性广，能够适应各种复杂表面工件产品的镀膜需求，且镀膜厚度均匀性效果好。本实用新型的旋转样品突破了传统镀膜工艺中一种样品台适用于某一种或几种工件的思维限制，采用一套旋转样品台同时能够满足一系列尺寸形貌各异工件的沉积镀膜。
[0024]2.本实用新型的旋转样品台中，自转传动件包括可轴向伸缩连接的第一自转传动段和第二自转传动段，通过调整第一自转传动段和第二自转传动段之间的轴向伸缩量，通过调整自转传动件进而改变样品台相对第一支撑件转动的角度，从而能够简单方便的调整承载部的倾斜角度；设置第一自转传动段通过第一联动结构与第二驱动装置传动连接，第二自转传动段通过万向节与连接部固定连接，使自转传动件能够将第二驱动装置的动力传递到样品台，从而驱动样品台自转。
[0025]3.本实用新型的旋转样品台，在第一自转传动段和第二自转传动段互相连接的部分设有可配合插接的柱体/空腔，以及将柱体固定在空腔内部的定位结构；调整柱体在空腔内的插入量即可调整自转传动件轴向伸缩的长度，而且使用定位结构将柱体和空腔固定在一起后，第一自转传动段和第二自转传动段成为一个能够传递扭矩的整体，从而能够在第二驱动装置的带动下驱动样品台自转。设置柱体为多边形柱体，设置空腔为多边形空腔，可使第一自转转动段和第二自转传动段的扭矩传动更有效，不易发生滑脱；设置定位结构包括设在空腔侧壁上的定位螺纹通孔，以及螺接在定位螺纹通孔上的定位螺栓，定位螺纹通孔和定位螺栓的配合简单方便，成本低且易于实现。
[0026]4.本实用新型的旋转样品台，将自转传动件通过第二支撑件固定在公转台上，且设置第二支撑件包括通过轴承可转动套设在第一自转传动段或第二自转传动段上的固定套，以及设在固定套下侧的立柱，立柱与公转台插接连接；在自转传动件轴向伸缩或驱动样品台自转时，第二支撑件能够将其固定在某一位置，保证自转传动件传输扭矩的精度和轴向伸缩时不发生晃动。
[0027]5.本实用新型的旋转样品台，第一支撑件包括通过轴承可转动套设在样品台外部的壳体，与公转台固定连接的支撑柱，和将壳体可转动固定在支撑柱上的转动连接件；上述设置使得样品台不仅能够自转，还能够绕转动连接件转动，从而调整承载部的倾斜角度，进而能够调整位于承载部上工件的不同位置正对材料源，提高旋转样品台对于具有复杂表面工件的镀膜均匀性，并扩展旋转样品台的应用范围。
[0028]6.本实用新型的旋转样品台，设置转动连接件包括设在支撑柱上的转轴或转轴孔，以及与转轴或转轴孔相对设在壳体上、且能够配合转动连接的转轴孔或转轴。转轴与转轴孔的设置简单有效，能够在自转传动件推动样品台时起到旋转轴的作用，实现承载部倾斜角度的调整。在支撑柱上设置U形固定件，并将转轴/转轴孔设在U形固定件的两相对侧壁上，能够从壳体的两侧将壳体可转动的固定住，在自转传动件推动样品台绕转动连接件转动时，壳体的转动更稳定，不易发生摇摆晃动，转动角度调节更精确。
[0029]7.本实用新型的旋转样品台，还设有用于调整样品台相对公转轴线距离长短的调整结构；当位于样品台承载部上工件的表面复杂且尺寸大小变化较大时，调整样品台相对于公转轴线的距离，并配合调整样品台承载部的倾斜角度，能够使工件的某一或某些面更好的正对材料源，从而满足不同尺寸大小的工件镀膜需求，进一步提高工件镀膜的厚度均匀性。
[0030]8.本实用新型的旋转样品台中，用于调节样品台相对公转轴线的距离长短的调整结构包括沿公转台径向开设在公转台上、且适于支撑柱穿过的长条形通孔，以及将支撑柱固定在长条形通孔内的可调固定件；需要调整样品台相对公转轴线的距离时，调松上述可调固定件，在长条通孔内沿公转台径向移动支撑柱，至目标距离时，重新调紧上述可调固定件，即可实现样品台相对公转轴线距离长短的调节；该种调整结构结构简单，实现容易，且在公转台上开设长条形通孔还能够起到减轻公转台重量的作用。
