1.一种水冷热屏用清洁装置,其特征在于,包括:
充气环路,所述充气环路用于设置在水冷热屏上方,且大小与所述水冷热屏相适应,所述充气环路下方设有气孔,所述气孔与所述水冷热屏相对设置;
充气法兰,所述充气法兰与所述充气环路连通,所述充气法兰设有进口,所述进口用于充气;
空心柱体,所述空心柱体的一端与所述充气法兰连接,另一端与充气环路连接,用于导入气体并定位所述充气环路的位置。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,还包括:
控制阀,所述控制阀与所述充气法兰的进口连接,用于控制向所述充气法兰注入气体。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述充气的气体是氩气。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述充气环路为圆形环路。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述充气环路上的所述气孔为多个,多个所述气孔均布在所述充气环路的下表面,与所述水冷热屏相对。
6.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,还包括:
导气软管,所述导气软管的一端与所述控制阀连接,另一端与所述充气法兰连接。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述导气软管是金属材料件。
8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体在所述充气环路的流速大于200l/min。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述气体在所述充气环路中对所述充气环路的侧壁压力大于0.2mpa。
10.一种单晶炉,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的水冷热屏用清洁装置和水冷热屏,所述水冷热屏用清洁装置设置在所述水冷热屏的开口的上方。