TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂的制作方法

文档序号:17179850发布日期:2019-03-22 20:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于所述预处理剂的质量百分比配方如下:

盐酸8%,氢氟酸2%,硝酸3%,HPMC1%,结冷胶0.5%,氯化钙0.1%以及余量的水;或盐酸12%,氢氟酸5%,硝酸3%,HPMC2%,结冷胶1%,氯化钙0.2%以及余量的水;或盐酸10%,氢氟酸3%,硝酸3%,HPMC2%,结冷胶0.5%,氯化钙0.2%以及余量的水;或盐酸10%,氢氟酸3%,硝酸5%,HPMC1%,结冷胶1%,氯化钙0.1%以及余量的水。

2.如权利要求1所述的TFT玻璃基板薄化工艺预处理剂,其特征在于以如下方法配制,

1)将处方量盐酸、硝酸与氢氟酸混合,并加入适量水稀释后,加入处方量的氯化钙溶解,

2)将处方量的羟丙基甲基纤维素、结冷胶溶于适量水中至完全溶解;

3)将步骤1)得到的混合液缓慢加入步骤2)的混合液中,补足余量的水后搅拌至混合均匀。

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