技术特征：
1.一种垫片组件，其特征在于，所述垫片组件包括至少三个垫片本体，所述垫片本体采用难熔金属材料制成，所述垫片本体上设有限位槽，所述限位槽的一端具有卡合位，另一端延伸至所述垫片本体的边缘，并在所述垫片本体的边缘形成开口，所述限位槽用于供设置在盖体底部的连接件相对所述垫片本体从所述开口到所述卡合位来回滑动并卡接配合，使至少三个所述垫片本体分别与对应的所述连接件连接，以呈环形阵列安装于所述盖体上。2.根据权利要求1所述的垫片组件，其特征在于，所述难熔金属材料为金属钼或金属钨，又或者为金属钼和金属钨的合金。3.根据权利要求1所述的垫片组件，其特征在于，所述限位槽的数量至少为两个，至少两个所述限位槽并列设置于所述垫片本体上，并且至少两个所述限位槽各自对应的所述开口也并列设置于所述垫片本体上的同一侧边上。4.根据权利要求3所述的垫片组件，其特征在于，所述垫片本体为扇环形，至少两个所述限位槽沿着所述扇环形的圆周方向间隔设置，至少两个所述限位槽各自所对应的所述开口也沿着所述扇环形的圆周方向间隔设置于所述扇环形的同一弧边上。5.根据权利要求4所述的垫片组件，其特征在于，所述限位槽为l形。6.根据权利要求4所述的垫片组件，其特征在于，所述限位槽为t形。7.一种坩埚盖，其特征在于，包括：盖体和权利要求1-6任一项所述的垫片组件，所述盖体的底部设有与所述限位槽数量相同的连接件，所述连接件呈环形阵列设置于所述盖体的底部，每一所述连接件与对应的所述限位槽卡接配合，以使所述垫片本体可拆卸连接于所述盖体的底部。8.根据权利要求7所述的坩埚盖，其特征在于，所述连接件包括连接部和抵接部，所述连接部呈柱状，所述连接部的一端固定于所述盖体的底部，另一端贯穿至所述限位槽外且可沿着所述限位槽在所述开口和所述卡合位之间来回滑动，所述抵接部与所述连接部贯穿至所述限位槽外的一端固定，并且抵靠于所述垫片本体背离所述盖体的一面。9.根据权利要求8所述的坩埚盖，其特征在于，所述垫片本体的数量为6个。10.一种长晶炉，其特征在于，包括：炉体、设置于所述炉体内的坩埚和权利要求7-9中任一项所述的坩埚盖，所述坩埚盖盖设于所述坩埚的顶部，所述垫片组件位于所述盖体与所述坩埚之间，用于防止所述盖体与所述坩埚的顶部接触。
技术总结
本实用新型实施例涉及长晶炉设备技术领域，公开了一种垫片组件、坩埚盖及长晶炉，垫片组件包括：至少三个垫片本体，垫片本体采用难熔金属材料制成，垫片本体上设有限位槽，限位槽的一端具有卡合位，另一端延伸至垫片本体的边缘，并在垫片本体的边缘形成开口，限位槽用于供设置在盖体底部的连接件相对垫片本体从开口到卡合位来回滑动并卡接配合，使至少三个垫片本体分别与对应的连接件连接，以呈环形阵列安装于盖体上。通过上述方式，解决了盖体与坩埚因熔化状态的液体原料飞溅附着在盖体与坩埚接触处，导致盖体与坩埚粘附在一起而不易分开的问题。分开的问题。分开的问题。
技术研发人员：何利文
受保护的技术使用者：湖南诺铂特高温设备有限公司
技术研发日：2021.07.26
技术公布日：2022/3/11