一种抛光机用修正轮的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种抛光机用修正轮，包括球墨铸铁轮体和金刚石磨片，轮体的中间设有轴孔，轮体的外缘设有轮齿，六个金刚石磨片间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元。其通过优化结构，可对用于抛光晶片工艺上的抛光革盘面进行效果极佳的修整，保证修整后的盘面平整度好，修整效率高。
【专利说明】
一种抛光机用修正轮
技术领域
[0001]本实用新型涉及抛光机的修整装置技术领域，尤其是涉及一种抛光机用修正轮。
【背景技术】
[0002]金刚石或者铸铁修整轮用于修正磨盘的平面度及平整度，经过一段时间的研磨抛光之后，需要对磨盘进行修正，以保持磨盘的质量。金刚石修整轮的底座多采用不锈钢，表面镶嵌有金刚石颗粒。铸铁修正轮采用球墨铸铁材质，外缘带有轮齿，正反面开有刮研槽，多用于铸铁平台的修磨。在抛光晶片工艺上，晶片的平面度和平行度很大程度上取决于抛光盘面的平整度，如果采用普通的球墨铸铁修正轮对粘有抛光革的盘面进行修整，则获得的盘面平整度相当差，修整效率极低。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型针对现有技术的不足，所要解决的技术问题是提供一种抛光机用修正轮，其通过优化结构，可对用于抛光晶片工艺上的抛光革盘面进行效果极佳的修整，保证修整后的盘面平整度好，修整效率高。
[0004]本实用新型是通过以下技术方案使上述技术问题得以解决。
[0005]—种抛光机用修正轮，包括球墨铸铁轮体和金刚石磨片，轮体的中间设有轴孔，轮体的外缘设有轮齿，六个金刚石磨片间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元。
[0006]作为优选，修正单元设有12个。
[0007]作为优选，轮体的另一侧环形表面上周向均匀开设有若干个刮研槽。进一步优选，刮研槽设有六个。
[0008]作为优选，轮体的厚度为25mm至40mm。
[0009]作为优选，金刚石磨片通过两液混合硬化胶粘接在轮体上。
[0010]本实用新型的有益效果:
[0011]1.在球墨铸铁轮体的环形表面上设置由金刚石磨片构成的修正单元，通过特殊结构设计的倒三角形修正单元能够对用于抛光晶片工艺上的抛光革盘面进行效果极佳的修整，提高了修整效率，实现了高质量的盘面平整度。
[0012]2.采用两液混合硬化胶粘接结构，环保无毒，粘接强度高，韧性好，耐油、耐水性优良，耐高低温，耐大气老化。
[0013]3.轮体的另一侧设有刮研槽，可实现原有对铸铁平台的修磨功能。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的主视结构不意图；
[00?5]图2是本实用新型的侧视结构不意图。
[0016]图中:1-轮体，2-金刚石磨片，3-轴孔，4-轮齿。
【具体实施方式】
[0017]下面通过实施例并结合附图对本实用新型进行详细的说明。
[0018]如图1和图2所示的本实用新型一种抛光机用修正轮，包括球墨铸铁轮体I和金刚石磨片2，轮体I的厚度优选在25_至40mm，轮体I的中间设有轴孔3，轮体I的外缘设有轮齿
4。六个金刚石磨片2间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体I的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元，图中所示实施例为修正单元设有12个。可选择将金刚石磨片2通过两液混合硬化胶粘接在轮体I上，这种结构粘接强度高，韧性好，环保无毒。通过特殊结构设计的倒三角形修正单元能够对用于抛光晶片工艺上的抛光革盘面进行效果极佳的修整，提高了修整效率，实现了高质量的盘面平整度。还可以在轮体I的另一侧环形表面上周向均匀开设若干个刮研槽，优选设置刮研槽为六个。这样可以实现对铸铁平台的修磨功能，使得该修正轮具有一物两用的多功能性，应用灵活。
[0019]本实用新型不局限于以上所述的优选实施方式，基于本领域的技术人员所能够获知的公知技术或者采用现有技术中所能够等效替换的各种变形及更改的实施方式，凡是基于本实用新型的精神或者技术构思，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种抛光机用修正轮，其特征是:包括球墨铸铁轮体(I)和金刚石磨片(2)，轮体(I)的中间设有轴孔(3)，轮体(I)的外缘设有轮齿(4)，六个金刚石磨片(2)间隔均布呈倒三角形构成一个修正单元，轮体(I)的一侧环形表面上周向间隔均匀设置有若干个修正单元。2.根据权利要求1所述的抛光机用修正轮，其特征是:修正单元设有12个。3.根据权利要求1所述的抛光机用修正轮，其特征是:轮体(I)的另一侧环形表面上周向均匀开设有若干个刮研槽。4.根据权利要求3所述的抛光机用修正轮，其特征是:刮研槽设有六个。5.根据权利要求1所述的抛光机用修正轮，其特征是:轮体(I)的厚度为25mm至40mmo6.根据权利要求1所述的抛光机用修正轮，其特征是:金刚石磨片(2)通过两液混合硬化胶粘接在轮体(I)上。
【文档编号】B24B53/06GK205520954SQ201620227482
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】陈时兴, 丁国平, 唐新桂
【申请人】嘉兴百盛光电有限公司