1.TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂的质量百分比配方如下:
盐酸8%,氢氟酸2%,硝酸3%,HPMC1%,结冷胶0.5%,氯化钙0.1%以及余量的水;或盐酸12%,氢氟酸5%,硝酸3%,HPMC2%,结冷胶1%,氯化钙0.2%以及余量的水;或盐酸10%,氢氟酸3%,硝酸3%,HPMC2%,结冷胶0.5%,氯化钙0.2%以及余量的水;或盐酸10%,氢氟酸3%,硝酸5%,HPMC1%,结冷胶1%,氯化钙0.1%以及余量的水。
2.如权利要求1所述的TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于以如下方法配制,
1)将处方量盐酸、硝酸与氢氟酸混合,并加入适量水稀释后,加入处方量的氯化钙溶解,
2)将处方量的羟丙基甲基纤维素、结冷胶溶于适量水中至完全溶解;
3)将步骤1)得到的混合液缓慢加入步骤2)的混合液中,补足余量的水后搅拌至混合均匀。