上述问题的对策，例如，专利文献1中公开了包含氣系防水剂的保持垫。
[0004] 现有技术文献
[0005] 专利文献
[0006] 专利文献1:日本特开平9-254027号公报
【发明内容】
[0007] 发明所要解决的课题
[000引在使用了专利文献1中记载的那样的防水剂的情况下，能够抑制研磨液向保持层 内部的浸入。但是，当为了使保持垫吸附于被研磨物而使用水使保持层的保持面为湿润状 态时，由于存在防水剂，所W与水的亲和性下降，在不沾水的部位容易发生吸附不良。另一 方面，如果为了防止上述那样的吸附不良而减少防水剂的添加量，则会在保持层内发生防 水剂的分散不均，水从防水性弱的部分浸入，结果在进行研磨加工时，在保持层中局部性地 产生表皮磨损，变得难W稳定地保持被研磨物。此处，所谓"表皮磨损"，是指下述情况:保持 层因浸水等而发生溶胀，结果，该保持层的保持面与研磨垫的研磨面直接接触而被磨削，或 者与被研磨物的角部接触的保持面被该角部磨削，从而开孔。产生上述情况的原因在于，保 持层发生溶胀而从研磨头剥离并部分地弯曲。
[0009] 本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供能够抑制被研磨物的吸附不良 及表皮磨损两者的保持垫。
[0010] 用于解决课题的手段
[0011] 为了达成上述目的，本申请的发明人反复进行了深入研究，结果发现，如果保持垫 具备片材(其40°C时的储能弹性模量E'适度地低、且利用特定的吸水量测定而测得的吸水 量在适度的范围内）作为保持层，则可W达成上述目的，从而完成了本发明。
[0012] 旨P，本发明如下所述。
[0013] [1]-种保持垫，其为具备聚氨醋树脂片材的保持垫，所述聚氨醋树脂片材具有用 于保持被研磨物的保持面，其中，所述聚氨醋树脂片材在40°C时的储能弹性模量E'为0.3~ 2. OMPa，并且所述聚氨醋树脂片材的吸水量为95~200mg/50.3cm2。
[0014] [2]如上述项所述的保持垫，其中，所述聚氨醋树脂片材在40°C时的K化为1.0 X 1〇5 ~5.0Xl〇5pa-i。
[0015] [3巧日上述项所述的保持垫，其中，构成所述聚氨醋树脂片材的树脂在25Γ时的 100%模量为 4.0 ~10.0 MPa。
[0016] [4巧日上述项所述的保持垫，其中，所述聚氨醋树脂片材含有防水剂。
[0017] [5巧日上述项所述的保持垫，其中，所述防水剂包含具有碳原子数为6~8的全氣烧 基的氣系防水剂。
[0018] [6巧日上述项所述的保持垫，其中，所述聚氨醋树脂片材中含有的所述氣系防水剂 的60~100摩尔％为具有碳原子数为6的全氣烷基的氣系防水剂。
[0019] 发明的效果
[0020] 根据本发明，可提供能够抑制被研磨物的吸附不良及表皮磨损两者的保持垫。
【附图说明】
[0021 ]图1是示意性地表示本发明设及的保持垫的一例的截面图。
[0022] 图2是示意性地表示用于本发明设及的吸附量测定的仪器的透视图。
【具体实施方式】
[0023] W下，根据需要，边参照附图边详细说明用于实施本发明的方式下简称为"本 实施方式"。），但本发明并不限定于下述本实施方式。本发明可W在不脱离其要旨的范围内 进行各种变形。需要说明的是，附图中，对同一要素标注同一符号，并省略重复的说明。此 夕h只要没有特别的说明，则上下左右等位置关系W附图中所示的位置关系为基准。此外， 附图的尺寸比率不限于图示的比率。
[0024] 本实施方式的保持垫是具备聚氨醋树脂片材（其具有用于保持被研磨物的保持 面）的保持垫，聚氨醋树脂片材在4(TC时的储能弹性模量E'为0.3~2.OMPa，并且聚氨醋树 脂片材的吸水量为95~200mg/50.3cm2。
[0025] 图1是表示本实施方式设及的保持垫的一例的截面示意图。保持垫110中依次层合 并包含聚氨醋树脂片材下简称为"树脂片材"。）112和基材114。树脂片材112与基材114 相互接合，在该例中，树脂片材112与基材114经由粘接层116而接合。
