技术总结
本发明属于半导体制备所应用的隔热保温材料技术领域，具体涉及一种碳基Si-C-O气凝胶隔热复合材料及其制备方法，制备该材料首先将硅源和碳源混合，经反应后制备出具有纳米多孔的三维网络骨架结构的溶胶，然后以短切碳纤维为原料，通过纤维浆料抽滤、模压成型的方法经高温烧结制备多孔纤维预制体，接着将所述溶胶与碳多孔纤维预制体复合，形成碳纤维与Si-C-O气凝胶的混合体，然后通过超临界流体干燥得到具有纳米多孔结构的Si-C-O气凝胶先驱体复合材料，再对Si-C-O气凝胶先驱体复合材料进行高温惰性气氛裂解，最终形成碳基Si-C-O气凝胶隔热复合材料，该材料将Si-C-O气凝胶与碳纤维结合在一起，制备出了一种性能优越的隔热材料，适合应用于半导体制造行业中。
技术研发人员：霍阳阳;郑旭东;关帅;陈英男
受保护的技术使用者：沈阳拓荆科技有限公司
文档号码：201510698059
技术研发日：2015.10.26
技术公布日：2017.05.03