用于在车床中安装转动基管的转动导通件、CVD车床和使用CVD车床的相应方法与流程

文档序号:13560612阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种用于在车床中安装转动基管并向所述管内提供处理气体流的转动导通件,所述转动导通件包括:处理气体供给管路,其用于向所述基管内提供处理气体;可转动的保持件,其被配置成以使所述基管相对于所述处理气体供给管路转动的方式接收和保持所述基管;转动接头,其设置在所述可转动的保持件和所述处理气体供给管路之间,所述转动接头使所述可转动的保持件与所述处理气体供给管路可转动地连接;固定壳体,其连接至所述处理气体供给管路和所述可转动的保持件,从而形成包围所述转动接头的封闭的腔,其中所述固定壳体还包括用于向所述封闭的腔提供辅助气体的辅助气体供给管路。

技术研发人员:I·米莉瑟维克;R·汉斯;J·A·哈特苏克;G·克拉比希斯;M·J·N·范·斯特劳伦
受保护的技术使用者:德拉克通信科技公司
技术研发日:2016.03.22
技术公布日:2018.01.26
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