一种水冷热屏用清洁装置及单晶炉的制作方法

文档序号:24962326发布日期:2021-05-07 20:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种水冷热屏用清洁装置,其特征在于,包括:

充气环路,所述充气环路用于设置在水冷热屏上方,且大小与所述水冷热屏相适应,所述充气环路下方设有气孔,所述气孔与所述水冷热屏相对设置;

充气法兰,所述充气法兰与所述充气环路连通,所述充气法兰设有进口,所述进口用于充气;

空心柱体,所述空心柱体的一端与所述充气法兰连接,另一端与充气环路连接,用于导入气体并定位所述充气环路的位置。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括:

控制阀,所述控制阀与所述充气法兰的进口连接,用于控制向所述充气法兰注入气体。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述充气的气体是氩气。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述充气环路为圆形环路。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述充气环路上的所述气孔为多个,多个所述气孔均布在所述充气环路的下表面,与所述水冷热屏相对。

6.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,还包括:

导气软管,所述导气软管的一端与所述控制阀连接,另一端与所述充气法兰连接。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述导气软管是金属材料件。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体在所述充气环路的流速大于200l/min。

9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体在所述充气环路中对所述充气环路的侧壁压力大于0.2mpa。

10.一种单晶炉,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的水冷热屏用清洁装置和水冷热屏,所述水冷热屏用清洁装置设置在所述水冷热屏的开口的上方。


技术总结
本实用新型提供一种水冷热屏用清洁装置及单晶炉,包括充气环路,所述充气环路用于设置在水冷热屏上方,且大小与所述水冷热屏相适应,所述充气环路下方设有气孔,所述气孔与所述水冷热屏相对设置;充气法兰,所述充气法兰与所述充气环路连通,所述充气法兰设有进口,所述进口用于充气;空心柱体,所述空心柱体的一端与所述充气法兰连接,另一端与充气环路连接,用于导入气体并定位所述充气环路的位置。根据本实用新型实施例的水冷热屏用清洁装置,能过在单晶炉中清洁水冷热屏,减少水冷热屏表面附着物,提升水冷热屏对单晶的冷却效果,保证单晶生长过程稳定。此外提高氩气流量及压力,保证吹扫效果。且该装置结构简单,便于生产和制造。

技术研发人员:何京辉;王东;张招洋
受保护的技术使用者:邢台晶龙电子材料有限公司
技术研发日:2020.07.27
技术公布日:2021.05.07
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