单晶料管装料及提取装置的制作方法

本实用新型涉及一种单晶料管生长技术领域,尤其涉及一种用于磷化铟单晶生长中使用的装料及提取装置。

背景技术：

磷化铟单晶是一种重要的光电子和微电子基础材料,其生长是在放入单晶炉的石英管中进行的。原有的石英管装炉和生长完成后取出过程均为操作人员直接用手放入或取出，由于单晶炉炉膛空间狭小，石英料管与炉壁基本贴合，放置料管时容易滑落，造成料管损坏；且料管放入以后不好调整料管方位。单晶生长完成后，因为出炉温度较高，手动取料需要佩戴很厚的隔热手套，这容易造成石英料管的滑落，损坏生长完成的单晶和坩埚，且炉壁容易烫伤操作人员。

技术实现要素：

本实用新型的目的是解决手工操作单晶炉石英料管装料取料不合理的问题，提出一种装料及提取装置，以提高生产效率。

本实用新型的单晶料管装料及提取装置，其特征在于该装置包括手柄、螺母、加固杆、套筒固定杆、套筒、固定圆盘、垫圈、螺杆；

其中，螺杆中间套入套筒，套筒向上依次套入套筒固定杆、加固杆以及螺母；套筒向下依次套入固定圆盘和垫圈，以及螺母；

固定圆盘和垫圈交错布置，最上和最下层则布置固定圆盘；

加固杆、套筒固定杆、套筒、固定圆盘均带螺纹。

所述套筒上还设置有一个金属的手柄，以方便操作。

所述垫圈为橡胶垫圈，固定圆盘为金属材料。

采用本实用新型的装置，操作简单易懂，不需要对操作人员长时间培训，且可在较高温度下操作，缩短了单晶生长炉降温冷却时间，节省生产成本、提高生产效率。此外，该装置构造简单，加工制造方便，材料要求低，制造成本低廉。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型剖面结构示意图。

图中，手柄1、螺母2、加固杆3、套筒固定杆4、套筒5、固定圆盘6、垫圈7、螺杆8。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

实施例1：一种4英寸磷化铟单晶料管装料及提取装置,该装置包括手柄1、螺母2、加固杆3、套筒固定杆4、套筒5、固定圆盘6、垫圈7、螺杆8。

该装置由一螺杆8套串而成，螺杆8中间套入套筒5，套筒5向上依次套入套筒固定杆4、加固杆3以及螺母2；套筒5向下依次套入固定圆盘6和垫圈7，以及螺母2。

套筒5上还设置有一个金属的手柄1，以方便操作。4个固定圆盘6和3个垫圈7交错布置，最上和最下层则布置固定圆盘6。上端和下端的螺母2起到限定螺杆8上所安装部件的作用，以防部件从螺杆8上脱落。加固杆3、套筒固定杆4、套筒5、固定圆盘6均带螺纹。垫圈7为橡胶垫圈，固定圆盘6为金属材料。

在使用时，右旋加固杆3，松开固定圆盘6和垫圈7，使所有部件分离，此时垫圈7不受挤压，恢复原有形状和尺寸，此时将该装置放入石英料管内腔，待3个垫圈均已经进入料管内腔时，左旋加固杆3，压缩固定圆盘6的间距。因为圆盘外口处有斜面，垫圈7受力就会向外扩张，待垫圈7紧贴石英管内壁，感觉加固杆3的力度合适时，停止继续加力，此时就可将料管提起，实现料管的装入和取出。