一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂的制作方法

文档序号:23794200发布日期:2021-01-30 09:41阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂,其特征在于,所述辅助剂的重量配比如下:聚乙烯醇:0.25-0.5份聚丙烯酸:0.75-1.25份三乙醇胺:1-3份柠檬酸:0.05-2份表面活性剂:0.1-3份其余含量为水。2.根据权利要求1所述的一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂,其特征在于:所述的表面活性剂为全氟非离子表面活性剂。3.根据权利要求1所述的一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂其特征在于:所述的水为去离子水。4.一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂的制绒方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:步骤一:将聚乙烯醇:0.25-0.5份、聚丙烯酸:0.75-1.25份、三乙醇胺:1-3份、柠檬酸:0.05-2份、表面活性剂:0.1-3份依次加入到水中,进行混合,搅拌制得辅助剂,搅拌时间为60-100s。步骤二:将制得的辅助剂加入到酸溶液中混合均匀制得制绒液,其中酸溶液为氢氟酸、硝酸和水溶液的混合溶液。步骤三:将金刚线多晶硅片放入到步骤二中配置的制绒液中制绒。5.根据权利要求4所述的一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂的制绒方法,其特征在于:所述步骤二中辅助剂与酸溶液的重量比为0.5-1.25%。6.根据权利要求4所述的一种金刚线多晶硅片制绒辅助剂的制绒方法,其特征在于:所述步骤三中制绒的温度为10℃-34℃,制绒时间为60-180s。
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