气体流量计阀系统的制作方法
【专利说明】
【背景技术】
[0001]本实用新型涉及一种玻璃镀膜时向溅射腔室中供给气体的气体流量计阀系统，具体地说是一种在玻璃镀膜时向溅射腔室中供给单一气体或多种混合气体的气体流量计阀系统。
【发明内容】
[0002]在镀膜玻璃镀膜生产中，使溅射靶材沉积在溅射腔室内的玻璃板上，根据需要向溅射腔室中供给单一或混合的工业气体，例如氩气、氧气、氮气，这些工业气体在有一些情况中是为了保护溅射靶材稳定地附着在玻璃表面形成镀膜，在有一些情况下是为了与溅射靶材或玻璃材料反应形成附着在玻璃表面的镀膜，例如，向溅射腔室中供给氮气，在玻璃表面形成氮化硅镀膜；又例如溅射靶材是铜，工业气体是氧气，可以在玻璃表面形成氧化铜镀膜，但是在这种情况下，需要供给到溅射腔室内的氧气量不仅很小，而且需要氧气均匀分散到惰性气体中，才能够保证在玻璃板表面形成薄且均匀的氧化铜镀膜。
[0003]在现有的镀膜玻璃生产中，将工业气体分成多个供气段，每一个供气段将一种或均匀混合多种工业气体供给到溅射腔室内。但是各供气段之间的供气量往往不能保证相同，各供气段的气体混合均匀程度也不相同，导致生产出来的镀膜玻璃上各位置处的镀膜的密度和厚度不一致。
[0004]本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种气体流量计阀系统，不仅能够精确控制各供气段向该溅射腔室喷射的混合气体量，而且可以使各供气段供给的混合气体的混合比和供气量一致。
[0005]在本实用新型中，该气体流量计阀系统具有一个控制装置，和多个供气段，每个供气段具有一个混合腔，该混合腔与多个供气管连接，每个供气管上具有一个电动阀和一个流量计，并与一个工业气体供气源相连接。
[0006]在本实用新型中，控制装置接收各流量计的信号，控制各电动阀的开度，控制各工业气体进入混合腔的数量和比例，同时控制进入各混合腔的混合气体混合比和气体量相一致，向溅射腔室内供给工业气体。
[0007]本实用新型能够按照预订的混合气体混合比和气体量供给气体，以及各供气段混合气体供给量相一致，从而使镀膜玻璃上镀膜的密度和厚度均匀，提高镀膜玻璃的质量。
[0008]图面说明
[0009]图1是本实用新型气体流量计阀系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]在图1中，该气体流量计阀系统具有一个控制装置6，和多个供气段(图1中绘出了两个供气段)，每个供气段具有一个包括一系列喷气口的喷气管1，一个混合腔2，该混合腔2与多个供气管7连接，每个供气管7上具有一个电动阀4和一个流量计3，并与一个工业气体供气源5相连接。
[0011]在该气体流量计阀系统中，控制装置6接收各流量计4的信号，控制各电动阀3的开度，从而控制各工业气体进入混合腔2的量和比例，同时控制进入各混合腔2的混合气体混合比和气体量相一致，向溅射腔室内供给工业气体。
[0012]在工作中，该气体流量计阀系统能够按照预订的混合气体混合比和气体量供给气体，以及各供气段混合气体供给量相一致，从而使镀膜玻璃上镀膜的密度和厚度均匀，提高镀膜玻璃的质量。
【主权项】
1.一种气体流量计阀系统，其特征在于具有一个控制装置，和多个供气段，每个供气段具有一个包括一系列喷气口的喷气管，一个混合腔，该混合腔与多个供气管连接，每个供气管上具有一个电动阀和一个流量计，并与一个工业气体供气源5相连接，该控制装置接收各流量计的信号，控制各电动阀的开度。
【专利摘要】一种气体流量计阀系统，具有一个控制装置，和多个供气段，每个供气段具有一个混合腔，该混合腔与多个供气管连接，每个供气管上具有一个电动阀和一个流量计，并与一个工业气体供气源相连接，该控制装置接收各流量计的信号，控制各电动阀的开度，能够按照预订的混合气体混合比和气体量供给气体，以及各供气段混合气体供给量相一致，从而使镀膜玻璃上镀膜的密度和厚度均匀，提高镀膜玻璃的质量。
【IPC分类】C23C14/34, C23C14/54, C03C17/00
【公开号】CN204625781
【申请号】CN201520305687
【发明人】刘勇
【申请人】北京冠华东方玻璃科技有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月13日