技术特征：
技术总结
本发明的目的在于提供实现了抑制金属粒子的混入的AlN晶须的制造方法和制造装置、AlN晶须结构体和AlN晶须以及树脂成型体和其制造方法。该AlN晶须的制造方法中，在材料收容部(1200)的内部对含Al材料进行加热而产生Al气体，从连通部(1220)向反应室(1300)导入Al气体，并且从气体导入口(1320)向反应室(1300)导入氮气，使AlN晶须(100)从配置于反应室(1300)的内部的Al2O3基板(1310)的表面生长。
技术研发人员：宇治原彻;竹内幸久;塩尻大士;松本昌树;齐藤广志;林育夫
受保护的技术使用者：国立大学法人名古屋大学
技术研发日：2018.03.16
技术公布日：2019.11.08