技术特征：
1.一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的新方法，超声耦合微电流除氟化氢中砷在超声耦合微电流电解条件下进行。2.根据权利要求1所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的超声耦合微电流管线路分为两条，微电流电解支路和超声精馏主路。3.根据权利要求1所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：其方案为：步骤一、电解制氟气：液化氟化氢在所述的微电流电解支路中经过微电流电解，电解支路电极的阴极和阳极分别产生氢气和氟气；步骤二、超声氧化：微电流电解支路中产生的氟气经过管路进入到超声精馏主路中与主路中的液化氟化氢混合后经过超声场超声，氟气将三氟化砷氧化成五氟化砷；步骤三、精馏吸收：经过超声精馏主路氧化的液化氟化氢进入到精馏塔中精馏，脱除五氟化砷等杂质制得电子级氟化氢，然后经过气化并用超纯水吸收后即可得到电子级氢氟酸。4.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的微电流电解支路的电解电压为1-12v。5.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：电解电流密度为3.5-65a/m2。6.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：电解温度为5-10℃。7.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的超声场超声频率为30-40khz。8.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：超声功率密度为0.5-0.8w/cm2。9.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的精馏采用二级精馏塔。10.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的电解支路电极的阴极产生氢气经过管道通入到尾气系统处理。11.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的超声氧化温度为10-20℃。12.根据权利要求3所述的一种超声耦合微电流除氟化氢中砷的方法，其特征在于：所述的电极粗坯煅烧升温速率为2-5℃/min。
技术总结
本发明涉及化工领域，本发明公开了一种超声耦合微电流除氟化氢中砷制备电子级氟化氢和电子级氢氟酸的方法，包括电解制氟气、超声氧化、精馏和吸收等步骤；本发明采用微电流电解液化氟化氢，产生H2和F2，利用产生的F2在超声波场中将液化氟化氢中的三氟化砷氧化成五氟化砷，五氟化砷的沸点远远低于氟化氢，可通过精馏高效脱除；本发明是一种电子级氟化氢和电子级氢氟酸制备中除砷的新方法，不仅无二次污染，而且多余的氟还能将液态氟化氢中残留的微量水分除去，达到进一步纯化的目的。达到进一步纯化的目的。
技术研发人员：叶向荣 周黎旸 陈刚 贺辉龙 程文海 周井森 张晓东 孙立柱
受保护的技术使用者：浙江博瑞电子科技有限公司
技术研发日：2021.12.16
技术公布日：2022/3/15