[0026] 保持垫110所包含的树脂片材112含有聚氨醋树脂，作为具有用于保持被研磨物的 保持面P的保持层而发挥功能。树脂片材112的储能弹性模量E'在40°C时为0.3~2.OMPa。通 过在4(TC时的储能弹性模量E'为0.3MPaW上，使得在研磨加工中不容易在树脂片材112上 产生表皮磨损。另一方面，通过在4(TC时的储能弹性模量E'为2.0M化W下，使得树脂片材 112对被研磨物的吸附力增高，不容易发生吸附不良。从同样的观点考虑，树脂片材112的储 能弹性模量E'优选在40°C时为0.4~1.5M化，更优选为0.5~1.0M化，进一步优选为0.5~ 0.7MPa〇
[0027] (储能弹性模量E'的测定方法）
[0028] 本说明书中，对于树脂片材的储能弹性模量E'，使用动态粘弹性测定装置(例如， 了八1]13付皿6]113化9曰]1,1]1(3.制商品名啼54 111")，^下述条件测定2片，取其算术平均。
[0029] [测定条件]
[0030] ?试样尺寸：10mm X 10mm X厚度0.8mm X 3片重叠
[0031] .试验方向：压缩模式
[0032] ?载荷：100g/cm2
[0033] ?应变:0.10%
[0034] .频率：lHz
[0035] ?溫度范围：20~8(TC，升溫速度:5°C/min
[0036] .试样厚度:使用厚度计测定
[0037] ?为厚度不同的试样的情况下，进行重叠 W使得成为2mm~3mm的范围并进行测 定。
[0038] 树脂片材112的吸水量为95~200mg/50.3cm2。通过该吸水量为95mg/50.3cm 2W上， 使得树脂片材112对被研磨物的吸附力增高，不容易发生吸附不良。另一方面，通过吸附量 为200mg/50.3cm2W下，使得在研磨加工中不容易在树脂片材112上产生表皮磨损。从同样 的观点考虑，树脂片材112的吸水量优选为100~160mg/50.3cm2,更优选为107~150mg/ 50.3cm2，进一步优选为 110 ~130mg/50.3cm2。
[0039] (吸水量的测定方法）
[0040] 树脂片材112的吸水量如下所述地进行测定。图2是示意性地表示用于测定树脂片 材的吸水量的器具的透视图。首先，准备用作测定对象即试样10的直径Φ 125mm的保持垫 110、及氯乙締制的对焊式法兰20及同样为氯乙締制的板式法兰(plate flange)30(均为 JIS 10K-80A)。法兰20、30的内径Φ为80mm(截面积为50.3cm2)。接着，将试样10在40°C的干 燥机内干燥10小时W上。然后，在室溫20°C、相对湿度50%的大气气氛中进行作业。接着，使 试样10在大气气氛下自然冷却至室溫，使用电子天砰测定其质量。接着，如图2所示，利用对 焊式法兰20和板式法兰30,将试样10W其保持面P在对焊式法兰20侧的方式夹住，自上下夹 紧从而固定。接着，向对焊式法兰20的管内注入300mL的20°C的离子交换水W(此时，水面与 试样10的保持面巧目距的高度为约60mm。）。注入后，将它们静置8小时后，将试样10从固定状 态中放开并取出，利用滤纸吸取表面的水分。该情况下，不是将滤纸按压在试样10上，而是 W滤纸轻拂试样10表面的方式吸取水分。然后，迅速测定试样10的质量。将注入离子交换水 W并进行静置前后的试样10的质量差作为树脂片材112的吸水量。
[0041] 作为进行控制W使得本实施方式设及的树脂片材112具有上述范围的储能弹性模 量E '及吸水量的方法，例如，可举出调整构成树脂片材112的树脂在25 °C时的100 %模量、在 40°C时的KEL、树脂的种类、防水剂的添加、该防水剂的种类及添加量、树脂片材112的厚度、 密度、及树脂片材112的与表皮层为相反侧的背面的抛光加工量的方法。
[0042] 构成树脂片材112的树脂在25