氦气浓度提纯系统的制作方法

文档序号:11802210阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氦气浓度提纯系统,连接在氦气检漏系统(10)中,所述氦气检漏系统(10)包括第一压力罐(11)和第二压力罐(12),所述第一压力罐(11)内的压力小于所述第二压力罐(12)内的压力,其特征在于,所述氦气浓度提纯系统包括:

主管路(20),所述主管路(20)的第一端(21)与所述第二压力罐(12)连通,所述主管路(20)的第二端(22)与所述第一压力罐(11)连通;

第一控制阀(31),设置在所述主管路(20)上,所述第一控制阀(31)用于控制所述第二压力罐(12)内的氦气进入到所述主管路(20)中;

氦气浓度提纯装置(40),设置在所述主管路(20)上。

2.根据权利要求1所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述主管路(20)上的缓存罐(50),所述缓存罐(50)位于所述第一控制阀(31)与所述氦气浓度提纯装置(40)之间,所述缓存罐(50)用于收集从所述第二压力罐(12)内排出的氦气。

3.根据权利要求2所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述主管路(20)上的第二控制阀(32),所述第二控制阀(32)位于所述缓存罐(50)与所述氦气浓度提纯装置(40)之间,并且,所述缓存罐(50)内设置有压力传感器(51)。

4.根据权利要求3所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述主管路(20)上的冷干机(61)和减压器(62),所述冷干机(61)位于所述缓存罐(50)与所述氦气浓度提纯装置(40)之间,所述减压器(62)位于所述第二控制阀(32)与所述冷干机(61)之间。

5.根据权利要求4所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,所述缓存罐(50)与所述第一控制阀(31)之间设置有过滤器(71),所述第二控制阀(32)与所述减压器(62)之间设置有精密过滤器(72)。

6.根据权利要求5所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述主管路(20)上的增压泵(81),所述增压泵(81)位于所述氦气浓度提纯装置(40)与所述主管路(20)的第二端(22)之间。

7.根据权利要求6所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述主管路(20)上的第三控制阀(33)、第四控制阀(34)和流量计(82),所述流量计(82)位于所述氦气浓度提纯装置(40)与所述增压泵(81)之间,所述第三控制阀(33)位于所述氦气浓度提纯装置(40)与所述流量计(82)之间,所述第四控制阀(34)位于所述增压泵(81)与所述主管路(20)的第二端(22)之间。

8.根据权利要求7所述的氦气浓度提纯系统,其特征在于,还包括设置在所述第二压力罐(12)内的浓度测试仪以及控制装置,所述控制装置与所述浓度测试仪、所述压力传感器(51)、所述第一控制阀(31)、所述第二控制阀(32)、所述第三控制阀(33)以及所述第四控制阀(34)分别电连接。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1