1.一种制备球形TiN粉的设备，包括雾化仓(2)、与雾化仓(2)连接的等离子炬(1)、向等离子炬(1)送料的送料装置(3)、气粉分离装置(8)、与气粉分离装置(8)连接的抽气装置(9)和收粉仓二(7)，其特征在于：所述雾化仓(2)底部连接有收粉仓一(5)，所述雾化仓(2)仓壁连接有排气管(10)，所述排气管(10)与气粉分离装置(8)连接；所述收粉仓一(5)和收粉仓二(7)均设有加热装置。
2.如权利要求1所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述加热装置为电热丝，所述收粉仓一(5)和收粉仓二(7)壳体均为内外双层结构，所述电热丝设置在内外壳体之间。
3.如权利要求1或2所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述排气管(10)呈倒V型。
4.如权利要求3所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述等离子炬(1)为高频等离子炬。
5.如权利要求4所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述高频等离子炬包括配气座(17)、送料管(13)、中管(14)和放电管(15)；所述配气座(17)设有电离气体入口(12)和保护气体入口(11)，所述送料管(13)、中管(14)和放电管(15)依次由内到外同轴安装在配气座(17)中心，所述送料管(13)贯穿配气座(17)，所述放电管(15)外设有电感线圈(16)，所述中管(14)的腔体为电离气体通道，所述放电管(15)与中管(14)之间的腔体为保护气体通道，所述电离气体入口(12)与电离气体通道相通；所述保护气体入口(11)与保护气体通道相通；所述送料管(13)与送料装置(3)连接。
6.如权利要求5所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述送料装置(3)为气体送料装置。
7.如权利要求6所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：还包括混气阀(6)，所述混气阀(6)与电离气体入口(12)连接。
8.如权利要求7所述的一种制备球形TiN粉的设备，其特征在于：所述收粉仓一(5)与雾化仓(2)之间、收粉仓二(7)与气粉分离装置(8)之间均设有蝶阀(4)。