一种氩气净化回收系统的制作方法

文档序号:11038231阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种氩气净化回收系统,其特征在于,包括进气管、净化管路、水分去除管路和排气管;

所述净化管路包含净化管道,所述净化管道的一端与所述进气管连接,另一端与所述排气管连接,所述净化管道上串联连接有至少一个除氧净化塔和至少一个除水净化塔,每个所述除氧净化塔上设置有进气口和出气口,每个所述除水净化塔上设置有进气端、出气端和排水口;

所述水分去除管路包含除水管道,所述除水管道的一端和所述进气管连接,所述除水管道与每个所述除水净化塔的出气端连接,所述除水管道上设有第二管道阀(6)。

2.根据权利要求1所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述除氧净化塔内设有除氧介质层(4),所述除水净化塔内设有除水介质层(7)。

3.根据权利要求2所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述除氧介质层(4)内采用的介质为钯触媒;所述除水介质层(7)内采用的介质为分子筛。

4.根据权利要求1所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述除氧净化塔和所述除水净化塔分别间隔串联在所述净化管道上。

5.根据权利要求1所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述排水口上设有排水阀。

6.根据权利要求1所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述排气管上设有真空压力表(13)和排气管道阀(14)。

7.根据权利要求1所述的氩气净化回收系统,其特征在于,所述进气管上设有进气管道阀(1)。

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