一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置的制作方法

文档序号:15057957发布日期:2018-07-31 20:33阅读:171来源:国知局

本实用新型涉及蓝宝石晶体生长技术领域,具体为一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置。



背景技术:

蓝宝石的英文名称为Sapphire,其化学成分为三氧化二铝(Al2O3),因含微量元素钛(Ti4+)或铁(Fe2+)而呈蓝色,属三方晶系。蓝宝石具有熔点高、硬度高、导热性好,透光波段宽,耐腐蚀,可在接近2000℃高温的恶劣环境下工作等优点,已被广泛地应用于科学技术、国防与民用工业等许多高科技领域。

蓝宝石生长炉是蓝宝石提炼的一种重要设备,目前国内外蓝宝石生长炉大多需要对炉体进行抽真空。由于对炉体真空度要求高,所以抽真空设备一般比较昂贵,真空设备所需的机油也要求高。目前国内蓝宝石原料大多为三氧化二铝块状或棒状混合物,由于装料时间隙较多,限制了坩埚内的装料量,而在装料是添加三氧化二铝粉末料,可以减少装料时原料的间隙,使装料量大大增加,提高生产率而降低成本。但是使用三氧化二铝粉末料对生长炉炉体抽真空的同时,粉末会随着气流进入旋片泵和扩散泵,不仅污染了泵油,还可能导致旋片泵在工作时缸体卡死,中断晶体生长,造成严重损失。

基于此,本实用新型设计了一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置,以解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置,包括集尘室、第一旋片泵、第二旋片泵和扩散泵,所述集尘室的两侧分别设有第二抽气管和第三抽气管,第二抽气管的一端连接有第一抽气管,并通过第一抽气管连接有主炉室,所述第三抽气管的一端连接有三通管一,所述三通管一上设有三通阀,且三通管一的其余两端分别连接有进气管,并通过进气管连接有第一旋片泵和第二旋片泵,所述第一旋片泵和第二旋片泵的另一端分别连接有出气管,并通过出气管连接有三通管二,所述三通管二的一端连接有扩散泵,所述第一抽气管和第二抽气管的连接端均设有管台,且连接处设有连接器,所述连接器包括第一连接环、第二连接环和连接杆,所述第一连接环固定于第二抽气管的外壁,且第一连接环对应管台设有台槽,所述第一连接环的表面设有移动槽,所述移动槽沿圆周逐渐改变,由第一连接环的外侧逐渐向圆心靠近,同时移动槽的深度逐渐增加,所述移动槽内滑动连接有连接杆,所述第一连接环的一侧还设有第二连接环,第二连接环对应连接杆设有杆槽,所述集尘室包括集尘壳体,所述集尘壳体的进口端设有导流板,出口端设有滤网,所述导流板沿圆周固定有多个固定杆,所述固定杆的一端固定有固定环,固定杆上还转动连接有旋转叶,所述固定环与集尘壳体的内壁固定连接。

优选的,所述第三抽气管、三通管一、进气管、出气管和三通管二的的连接端均设有管台和连接器。

优选的,所述第一连接环上沿圆周均匀设置有四个移动槽和第一销孔,第二连接环上沿圆周均匀对应设有四个杆槽,所述第二连接环上沿圆周均匀设有十二个第二销孔,第二销孔和第一销孔位于同一圆周上。

优选的,所述连接杆包括移动块、横杆和压杆,所述移动槽对应设为T形槽,所述移动块和横杆位于T形槽中,压杆与第一抽气管的管台端面接触。

优选的,所述第一连接环的台槽、第二连接环的内径和管台的外径相等。

优选的,所述第二连接环的外径大于第一连接环的外径。

优选的,所述固定环包括外圈和辐条,所述外圈的外侧与集尘壳体固定连接,内侧沿圆周均匀固定有四根辐条,所述固定杆的数目与辐条数目相等,且辐条对应固定杆的位置设有固定孔,并与固定杆对应连接。

优选的,所述旋转叶的一端固定连接有旋转环,并通过旋转环与固定杆转动连接,所述固定杆上沿轴向均匀设置有五个旋转环,所述旋转环上沿圆周均匀设置有四根旋转叶。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1.设置集尘室,气流通过导流板与旋转叶接触,旋转叶转动与空气摩擦产生静电,通过静电吸附以及滤网收集原料粉末,减少进入第一旋片泵和第二旋片泵中的粉尘。

2.设置有第一旋片泵和第二旋片泵,并通过三通阀切换,当其中一个出现故障时,可打开另一个,防止使用过程中第一旋片泵或是第二旋片泵出现故障导致整个装置无法使用。

3.各管路连接处均设有连接器,取出定位销,旋转第二连接环,使连接杆移动,即可拆开管路之间的连接,以便迅速拆下更换集尘室、第一旋片泵或是第二旋片泵,拆卸连接简单方便。

4.有效减少粉尘造成的影响,安装连接以及更换维修方便,操作简单,实用性强。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型连接器的结构示意图;

图3为本实用新型第一连接环的结构示意图;

图4为本实用新型第二连接环的结构示意图;

图5为本实用新型集尘室的结构示意图;

图6为本实用新型固定环的结构示意图。

附图中,各标号所代表的部件列表如下:

