旋转装置的制作方法

文档序号:21739678发布日期:2020-08-05 01:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋转装置,其特征在于,包括:

反应器,包括反应腔;

石墨托盘,设置在所述反应腔内;

支撑筒,所述支撑筒的一端和所述石墨托盘连接,所述支撑筒的另一端和旋转盘连接,所述支撑筒、所述石墨托盘和所述旋转盘围成加热腔;

磁流体部件,包括固定端和空心轴,所述固定端的一端和所述反应器的底壁连接,所述固定端的另一端和密封板连接,所述空心轴通过轴承转动设置在所述固定端内,所述空心轴和所述旋转盘连接;

加热器,设置在所述加热腔内,所述加热器固定在电极板上,所述电极板和电极的一端连接,所述电极的另一端依次穿过所述旋转盘的中心孔和所述空心轴的内腔与所述密封板连接。

2.根据权利要求1所述的旋转装置,其特征在于,所述反应器的侧壁和底壁均设置有冷水腔,所述冷水腔内循环流动冷却液,用于对所述反应器降温。

3.根据权利要求1所述的旋转装置,其特征在于,所述固定端和所述空心轴之间填充有磁流体,所述磁流体用于密封所述反应腔和所述加热腔。

4.根据权利要求3所述的旋转装置,其特征在于,一部分所述磁流体填充在由所述反应器的底壁、所述固定端、所述空心轴和所述轴承围成的第一空间内,用于将所述反应腔和大气隔绝开;另一部分所述磁流体填充在由所述密封板、所述固定端、所述空心轴和所述轴承围成的第二空间内,用于将所述加热腔和大气隔绝开。

5.根据权利要求4所述的旋转装置,其特征在于,还包括电机,所述电机的驱动端设置有主动轮,所述空心轴上套设有从动轮,所述从动轮位于两个所述轴承之间,所述固定端的侧壁设置有传动缺口,所述主动轮通过传动带穿过所述传动缺口和所述从动轮连接。

6.根据权利要求1所述的旋转装置,其特征在于,所述密封板和所述电极的连接处设置有绝缘材料。

7.根据权利要求1所述的旋转装置,其特征在于,所述石墨托盘包括呈圆柱形的本体,所述加热器呈圆柱形,所述本体和所述加热器同轴且相互平行设置。

8.根据权利要求7所述的旋转装置,其特征在于,所述本体底部的边缘处垂直朝下延伸设置有连接部,所述连接部和所述本体围成一凹槽,所述加热器设置在所述凹槽内,所述连接部的下端和所述支撑筒连接。

9.根据权利要求8所述的旋转装置,其特征在于,所述连接部的内侧设置有环形槽,所述加热器的边缘伸进所述环形槽内。

10.根据权利要求1所述的旋转装置,其特征在于,所述电极板内设置有冷水腔,所述冷水腔内循环流动冷却液,用于对所述电极板降温。


技术总结
本实用新型公开了一种旋转装置,包括:反应器,包括反应腔;石墨托盘,设置在反应腔内;支撑筒,支撑筒的一端和石墨托盘连接,支撑筒的另一端和旋转盘连接,支撑筒、石墨托盘和旋转盘围成加热腔;磁流体部件,包括固定端和空心轴,固定端的一端和反应器的底壁连接,固定端的另一端和密封板连接,空心轴通过轴承转动设置在固定端内,空心轴和旋转盘连接;加热器,设置在加热腔内,加热器固定在电极板上,电极板和电极的一端连接,电极的另一端依次穿过旋转盘的中心孔和空心轴的内腔与密封板连接。本实用新型旋转的水平度更好、稳定性高,提高了石墨托盘的使用寿命,加热均匀性好,制备的外延材料厚度均匀性好。

技术研发人员:向洪春;陈长荣
受保护的技术使用者:上海思擎企业管理合伙企业(有限合伙)
技术研发日:2019.12.24
技术公布日:2020.08.04
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1