[0031]9.本实用新型的旋转样品台中，可调固定件包括分别从公转台上方和下方与支撑柱螺纹连接的上螺母和下螺母，将上螺母和下螺母之间的距离调远，即能将可调固定件调松，此时可以沿公转台径向在长条形通孔内移动支撑柱，至目标位置时，将上螺母和下螺母之间的距离调近，挤紧公转台，即可将可调固定件调紧，重新将支撑柱固定在长条形通孔内。上下螺母的设置还能够调整样品台相对公转台的高度，在位于样品台承载部上工件的尺寸较大时，可调整样品台与公转台具有较低高度，在位于样品台承载部上工件的尺寸较小时，可调整样品台与公转台具有较高高度，使工件与材料源的距离适中，便于在工件上镀上厚度均匀的膜。
[0032]10.本实用新型的旋转样品台中，第一驱动装置包括公转电机、被公转电机驱动旋转的公转主动齿轮，与公转齿轮啮合连接的公转从动轮，公转从动轮通过高度调节件与公转台固定连接并驱动公转台绕公转轴线旋转，设置高度调节件的目的在于，当位于样品台承载部上工件的尺寸过大或过小时，单纯通过调整样品台相对公转台的高度大小已不足以使工件与材料源之间具有合适的距离时，可通过高度调节件调整公转台与材料源之间的距离，从而满足尺寸过大或过小工件与材料源之间距离调节的需要。
[0033]11.本实用新型的旋转样品台中，高度调节件包括若干固定在公转从动齿轮上的固定柱，与固定柱相对设在公转台上、且能够允许固定柱插入的固定通孔，以及可拆卸连接于固定柱上并从公转台下部将公转台托住的卡箍；该种高度调节件通过调整卡箍固定在固定柱上的位置，即可调整公转台的高度，且结构简单，易于实现。
【附图说明】
[0034]图1是现有技术中旋转样品台的整体结构示意图。
[0035]图2是实施例中旋转样品台的主视图。
[0036]图3是图2的俯视图。
[0037]图4是图1的立体结构示意图。
[0038]图5是实施例中公转台、自转传动驱动件和样品台的连接结构示意图。
[0039]图6是图5的剖面图。
[0040]图中:01-定齿轮，02-传动齿轮，03-动齿轮，04-连杆，05-传动杆，06-顶板；1-公转台，11-固定通孔，2-样品台，21-承载部，22-连接部，3-支撑件，31-壳体，32-支撑柱，33-U形固定件，331-转轴，332-转轴孔，34-长条形通孔，341-上螺母，342-下螺母，4-自转传动件，41-第一自转传动段，411-第二伞齿轮，42-第二自转传动段，43-万向节，44-定位螺栓，45-柱体，46-固定套，47-立柱，48-上固定螺母，49-下固定螺母，51-自转传动轴，511-第一伞齿轮，52-自转电机，6-公转电机，61-公转主动齿轮，62-公转从动齿轮，63-固定柱，64-卡箍，7-光电开关，8-减重孔。
【具体实施方式】
[0041]下面结合附图对本实用新型提供的一种旋转样品台做进一步的详细说明。
[0042]如图2-6所示为本实用新型公开的旋转样品台，其包括公转台1，公转台I在第一驱动装置的驱动下绕公转轴线旋转，与公转轴线分别相距相同距离设置的6个样品台2，样品台2通过固定于公转台I上的第一支撑件3支撑，并通过位于公转台I上的自转传动件4驱动自转，自转传动件4通过第二驱动装置驱动；样品台2具有用于承载工件的承载部21及与自转传动件4连接的连接部22，自转传动件4可轴向伸缩以推拉连接部22，并进而推拉样品台2相对第一支撑件3转动，从而调整承载部21的倾斜角度。
[0043]本实施例的旋转样品台不仅能够使位于承载部21上的工件相对于材料源(材料源一般位于公转台I的斜上方或斜下方，可以是一个也可以是多个)进行公转、自转以及行星式公自转，还能够根据工件的不同形状，通过调整自转传动件4的轴向伸缩量来调整承载部21的倾斜角度，从而调整位于样品台2承载部21上工件的某一个或某些面正对材料源，使具有复杂表面的工件也能镀上厚度均匀的膜；本实施例提供的旋转样品台适应性广，能够适应各种复杂表面工件产品的镀膜需求，且镀膜厚度均匀性效果好。