1-主炉室,101-第一抽气管,2-集尘室,201-第二抽气管,202-第三抽气管,3-第一旋片泵,301-进气管,302-出气管,4-第二旋片泵,5-扩散泵,6-连接器,7-集尘壳体,8-导流板,9-滤网,10-固定杆,11-旋转叶,12-固定环,1201-外圈,1202-辐条,1303-固定孔,13-定位销,14-第一连接环,1401-第一销孔,1402-移动槽,15-第二连接环,1501第二销孔,1502-杆槽,16-连接杆,17-三通管一,18-三通管二,19-三通阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图,本实用新型提供一种技术方案:一种大公斤蓝宝石晶体生长真空装置,包括集尘室2、第一旋片泵3、第二旋片泵4和扩散泵5,所述集尘室2的两侧分别设有第二抽气管201和第三抽气管202,第二抽气管201的一端连接有第一抽气管101,并通过第一抽气管101连接有主炉室1,所述第三抽气管202的一端连接有三通管一17,所述三通管一17上设有三通阀19,且三通管一17的其余两端分别连接有进气管301,并通过进气管301连接有第一旋片泵3和第二旋片泵4,所述第一旋片泵3和第二旋片泵4的另一端分别连接有出气管302,并通过出气管302连接有三通管二18,所述三通管二18的一端连接有扩散泵5,所述第一抽气管101和第二抽气管201的连接端均设有管台,且连接处设有连接器6,所述连接器6包括第一连接环14、第二连接环15和连接杆16,所述第一连接环14固定于第二抽气管201的外壁,且第一连接环14对应管台设有台槽,所述第一连接环14的表面设有移动槽1402,所述移动槽1402沿圆周逐渐改变,由第一连接环14的外侧逐渐向圆心靠近,同时移动槽1402的深度逐渐增加,所述移动槽1402内滑动连接有连接杆16,所述第一连接环14的一侧还设有第二连接环15,第二连接环15对应连接杆16设有杆槽1502,所述集尘室2包括集尘壳体7,所述集尘壳体7的进口端设有导流板8,出口端设有滤网9,所述导流板8沿圆周固定有多个固定杆10,所述固定杆10的一端固定有固定环12,固定杆10上还转动连接有旋转叶11,所述固定环12与集尘壳体7的内壁固定连接。

其中,第三抽气管202、三通管一17、进气管301、出气管302和三通管二18的的连接端均设有管台和连接器6,使第一旋片泵3、第二旋片泵4和集尘室2均可迅速地安装或拆卸;第一连接环14上沿圆周均匀设置有四个移动槽1402和第一销孔1401,第二连接环15上沿圆周均匀对应设有四个杆槽1502,所述第二连接环15上沿圆周均匀设有十二个第二销孔1501,第二销孔1501和第一销孔1401位于同一圆周上,使第二连接环15旋转之后可通过第一销孔1401、第二销孔1501和定位销13固定位置;连接杆16包括移动块、横杆和压杆,所述移动槽1402对应设为T形槽,所述移动块和横杆位于T形槽中,压杆与第一抽气管101的管台端面接触,使移动杆16随第二连接环15转动而移动时,移动杆16的压杆逐渐向管台的端面移动,使两个管台压紧接触;第一连接环14的台槽、第二连接环15的内径和管台的外径相等;第二连接环15的外径大于第一连接环14的外径,便于转动第二连接环15;固定环12包括外圈1201和辐条1202,外圈1201的外侧与集尘壳体7固定连接,内侧沿圆周均匀固定有四根辐条1202,所述固定杆10的数目与辐条1202数目相等,且辐条1202对应固定杆10的位置设有固定孔1203,并与固定杆10对应连接,使固定杆10的位置固定的同时不影响气流的流通;旋转叶11的一端固定连接有旋转环,并通过旋转环与固定杆10转动连接,固定杆10上均匀设置有五旋转环,旋转环上沿圆周均匀设置有四根旋转叶11。

本实施例的一个具体应用为:气流从主炉室1通过第一抽气管101和第二抽气管201进入集尘室2,气流通过导流板8与旋转叶11接触,使旋转叶11转动与空气摩擦产生静电,通过静电吸附以及滤网9收集原料粉末,减少进入第一旋片泵3或第二旋片泵4中的粉尘;装置中设置有第一旋片泵3和第二旋片泵4,并通过三通阀19切换,当其中一个出现故障时,可打开另一个,防止使用过程中第一旋片泵3或是第二旋片泵4出现故障导致整个装置无法使用,使大公斤蓝宝石的生产过程停止,造成原料浪费等情况;各管路连接处均设有连接器6,旋转第二连接环15,通过杆槽1502带动连接杆16,使之一端在移动槽1402中移动,连接杆16的压杆随横杆和移动块逐渐向圆心处移动,同时向管台的端面靠近,从而使两个管台被压紧连接,通过定位销13、第一销孔1401和第二销孔1501使第二连接环15和连接杆16固定,拆卸时,取下定位销13,旋转第二连接环15,即可拆开管路之间的连接,以便迅速拆下更换集尘室2、第一旋片泵3或是第二旋片泵4,安装、拆卸简单方便。

在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

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