技术特征：
技术总结
本发明提供了一种掺杂气体缓冲装置、掺杂气体供给装置及方法，所述掺杂气体缓冲装置包括本体、覆盖本体外表面，用于为本体加热的加热装置、安装在所述加热装置外部，用于带动本体及加热装置持续上下移动的运动装置及安装在所述本体的进气口和出气口端的密封装置，对本体采用磁流体密封，以使掺杂气体与外部环境隔离；掺杂气体供给方法步骤为，掺杂气体稀释装置向掺杂气体缓冲装置充入掺杂气体，掺杂气体缓冲装置向反应室排出掺杂气体。本发明加热装置以及运动装置有助于掺杂气体游离出钢制的气缸外，可以使掺杂气体在低浓度下的长期稳定性，从而使掺杂气体在送入反应室前可以存储，而避免排放到湿法尾气处理器中而造成浪费。
技术研发人员：刘源;牛景豪;史红涛;林洋;保罗·邦凡蒂
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：2016.09.14
技术公布日：2018.03.20