技术特征：
技术总结
本发明的课题在于在使用含硅有机化合物作为原料的情况下，抑制发生回火以及多孔质玻璃微粒体的品质的下降。本发明的解决手段是一种多孔质玻璃微粒体的制造方法，具有如下工序：在旋转的起始构件(M)形成由含有含硅有机化合物的原料气体生成的玻璃微粒的沉积层(L)的工序；将供给到燃烧器(4)的气体由原料气体切换成吹扫气体的工序；在至少将原料气体从燃烧器(4)内排出去为止的期间，将吹扫气体以第1流量供给到燃烧器的工序；以及，将供给到燃烧器(4)的吹扫气体的流量切换成比第1流量小的第2流量的工序。
技术研发人员：佐藤信敏
受保护的技术使用者：株式会社藤仓
技术研发日：2019.01.31
技术公布日：2019.08.13