硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉的制作方法

文档序号:26127643发布日期:2021-08-03 13:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:包括:

位于硅芯炉内部硅芯料;

加热线圈,设置于硅芯料上方;

加热片,设置于加热线圈和硅芯料顶部之间;第一驱动电机,与所述加热片连接;

下轴,与所述硅芯料底部固定连接;第二驱动电机,与所述下轴连接;

温度监测装置,用于监测硅芯炉内部温度;以及

控制单元,与所述温度监测装置、所述第一驱动电机和所述第二驱动电机连接,用于根据接收到的所述硅芯炉内部温度控制第一驱动电机和第二驱动电机,从而控制所述加热片和下轴。

2.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第一驱动电机为拨叉电机,所述拨叉电机设置于硅芯炉外部;所述拨叉电机的输出轴连接拨叉体,所述拨叉体与加热片固定连接,所述拨叉体穿过硅芯炉的拨叉口。

3.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述下轴包括:

轴体,所述轴体包括一体成型的内轴和外轴,所述内轴位于硅芯炉内部,所述外轴位于硅芯炉外部;

料座,与所述内轴顶部固定连接;所述硅芯料设置于料座上。

4.根据权利要求3所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第二驱动电机为伺服电机,所述伺服电机设置于硅芯炉外部;所述伺服电机与外轴连接。

5.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述控制单元接收到的温度监测装置发送的所述硅芯炉内部温度超过第一温度时,控制第一驱动电机驱动所述加热片远离加热线圈。

6.根据权利要求5所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述控制单元接收到的温度监测装置发送的所述硅芯炉内部温度超过第二温度时,控制第二驱动电机驱动所述下轴进行旋转。

7.根据权利要求6所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第二温度高于第一温度。

8.根据权利要求6所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述旋转为沿同一方向的匀速旋转。

9.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述硅芯炉炉体上设置有预热视镜,所述温度监测设置于所述预热视镜外。

10.一种硅芯炉,其特征在于:包括如权利要求1~9中任意一项所述的硅芯炉自动加热升温装置。


技术总结
本实用新型公开了硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉,所述装置包括:位于硅芯炉内部硅芯料;加热线圈,设置于硅芯料上方;加热片,设置于加热线圈和硅芯料顶部之间;第一驱动电机,与所述加热片连接;下轴,与所述硅芯料底部固定连接;第二驱动电机,与所述下轴连接;温度监测装置,用于监测硅芯炉内部温度;以及控制单元,与所述温度监测装置、所述第一驱动电机和所述第二驱动电机连接,用于根据接收到的所述硅芯炉内部温度控制第一驱动电机和第二驱动电机,从而控制所述加热片和下轴。本实用新型主要用于多晶硅硅芯生长,具体涉及预热和加热步骤,无需人工时刻观察,并且加热状态可以得到反馈。

技术研发人员:张孝山;汪成洋;陈斌;甘易武;冉胜国
受保护的技术使用者:亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
技术研发日:2020.10.09
技术公布日:2021.08.03
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